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레이저가 조사되는 광원부;상기 광원부에서 조사된 레이저를 제1 광과 제2 광으로 분할하는 제1 광분할기;레이저에 의해 패터닝되는 기판을 이송시키는 스테이지(Stage);상기 제1 광이 상기 스테이지를 향하도록 제1 광의 경로를 조절하는 제1, 제2 조절미러;상기 제2 광이 상기 스테이지를 향하도록 제2 광의 경로를 조절하는 제3, 제4 조절미러;상기 스테이지(Stage)의 상단에 위치하여 스테이지의 상하 틸팅(Tilting)과 좌우 틸팅을 감지하는 틸팅 감지부;스테이지의 이동 방향에 위치하여 스테이지의 진동 오차를 감지하는 간섭 관측기(Interferometer); 및상기 틸팅 감지부에서 감지된 틸팅 정보와 간섭 관측기에서 감지된 진동 오차 정보를 토대로 조절미러의 각도를 제어하는 제어부;를 포함하고,상기 틸팅 감지부는 제1 틸팅 센서, 제2 틸팅 센서 및 제3 틸팅 센서로 구성되며, 상기 제1 틸팅 센서와 제2 틸팅 센서는 동일선(Line) 상에 배치되고, 상기 제2 틸팅 센서와 제3 틸팅 센서도 동일선 상에 배치되어, 상기 제1, 2, 3 틸팅 센서는 상기 스테이지의 상면에서 볼 때 상기 제1 틸팅 센서와 제2 틸팅 센서가 형성하는 선(Line)과 상기 제2 틸팅 센서와 제3 틸팅 센서가 형성하는 선은 수직을 이루는 것을 특징으로 하는 실시간 오차 보정이 가능한 스캐닝 간섭 리소그래피 시스템
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제 1항에 있어서,복수 개의 광학 모듈(AOM); 및복수 개의 공간 필터(Spatial filter);를 더 포함하는 실시간 오차 보정이 가능한 스캐닝 간섭 리소그래피 시스템
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제 2항에 있어서,상기 스테이지 상에 레이저가 조사되는 위치를 감지하는 레이저 위치 감지부;상기 제1 광을 상기 스테이지를 향하는 광과 상기 레이저 위치 감지부를 향하는 광으로 분할하는 제2 광분할기; 및상기 제2 광을 상기 스테이지를 향하는 광과 상기 레이저 위치 감지부를 향하는 광으로 분할하는 제3 광분할기;를 더 포함하는 실시간 오차 보정이 가능한 스캐닝 간섭 리소그래피 시스템
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제 1항에 있어서,상기 제어부는 상기 틸팅 감지부와 상기 간섭 관측기로부터 스테이지의 틸팅과 진동 오차 정보를 수신하는 정보 수신부;상기 정보 수신부에서 수신한 정보를 토대로 조절미러의 보상각을 산출하는 보상부; 및상기 보상부에서 산출된 보상각을 토대로 조절미러의 각도를 제어하는 각도 조절부;로 구성된 것을 특징으로 하는 실시간 오차 보정이 가능한 스캐닝 간섭 리소그래피 시스템
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제 6항에 있어서,상기 제어부는 조절미러가 상기 보상부에서 산출된 보상각만큼 회전하였는지 최종 확인하는 판단부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실시간 오차 보정이 가능한 스캐닝 간섭 리소그래피 시스템
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제 6항에 있어서,상기 조절부는 상기 제2 조절미러와 상기 제3 조절미러의 각도만을 제어하여 상기 스테이지의 진동 오차와 상하 틸팅을 보상할 수 있는 것을 특징으로 하는 실시간 오차 보정이 가능한 스캐닝 간섭 리소그래피 시스템
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(a) 광원부를 통해 레이저를 조사하는 광 조사 단계;(b) 상기 광 조사 단계에서 조사된 레이저를 제1 광, 제2 광으로 분할하는 광 분할 단계;(c) 틸팅 감지부를 통해 스테이지의 상하 틸팅과 좌우 틸팅 정도를 감지하는 틸팅 감지 단계;(d) 간섭 관측기(Interferometer)를 통해 스테이지의 진동 오차를 감지하는 진동 오차 감지 단계;(e) 상기 틸팅 감지 단계와 상기 진동 오차 감지 단계에서 감지된 스테이지의 상하, 좌우 틸팅 및 진동 오차를 토대로 제1, 제2, 제3, 제4 조절미러의 회전 보상각을 산출하는 보상 단계;(f) 상기 보상 단계에서 산출된 조절미러의 회전 보상각을 토대로 조절미러를 회전시키는 미러 제어 단계; 및(g) 상기 미러 제어 단계를 거쳐 각도가 조절된 조절미러를 통해 스테이지에 레이저가 입사되어 스테이지 상면에 배치된 기판에 패턴을 형성하는 패터닝 단계;를 포함하고,상기 틸팅 감지부는 제1 틸팅 센서, 제2 틸팅 센서 및 제3 틸팅 센서로 구성되며, 상기 제1 틸팅 센서와 제2 틸팅 센서는 동일선(Line) 상에 배치되고, 상기 제2 틸팅 센서와 제3 틸팅 센서도 동일선 상에 배치되어, 상기 제1, 2, 3 틸팅 센서는 상기 스테이지의 상면에서 볼 때 상기 제1 틸팅 센서와 제2 틸팅 센서가 형성하는 선(Line)과 상기 제2 틸팅 센서와 제3 틸팅 센서가 형성하는 선은 수직을 이루는 것을 특징으로 하는 실시간 오차 보정이 가능한 스캐닝 간섭 리소그래피 방법
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제 9항에 있어서,광학 모듈(AOM)과 공간 필터(Spatial filter)를 통해 상기 (a) 광 조사 단계에서 조사된 레이저의 위상 차와 강도(Intensity)를 보정하는 광 보정 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실시간 오차 보정이 가능한 스캐닝 간섭 리소그래피 방법
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제 9항에 있어서,레이저 위치 감지부와 상기 제1 광을 상기 스테이지를 향하는 광과 상기 레이저 위치 감지부를 향하는 광으로 분할하는 제2 광분할기 및 상기 제2 광을 상기 스테이지를 향하는 광과 상기 레이저 위치 감지부를 향하는 광으로 분할하는 제3 광분할기을 통해 레이저가 기판 상에 조사되는 위치를 파악하는 레이저 위치 파악 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실시간 오차 보정이 가능한 스캐닝 간섭 리소그래피 방법
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제 9항에 있어서,상기 틸팅 감지 단계에서 스테이지의 상하 틸팅이 감지되는 경우 상기 미러 제어 단계는 제2 조절미러와 제3 조절미러만을 회전시켜 스테이지의 상하 틸팅을 보상할 수 있는 것을 특징으로 하는 실시간 오차 보정이 가능한 스캐닝 간섭 리소그래피 방법
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제 9항에 있어서,상기 진동 오차 감지 단계에서 스테이지의 진동 오차가 감지되는 경우 상기 미러 제어 단계는 제2 조절미러와 제3 조절미러만을 회전시켜 스테이지의 진동 오차를 보상할 수 있는 것을 특징으로 하는 실시간 오차 보정이 가능한 스캐닝 간섭 리소그래피 방법
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제 9항에 있어서,상기 미러 제어 단계에서 회전된 조절미러의 각도가 상기 보상 단계에서 산출된 조절미러의 보상각만큼 회전하였는지 최종 판단하는 판단 단계를 더 포함하고,상기 판단 단계에서 상기 미러 제어 단계에서 회전된 조절미러의 각도가 상기 보상 단계에서 산출된 조절미러 보상각과 일치하지 않는 것으로 판단되는 경우에는 상기 미러 제어 단계를 다시 수행하는 것을 특징으로 하는 실시간 오차 보정이 가능한 스캐닝 간섭 리소그래피 방법
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