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기판 처리 공정이 끝난 다수개의 기판을 동시에 검사할 수 있는 멀티 프로브 시스템에 있어서, 상기 기판, 상기 기판을 지지하는 척 및 상기 기판과 접촉하여 상기 기판을 검사할 수 있는 프로브 카드를 공급하는 공급 유닛과;상기 공급 유닛에서 공급받은 상기 기판, 상기 척 그리고 상기 프로브 카드를 하나의 검사 카트리지로 결합시키는 얼라이너 유닛과;상기 검사 카트리지가 검사 유닛으로 들어가기 전에 상기 검사 카트리지가 머무르는 대기 공간으로서, 상기 얼라이너 유닛에 인접하게 위치하는 대기 유닛 및 상기 얼라이너 유닛에서 합쳐진 상기 검사 카트리지가 놓이는 검사 챔버와 상기 검사 챔버에 놓인 상기 검사 카트리지와 전기적으로 연결되어 상기 검사 카트리지의 상기 기판을 검사하는 테스트부를 포함하는 검사 유닛을 포함하되,상기 검사 챔버는 복수개가 제공되며, 하나의 검사 챔버에는 하나의 상기 검사 카트리지가 놓이는 멀티 프로브 시스템
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제1항에 있어서,상기 테스트부는 복수개의 상기 검사 챔버와 각각 결합되어, 상기 복수개의 검사 카트리지를 동시에 검사하는 멀티 프로브 시스템
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제1항에 있어서,상기 공급 유닛은,복수개의 상기 기판을 가지는 기판 공급부와;복수개의 상기 척을 가지는 척 공급부와; 그리고복수개의 상기 프로브 카드를 가지는 프로브 카드 공급부를; 포함하며,상기 척 공급 부 및 상기 프로브 카드 공급부는 서로 적층되어 위치하는 멀티 프로브 시스템
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제5항에 있어서,상기 멀티 프로브 시스템은 상기 기판, 상기 척, 상기 프로브 카드 그리고 상기 얼라이너 유닛에서 생성되는 검사 전 상기 검사 카트리지 또는 상기 검사 유닛에서 검사 공정이 끝난 상기 검사 카트리지를 이송 시킬 수 있는 이송 로봇을 가지는 이송 유닛을 더 포함하는 멀티 프로브 시스템
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제1항에 있어서, 상기 얼라이너 유닛은 내부에 수용 공간을 가지는 얼라이너 챔버와;상기 얼라이너 챔버 내에 배치되며, 상기 기판, 상기 척 그리고 상기 프로브 카드를 결합시키는 얼라이너기를 포함하는 멀티 프로브 시스템
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제1항에 있어서,상기 척의 내부에는 상기 척을 가열할 수 있는 척 가열부를 구비하는 멀티 프로브 시스템
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