| 1 |
1
기판;상기 기판과 결합하는 지지부;탄소나노섬유로 형성되고, 적외선을 흡수하여 전기저항이 가변하며, 상기 지지부의 상부벽이 타공되어 형성된 타공부에 인입되고 상기 지지부와 결합하여 상기 지지부에 의해 지지되는 감지막;상기 기판과 상기 지지부의 결합에 의해 형성된 공간으로, 상기 감지막을 통과한 적외선이 공진되는 공진공간;상기 공진공간에 위치하고, 상기 기판과 결합하는 반사막;상기 감지막에 대한 적외선의 조사 여부를 판단하는 제어부; 및상기 지지부와 결합하고, 상기 제어부로부터 제어신호를 전달 받아 길이가 가변하여, 상기 반사막의 상면으로부터 상기 감지막의 하면까지 거리인 상기 공진공간의 높이를 가변시키는 액추에이터;를 포함하고,상기 제어부가 상기 감지막의 전기저항 값이 최대로 되는 상기 공진공간의 높이인 최대공진높이를 판단한 후, 상기 공진공간이 최대공진높이인 상태에서 감지대상으로부터 발산되는 적외선을 감지하는 것을 특징으로 하는 탄소나노섬유 감지막을 구비한 적외선 센서
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
청구항 1에 있어서, 상기 공진공간의 높이는, 2 내지 3
|
| 4 |
4
청구항 1에 있어서, 상기 감지막은 300 내지 600도의 온도에서 열처리되는 것을 특징으로 하는 탄소나노섬유 감지막을 구비한 적외선 센서
|
| 5 |
5
청구항 1에 있어서,상기 감지막은, 산성 용액을 이용하여 산 처리되는 것을 특징으로 하는 탄소나노섬유 감지막을 구비한 적외선 센서
|
| 6 |
6
청구항 1에 있어서,상기 감지막은, 전기방사에 의해 형성되는 것을 특징으로 하는 탄소나노섬유 감지막을 구비한 적외선 센서
|
| 7 |
7
청구항 1에 있어서,상기 기판은, 상기 기판 상에 형성되는 절연층을 구비하는 것을 특징으로 하는 탄소나노섬유 감지막을 구비한 적외선 센서
|
| 8 |
8
청구항 1에 있어서,상기 감지막 상에 형성되고, 상기 감지막으로 향하는 적외선을 투과시키며, 상기 감지막을 보호하는 보호층을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노섬유 감지막을 구비한 적외선 센서
|
| 9 |
9
청구항 1에 있어서,상기 반사막은 티타늄(Ti), 알루미늄(Al) 및 철(Fe)로 이루어지는 군에서 선택되는 하나 이상의 금속으로 형성되는 것을 특징으로 하는 탄소나노섬유 감지막을 구비한 적외선 센서
|
| 10 |
10
청구항 1에 있어서,상기 지지부와 결합하고, 상기 감지막과 연결되어 상기 감지막에 전기를 제공하는 전극부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소나노섬유 감지막을 구비한 적외선 센서
|
| 11 |
11
청구항 1 및 청구항 3 내지 청구항 10 중 선택되는 어느 하나의 항에 의한 탄소나노섬유 감지막을 구비한 적외선 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 스마트폰
|
| 12 |
12
청구항 1 및 청구항 3 내지 청구항 10 중 선택되는 어느 하나의 항에 의한 탄소나노섬유 감지막을 구비한 적외선 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 자동차
|
| 13 |
13
삭제
|
| 14 |
14
청구항 1에 있어서,상기 제어부는 소정의 시간 간격으로 상기 공진공간의 높이를 조절하는 것을 특징으로 하는 탄소나노섬유 감지막을 구비한 적외선 센서
|
