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증착 장치내로 C2H2 및 첨가가스를 주입하는 단계; 상기 증착 장치에 +/- 바이어스 전압을 인가하여 탄소마이크로코일-탄소나노코일의 하이브리드 소재를 합성하는 단계; 및 용매의 부재하에서 초음파 분산법에 의해서 상기 탄소마이크로코일-탄소나노코일의 하이브리드 소재를 폴리우레탄 수지와 혼합하여 카본 페이퍼를 제조하는 단계;를 포함하는, 10 GHz 이상 26 GHz 이하의 전자파 흡수를 위한 탄소마이크로코일-탄소나노코일의 하이브리드 소재 함유 카본 페이퍼의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 탄소마이크로코일-탄소나노코일의 하이브리드 소재를 합성하는 단계는, 촉매층이 제공되어 상기 촉매층 상에서 합성이 진행되는 것을 특징으로 하는, 탄소마이크로코일-탄소나노코일의 하이브리드 소재 함유 카본페이퍼의 제조방법
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제 2 항에 있어서,상기 촉매층은 니켈을 포함하는 것을 특징으로 하는, 탄소마이크로코일-탄소나노코일의 하이브리드 소재 함유 카본페이퍼의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 탄소마이크로코일-탄소나노코일의 하이브리드 소재에서 탄소마이크로코일의 직경이 1 μm 이상 3 μm 이하인 것을 특징으로 하는, 탄소마이크로코일-탄소나노코일의 하이브리드 소재 함유 카본페이퍼의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 첨가가스는 SF6 인 것을 특징으로 하는, 탄소마이크로코일-탄소나노코일의 하이브리드 소재 함유 카본페이퍼의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 폴리우레탄 수지와의 혼합은, 초음파 분산법에 의해서 수행되는 것을 특징으로 하는, 탄소마이크로코일-탄소나노코일의 하이브리드 소재 함유 카본페이퍼의 제조방법
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