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테라헤르츠파를 이용하여 피검체 내의 결함을 검출하는 장치에 있어서,상기 피검체로 테라헤르츠파를 인가하는 테라헤르츠파 송신부;상기 테라헤르츠파 송신부에서 송신된 테라헤르츠파를 수신하는 테라헤르츠파 수신부; 및상기 테라헤르츠파에 대하여 상기 피검체와 동일한 유전율을 가지며, 상기 피검체의 윤곽 형상에 대응하는 하나 이상의 개구를 구비하여 상기 개구에 삽입되는 하나 이상의 피검체를 상기 테라헤르츠파 송신부 및 상기 테라헤르츠파 수신부의 사이에 위치시키는 피검체 배치부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 결함 검출 장치
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제1항에 있어서,상기 피검체 배치부의 두께는,상기 피검체와의 접촉면에서의 상기 피검체의 두께와 동일한 값을 가지는 것을 특징으로 하는 결함 검출 장치
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제1항에 있어서,상기 피검체 배치부와 결합되어 평평한 구조를 이루도록 상기 개구에 삽입된 피검체를 감싸며,상기 테라헤르츠파에 대하여 상기 피검체와 동일한 유전율을 가지는 피검체 덮개를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 결함 검출 장치
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제1항에 있어서,상기 피검체 배치부에는,상기 개구에 삽입되는 피검체가 미리 정해진 위치에 안착하도록 지지하는 피검체 안착부가 구비되는 것을 특징으로 하는 결함 검출 장치
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제1항에 있어서,상기 피검체 배치부에는 복수의 피검체가 삽입되는 복수의 개구가 구비되고,상기 복수의 피검체를 검사하기 위하여 상기 피검체 배치부를 이동시키는 피검체 구동부가 더 포함되는 것을 특징으로 하는 결함 검출 장치
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제5항에 있어서,상기 피검체 구동부에서는,상기 피검체 배치부를 나선형 경로에 따라 이동시키면서 상기 복수의 피검체를 검사하는 것을 특징으로 하는 결함 검출 장치
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제1항에 있어서,상기 테라헤르츠파 수신부에서 수신된 신호를 미리 정해진 기준치와 대비하여 상기 피검체 내의 결함을 검출하는 결함 검출부를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 결함 검출 장치
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테라헤르츠파를 이용하여 피검체의 결함을 검출하는 방법에 있어서,상기 테라헤르츠파에 대하여 상기 피검체와 동일한 유전율을 가지며, 상기 피검체의 윤곽 형상에 대응하는 하나 이상의 개구를 구비하여 상기 개구에 삽입되는 하나 이상의 피검체를 테라헤르츠파 송신부 및 테라헤르츠파 수신부의 사이에 위치시키는 피검체 배치 단계; 및상기 테라헤르츠파 송신부에서 상기 피검체로 테라헤르츠파를 인가하고, 상기 테라헤르츠파 수신부가 상기 테라헤르츠파 송신부에서 송신된 테라헤르츠파를 수신하는 테라헤르츠파 송수신 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 결함 검출 방법
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