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| 요약 |
본 발명은 실시간으로 스퍼터링 타겟의 자기장을 측정하여 스퍼터링 타겟에 인가되는 자기장을 최적의 조건으로 제어할 수 있는 스퍼터링 장치에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따른 스퍼터링 장치는 스퍼터링 챔버와, 스퍼터링 챔버 내에 위치한 기판에 증착물질을 제공하는 스퍼터 타겟과, 전자석 코어와 전자석 코어에 감긴 전자석 코일을 포함하여 이루어지며 전자석 코일에 공급되는 전류에 의해 스퍼터 타겟에 자기장이 형성되도록 하는 마그넷 유닛과, 마그넷 유닛의 전자석 코일에 전류를 인가하는 전류 공급부와, 스퍼터 타겟에 인가된 자기장을 측정하는 자기장 측정부와, 그리고 스퍼터링 챔버 내에서 스퍼터링 공정 수행 중에 실시간으로 자기장 측정부에서 측정된 자기장을 입력받아 입력받은 자기장을 기초로 전류 공급부를 제어하여 스퍼터 타겟에 인가되는 자기장을 조정하는 자기장 제어부를 포함한다.
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| Int. CL |
C23C 14/35 (2006.01.01) C23C 14/34 (2006.01.01) H01J 37/34 (2006.01.01)
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| CPC |
C23C 14/35(2013.01) C23C 14/35(2013.01) C23C 14/35(2013.01) C23C 14/35(2013.01) C23C 14/35(2013.01)
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| 출원번호/일자 |
1020170153565
(2017.11.17)
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| 출원인 |
주식회사 조인솔루션, 한국기계연구원
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| 등록번호/일자 |
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| 공개번호/일자 |
10-2019-0056521
(2019.05.27)
문서열기
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| 공고번호/일자 |
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| 국제출원번호/일자 |
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| 국제공개번호/일자 |
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| 우선권정보 |
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| 법적상태 |
공개 |
| 심사진행상태 |
수리 |
| 심판사항 |
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| 구분 |
신규 |
| 원출원번호/일자 |
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| 관련 출원번호 |
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| 심사청구여부/일자 |
Y
(2017.11.17)
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| 심사청구항수 |
2 |
