| 1 |
1
두 개의 분리된 링 구조로 형성되고, 전기적으로 전열되며, 광신호를 공진하는 마이크로 공진기;상기 마이크로 공진기와 집적되고, 열을 발생하는 마이크로 히터;상기 마이크로 공진기와 집적되고, 결합 상태 흡수(defect state absorption)기반으로 형성되어 광전류를 감지하는 광전류감지기; 및상기 마이크로 공진기와 집적되고, 상기 감지된 광전류를 이용하여 공진 스펙트럼의 오정렬을 보상하는 튜너기;를 포함하는 실리콘 기반 적응형 마이크로 링 공진기
|
| 2 |
2
제 1항에 있어서,상기 마이크로 공진기는,상기 링 구조의 일부를 형성하는 제1 마이크로 공진기;상기 제1 마이크로 공진기와 상호 대향되도록 위치하고, 상기 링 구조의 나머지 부분을 형성하는 제2 마이크로 공진기; 및상기 제1 마이크로 공진기 및 상기 제2 마이크로 공진기 사이에 일정 간격으로 이격되게 형성하는 공진 공극;을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기반 적응형 마이크로 링 공진기
|
| 3 |
3
제 2항에 있어서,P-도핑이 되고, 상기 공진 공극 사이로 삽입되며, 상기 제1 마이크로 공진기 및 상기 마이크로 공진기를 서로 전기적으로 분리시키는 P-도핑 와이어; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기반 적응형 마이크로 링 공진기
|
| 4 |
4
제 1항에 있어서,상기 광전류감지기는,상기 마이크로 공진기에 역방향 바이어스가 인가되면 상기 마이크로 공진기의 내부 전력을 모니터링하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기반 적응형 마이크로 링 공진기
|
| 5 |
5
제 1항에 있어서,상기 튜너기는,상기 마이크로 공진기에 순방향 바이어스가 인가되면 상기 공진 스펙트럼에 대한 오정렬을 보상하고, 스위치 역할을 수행하는 실리콘 기반 적응형 마이크로 링 공진기
|
| 6 |
6
제 1항에 있어서,상기 튜너기는,전기광학(electro-optical) 또는 열광학(thermo-optical)을 이용하여 상기 공진 스펙트럼의 오정렬을 보상하는 것을 특징으로 하는 실리콘 기반 적응형 마이크로 링 공진기
|
| 7 |
7
광신호를 공진시키는 적응형 마이크로 링 공진기;상기 적응형 마이크로 링 공진기와 이웃하게 배치되고, 상기 광신호가 입사되는 입력 도파로; 및상기 입력 도파로와 교차되게 형성되고, 상기 광신호 중 상기 적응형 마이크로 링 공진기와 동일한 공진파장인 광신호만 출력하는 출력 도파로; 를 포함하되,상기 적응형 마이크로 링 공진기는,두 개의 분리된 링 구조로 형성되고, 전기적으로 전열되는 마이크로 공진기;상기 마이크로 공진기와 집적되고, 열을 발생하는 마이크로 히터;상기 마이크로 공진기와 집적되고, 결합 상태 흡수(defect state absorption)기반으로 형성되어 광전류를 감지하는 광전류감지기; 및상기 마이크로 공진기와 집적되고, 상기 감지된 광전류를 이용하여 공진 스펙트럼의 오정렬을 보상하는 튜너기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 링 스위치
|
| 8 |
8
제 7항에 있어서,상기 입력 도파로 및 상기 출력 도파로는 서로 직각을 이루며 교차되는 것을 특징으로 하는 마이크로 링 스위치
|
