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스케일,상기 스케일의 길이 방향을 따라 이동할 수 있는 슬라이더 및상기 슬라이더에 결합되어 상기 스케일상에서 임의의 기준점으로부터 상기 슬라이더의 변위(xs)를 측정하는 헤드를 포함하되,상기 스케일에는 상기 스케일의 변형으로 인해 이동하게 되는 돌출부가 형성되어,상기 돌출부의 이동 거리(dn)를 측정하는 센서 및상기 돌출부의 이동 거리(dn)에 기초하여, 상기 스케일의 변형에 따른 오차를 보상하는 보상 장치를 더 포함하는 인코더
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제1항에 있어서,상기 센서는 상기 돌출부에 부착되어 함께 이동하게 되는 이동 전극 및상기 이동 전극으로부터 이격되어 고정적으로 설치되는 고정 전극을 포함하여,상기 이동 전극과 상기 고정 전극 사이의 전기 용량의 변화를 감지함으로써 상기 돌출부의 이동 거리(dn)를 측정하는 인코더
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제2항에 있어서,상기 이동 전극은 제1 이동 전극과 제2 이동 전극으로 이루어져, 상기 제1 이동 전극은 상기 돌출부 중 상기 기준점에 가까운 측에 부착되고, 상기 제2 이동 전극은 상기 기준점으로부터 먼 측에 부착되며,상기 고정 전극은 제1 고정 전극과 제2 고정 전극으로 이루어져, 상기 제1 고정 전극은 상기 제1 이동 전극으로부터 상기 기준점에 가까운 방향으로 이격되고, 상기 제2 고정 전극은 상기 제2 이동 전극으로부터 상기 기준점으로부터 먼 방향으로 이격되어,상기 제1 이동 전극과 상기 제1 고정 전극을 통해 측정한 상기 돌출부의 이동 거리(dn1)에서 상기 제2 이동 전극과 상기 제2 고정 전극을 통해 측정한 상기 돌출부의 이동 거리(dn2)를 빼고 이를 반으로 나눔으로써([dn1-dn2]/2) 상기 돌출부의 이동 거리(dn)를 측정하는 인코더
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제1항에 있어서,상기 보상 장치는 상기 스케일상에서 상기 기준점으로부터 상기 돌출부의 초기 변위(xn)와 상기 돌출부의 이동 거리(dn)의 관계를 만족하는 함수(f(x))를 도출하는 제1 연산부,상기 함수(f(x))의 적분 함수(F(x))를 도출하는 제2 연산부 및상기 슬라이더의 변위(xs)에 상기 적분 함수(F(x))에서 그 변위(xs)에 해당하는 값(F(xs))을 더하는(xs+F(xs)) 제3 연산부를 더 포함하는 인코더
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제1항에 있어서,상기 돌출부는 복수 개로 이루어져, 상기 길이 방향을 따라 특정한 간격으로 배열되는 인코더
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스케일, 상기 스케일의 길이 방향을 따라 이동할 수 있는 슬라이더 및 상기 슬라이더에 결합되어 상기 스케일상에서 임의의 기준점으로부터 상기 슬라이더의 변위(xs)를 측정하는 헤드를 포함하는 인코더의 오차를 보상하기 위한 방법으로서,상기 스케일에는 상기 스케일의 변형으로 인해 이동하게 되는 돌출부가 형성되어,상기 돌출부의 이동 거리(dn)를 측정하는 단계 및상기 돌출부의 이동 거리(dn)에 기초하여, 상기 스케일의 변형에 따른 오차를 보상하는 단계를 포함하는 인코더의 오차를 보상하기 위한 방법
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제6항에 있어서,상기 인코더는 상기 돌출부의 이동 거리(dn)를 측정하기 위한 센서를 더 포함하고, 상기 센서는 상기 돌출부에 부착되어 함께 이동하게 되는 이동 전극 및 상기 이동 전극으로부터 이격되어 고정적으로 설치되는 고정 전극을 포함하여,상기 돌출부의 이동 거리(dn)를 측정하는 단계는 상기 이동 전극과 상기 고정 전극 사이의 전기 용량의 변화를 감지함으로써 상기 돌출부의 이동 거리(dn)를 측정하는 것으로 이루어지는 인코더의 오차를 보상하기 위한 방법
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제7항에 있어서,상기 이동 전극은 제1 이동 전극과 제2 이동 전극으로 이루어져, 상기 제1 이동 전극은 상기 돌출부 중 상기 기준점에 가까운 측에 부착되고, 상기 제2 이동 전극은 상기 기준점으로부터 먼 측에 부착되며, 상기 고정 전극은 제1 고정 전극과 제2 고정 전극으로 이루어져, 상기 제1 고정 전극은 상기 제1 이동 전극으로부터 상기 기준점에 가까운 방향으로 이격되고, 상기 제2 고정 전극은 상기 제2 이동 전극으로부터 상기 기준점으로부터 먼 방향으로 이격되어,상기 돌출부의 이동 거리(dn)를 측정하는 단계는 상기 제1 이동 전극과 상기 제1 고정 전극을 통해 상기 돌출부의 이동 거리(dn1)를 측정하는 A 단계,상기 제2 이동 전극과 상기 제2 고정 전극을 통해 상기 돌출부의 이동 거리(dn2)를 측정하는 B 단계 및상기 A 단계에서 측정된 돌출부의 이동 거리(dn1)에서 상기 B 단계에서 측정된 돌출부의 이동 거리(dn2)를 빼고 이를 반으로 나누는([dn1-dn2]/2) C 단계를 포함하는 인코더의 오차를 보상하기 위한 방법
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제6항에 있어서,상기 스케일의 변형에 따른 오차를 보상하는 단계는 상기 스케일상에서 상기 기준점으로부터 상기 돌출부의 초기 변위(xn)와 상기 돌출부의 이동 거리(dn)의 관계를 만족하는 함수(f(x))를 도출하는 단계,상기 함수(f(x))의 적분 함수(F(x))를 도출하는 단계 및상기 슬라이더의 변위(xs)에 상기 적분 함수(F(x))에서 그 변위(xs)에 해당하는 값(F(xs))을 더하는(xs+F(xs)) 단계를 포함하는 인코더의 오차를 보상하기 위한 방법
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제6항에 있어서,상기 돌출부는 복수 개로 이루어져, 상기 길이 방향을 따라 특정한 간격으로 배열되는 인코더의 오차를 보상하기 위한 방법
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