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엠보 패턴을 포함한 베이스 기판;상기 베이스 기판 상에 제공된 제1 도전층;상기 제1 도전층 상에 제공되어 가해진 압력에 대응하여 전기적 특성이 가변되고, 유전체 및 상기 유전체 내부에 분포된 나노 입자를 포함하는 압력 민감 물질층; 및상기 압력 민감 물질층 상에 제공된 제2 도전층을 포함하고, 상기 유전체와 상기 나노 입자는 서로 반대 극성의 초전성을 갖는 물질을 포함하는 압력 센서
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제1 항에 있어서,상기 유전체는 포티지브(+) 초전성을 갖는 강유전성 압전 물질을 포함하고, 상기 나노 입자는 네가티브(-) 초전성을 갖는 바륨 티타네이트(BaTiO3) 나노 입자, 리튬 티타네이트(LiTiO3) 나노 입자, 티탄산 지르콘산 연(PZT) 나노 입자, 티탄산납(PbTiO3) 나노 입자, Pb5Ge3O11 나노 입자를 포함하는 압력 센서
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제2 항에 있어서, 상기 압력 민감 물질층 내에서, 상기 나노 입자는 30wt% 내지 40wt% 정도의 농도를 갖는 압력 센서
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제1 항에 있어서,상기 엠보 패턴은, 상기 제1 도전층이 제공된 상기 베이스 기판의 일면에서 돌출된 복수의 돌출부들; 및 인접한 돌출부들 사이에 제공된 밸리를 포함하는 압력 센서
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제4 항에 있어서,상기 돌출부의 마루(peak)에 제공된 복수의 더미 패턴들을 더 포함하는 압력 센서
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제4 항에 있어서,상기 제1 도전층은 상기 엠보 패턴에 대응되는 굴곡진 표면을 갖는 압력 센서
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엠보 패턴을 포함한 베이스 기판을 준비하는 단계;상기 베이스 기판 상에 상기 엠보 패턴에 대응되는 굴곡진 표면을 갖는 제1 도전층을 형성하는 단계;전방향 스트레스 장치에 상기 제1 도전층을 포함한 상기 베이스 기판을 고정시킨 후, 상기 베이스 기판에 전방향으로 인장력을 가하여 상기 제1 도전층의 굴곡진 표면을 평탄화시키는 단계;상기 평탄화된 표면을 갖는 상기 제1 도전층 상에 유전체 및 상기 유전체 내부에 분포된 나노 입자를 포함하는 압력 민감 물질층을 형성하는 단계; 및상기 압력 민감 물질층 상에 제2 도전층을 형성하는 단계를 포함하고, 상기 유전체와 상기 나노 입자는 서로 반대 극성의 초전성을 갖는 물질을 포함하는 압력 센서의 제조 방법
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제7 항에 있어서,상기 베이스 기판을 상기 전방향 스트레칭 장치로부터 분리시켜 상기 베이스 기판에 제공된 상기 인장력을 제거하는 단계; 및열처리 방법을 통해 상기 압력 민감 물질층을 결정화시키는 단계를 더 포함하는 압력 센서의 제조 방법
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제7 항에 있어서,스핀 코팅 방법을 이용하여 상기 제1 도전층을 포함한 상기 베이스 기판 상에 상기 압력 민감 물질층을 형성하는 압력 센서의 제조 방법
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10
제7 항에 있어서, 상기 유전체는 포티지브(+) 초전성을 갖는 강유전성 압전 물질을 포함하고, 상기 나노 입자는 네가티브(-) 초전성을 갖는 바륨 티타네이트(BaTiO3) 나노 입자, 리튬 티타네이트(LiTiO3) 나노 입자, 티탄산 지르콘산 연(PZT) 나노 입자, 티탄산납(PbTiO3) 나노 입자, Pb5Ge3O11 나노 입자를 포함하는 압력 센서의 제조 방법
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제10 항에 있어서, 상기 압력 민감 물질층 내에서, 상기 나노 입자는 30wt% 내지 40wt% 정도의 농도를 갖는 압력 센서의 제조 방법
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영상을 표시하는 표시 패널; 및상기 표시 패널의 일면 상에 제공되며, 사용자의 터치 압력을 감지하는 압력 센서를 포함하고, 상기 압력 센서는, 엠보 패턴을 포함한 베이스 기판; 상기 베이스 기판 상에 제공된 제1 도전층; 상기 제1 도전층 상에 제공되어 가해진 압력에 대응하여 전기적 특성이 가변되고, 유전체 및 상기 유전체 내부에 분포된 나노 입자를 포함하는 압력 민감 물질층; 및 상기 압력 민감 물질층 상에 제공된 제2 도전층을 포함하고, 상기 유전체와 상기 나노 입자는 서로 반대 극성의 초전성을 갖는 물질을 포함하는 표시 장치
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제12 항에 있어서, 상기 유전체는 포티지브(+) 초전성을 갖는 강유전성 압전 물질을 포함하고, 상기 나노 입자는 네가티브(-) 초전성을 갖는 바륨 티타네이트(BaTiO3) 나노 입자, 리튬 티타네이트(LiTiO3) 나노 입자, 티탄산 지르콘산 연(PZT) 나노 입자, 티탄산납(PbTiO3) 나노 입자, Pb5Ge3O11 나노 입자를 포함하는 표시 장치
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제13 항에 있어서, 상기 압력 민감 물질층 내에서, 상기 나노 입자는 30wt% 내지 40wt% 정도의 농도를 갖는 표시 장치
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제12 항에 있어서, 상기 엠보 패턴은, 상기 제1 도전층이 제공된 상기 베이스 기판의 일면에서 돌출된 복수의 돌출부들; 및 인접한 돌출부들 사이에 제공된 밸리를 포함하는 표시 장치
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제15 항에 있어서,상기 돌출부의 마루(peak)에 제공된 복수의 더미 패턴들을 더 포함하는 표시 장치
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제15 항에 있어서,상기 제1 도전층은 상기 엠보 패턴들에 대응되는 굴곡진 표면을 갖는 표시 장치
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제12 항에 있어서,상기 표시 패널은, 상기 영상을 표시하는 표시 영역 및 상기 표시 영역의 적어도 일측에 배치된 비표시 영역을 포함하는 기판; 및 상기 표시 영역에 제공되며, 적어도 하나 이상의 트랜지스터 및 상기 트랜지스터에 연결된 발광 소자를 포함한 복수의 화소들을 포함하는 표시 장치
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제18 항에 있어서, 상기 압력 센서는 상기 표시 패널의 양 면 중 광이 출사되는 반대 방향의 면 상에 제공되는 표시 장치
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제18 항에 있어서, 상기 베이스 기판과 상기 기판 각각은 가요성(flexibility)을 갖는 표시 장치
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