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폴리머 필름과, 상기 폴리머 필름 내에 분산된 복수의 유기-무기 복합 입자를 포함하고, 상기 복수의 유기-무기 복합 입자는 각각 무기 입자와, 상기 무기 입자를 포위하고 히드록실 기(hydroxyl group)로 종결된 말단을 가지는 유기 캡핑층을 포함하는 하이브리드 복합체 필름
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제1항에 있어서, 상기 무기 입자는 1 ∼ 900 nm의 범위 내에서 선택되는 입자 크기를 가지는 하이브리드 복합체 필름
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제1항에 있어서, 상기 유기 캡핑층은 실록산 결합(siloxane linkage)을 포함하는 하이브리드 복합체 필름
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제1항에 있어서, 상기 유기 캡핑층은 실란올 기를 포함하는 하이브리드 복합체 필름
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제1항에 있어서, 상기 유기 캡핑층은 C1 ∼ C10의 알킬렌 기를 포함하는 하이브리드 복합체 필름
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제1항에 있어서, 상기 무기 입자는 무기 황화물, 무기 질화물, 무기 산화물, 또는 이들의 조합으로 이루어지는 하이브리드 복합체 필름
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제1항에 있어서, 상기 무기 입자는 ZnS, AlN, BN, 또는 이들의 조합으로 이루어지는 하이브리드 복합체 필름
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제1항에 있어서, 상기 폴리머 필름은 폴리이미드를 포함하고, 상기 무기 입자는 ZnS를 포함하는 하이브리드 복합체 필름
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제1항에 있어서, 상기 무기 입자의 함량은 상기 폴리머 필름과 상기 무기 입자의 총 중량을 기준으로 1 ∼ 25 wt%인 하이브리드 복합체 필름
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복수의 무기 입자를 형성하는 단계와, 상기 복수의 무기 입자 각각의 표면에 히드록실 기로 종결된 말단을 가지는 유기 캡핑층을 형성하여 복수의 유기-무기 복합 입자를 형성하는 단계와, 상기 복수의 유기-무기 복합 입자를 용매에 분산시켜 유기-무기 복합 입자 분산액을 형성하는 단계와, 상기 유기-무기 복합 입자 분산액과 폴리머 전구체 조성물과의 혼합액을 형성하는 단계와, 상기 혼합액으로부터 코팅막을 형성하는 단계와, 상기 코팅막을 경화시키는 단계를 포함하는 하이브리드 복합체 필름의 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 복수의 무기 입자는 ZnS, AlN, BN, 또는 이들의 조합으로 이루어지는 하이브리드 복합체 필름의 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 복수의 유기-무기 복합 입자를 형성하는 단계는 상기 복수의 무기 입자와 유기 실란 화합물을 액상(aqueous phase)에서 혼합하는 단계를 포함하는 하이브리드 복합체 필름의 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 복수의 유기-무기 복합 입자를 형성하는 단계는 상기 복수의 무기 입자가 분산된 용액 내에 MPTMS((3-mercaptopropyl)trimethoxysilane)를 첨가하는 단계와, 상기 MPTMS가 첨가된 용액을 교반하여 상기 복수의 유기-무기 복합 입자를 형성하는 단계와, 상기 교반된 용액으로부터 상기 복수의 유기-무기 복합 입자를 분리하는 단계를 포함하는 하이브리드 복합체 필름의 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 복수의 무기 입자는 각각 1 ∼ 900 nm의 범위 내에서 선택되는 입자 크기를 가지는 하이브리드 복합체 필름의 제조 방법
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제10항에 있어서, 상기 폴리머 전구체 조성물은 폴리아믹산을 포함하는 하이브리드 복합체 필름의 제조 방법
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반도체 소자와, 상기 반도체 소자를 덮는 하이브리드 복합체 필름을 포함하고, 상기 하이브리드 복합체 필름은 폴리머 필름과, 상기 폴리머 필름 내에 분산된 복수의 유기-무기 복합 입자를 포함하고, 상기 복수의 유기-무기 복합 입자는 각각 무기 입자와, 상기 무기 입자를 포위하고 히드록실 기로 종결된 말단을 가지는 유기 캡핑층을 포함하는 집적회로 소자
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제16항에 있어서, 상기 무기 입자는 1 ∼ 900 nm의 범위 내에서 선택되는 입자 크기를 가지는 집적회로 소자
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제16항에 있어서, 상기 유기 캡핑층은 실록산 결합을 포함하는 집적회로 소자
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제16항에 있어서, 상기 유기 캡핑층은 실란올 기와, C1 ∼ C10의 알킬렌 기를 포함하는 집적회로 소자
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제16항에 있어서, 상기 무기 입자는 무기 황화물, 무기 질화물, 무기 산화물, 또는 이들의 조합으로 이루어지는 집적회로 소자
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