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소결식 내부전극형 압전세라믹 제조방법에 있어서,소결온도 차이가 있는 이종 세라믹 소재를 배치하여 시료를 형성하는 단계와;상기 이종 압전세라믹 소재의 소결 온도 사이 범위의 온도에서 상기 시료를 소결하여 상기 시료의 상부 및 하부 표면에 공극을 형성하는 단계와;상기 시료의 상부 및 하부 표면에 금속 분말 도포 및 열처리하여 압전세라믹 내부전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 소결식 내부전극형 압전세라믹 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 시료를 형성하는 단계는,상대적으로 소결온도가 높은 제1소재와, 상기 제1소재보다 소결온도가 낮은 제2소재를 준비하고, 상기 제2소재를 가운데 두고 상기 제1소재를 상기 제2소재의 상부 및 하부에 배치하여 시료를 형성하는 것을 특징으로 하는 소결식 내부전극형 압전세라믹 제조방법
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제 2항에 있어서,상기 제1소재는 0
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제 2항에 있어서,상기 제1소재와 상기 제2소재는 0
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제 2항에 있어서,상기 시료를 소결하는 단계는,상기 제1소재의 소결 온도보다 낮은 범위 및 상기 제2소재의 소결온도보다 높은 범위에 해당하는 온도에서 상기 시료를 소결하는 것을 특징으로 하는 소결식 내부전극형 압전세라믹 제조방법
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제 5항에 있어서,상기 시료를 소결하는 단계는,1000 내지 1100℃에서 소결이 이루어지는 것을 특징으로 하는 소결식 내부전극형 압전세라믹 제조방법
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제 2항에 있어서,상기 시료를 소결하는 단계에서,상기 제2소재는 전량 소결이 이루어지며, 상기 제1소재는 전량 소결이 이루어지지 않아 소결이 이루어지지 않은 상기 제1소재 영역에 공극이 형성되는 것을 특징으로 하는 소결식 내부전극형 압전세라믹 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 금속 분말은 은-팔라듐(AgPd) 합금 분말인 것을 특징으로 하는 소결식 내부전극형 압전세라믹 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 압전세라믹 내부전극을 형성하는 단계는,상기 시료의 상부 및 하부 표면에 금속 분말을 도포한 후, 열처리를 통해 상기 공극 내로 상기 금속 분말이 침투되어 상기 내부전극을 형성하는 것을 특징으로 하는 소결식 내부전극형 압전세라믹 제조방법
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제 9항에 있어서,상기 열처리 온도는 950 내지 1000℃인 것을 특징으로 하는 소결식 내부전극형 압전세라믹 제조방법
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소결식 내부전극형 압전세라믹에 있어서,상대적으로 소결온도가 높은 제1소재와;상기 제1소재의 상부 및 하부에 배치되며, 상기 제1소재보다 소결온도가 낮은 제2소재와;상기 제2소재의 상부 및 하부 표면에 형성된 내부전극을 포함하며,상기 내부전극은 상기 제2소재에 형성된 공극에 침투된 것을 특징으로 하는 소결식 내부전극형 압전세라믹
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