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천공식 내부전극형 압전세라믹 제조방법에 있어서,중심부 세라믹, 상부 및 하부 세라믹을 각각 준비하는 단계와;상기 상부 및 하부 세라믹을 천공하여 통공을 형성하는 단계와;상기 통공이 형성된 상기 상부 및 하부 세라믹을 상기 중심부 세라믹의 상부 및 하부에 적층하여 세라믹 후막을 형성하는 단계와;적층된 상기 세라믹 후막을 열처리를 통해 탈지 및 소결하여 세라믹 시료를 형성하는 단계와;상기 세라믹 시료 표면에 금속 페이스트를 도포하여 상기 통공 내에 내부전극을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 천공식 내부전극형 압전세라믹 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 중심부 세라믹과 상기 상부 및 하부 세라믹은 서로 동일한 모 조성 압전 세라믹 소재로 이루어지며, 상기 모 조성 압전 세라믹 소재는 0
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제 1항에 있어서,상기 중심부 세라믹과 상기 상부 및 하부 세라믹은 각각 0
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제 1항에 있어서,상기 통공을 형성하는 단계는,복수 개의 핀(pin)이 배치된 장치를 이용하여 상기 상부 및 하부 세라믹에 기계적 타공을 실시하는 것을 특징으로 하는 천공식 내부전극형 압전세라믹 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 세라믹 시료를 형성하는 단계는,열처리를 통해 상기 세라믹 후막의 사이즈에 비해 상기 세라믹 시료가 10 내지 20% 사이즈가 수축되는 것을 특징으로 하는 천공식 내부전극형 압전세라믹 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 내부전극을 형성하는 단계는,상기 통공 내로 상기 금속 페이스트가 스며들고, 상기 금속 페이스트를 건조하여 상기 통공 내부에 상기 내부전극이 형성되는 것을 특징으로 하는 천공식 내부전극형 압전세라믹 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 내부전극을 형성하는 단계는,스퍼터링 또는 프린팅을 이용하여 상기 금속 페이스트를 도포하는 것을 특징으로 하는 천공식 내부전극형 압전세라믹 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 금속 페이스트는, 금(Au) 페이스트, 은(Ag) 페이스트 또는 금과 은이 혼합된 합금 페이스트인 것을 특징으로 하는 천공식 내부전극형 압전세라믹 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 통공의 격자 간격은 0
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천공식 내부전극형 압전세라믹에 있어서,중심부 세라믹과;상기 중심부 세라믹의 상부 및 하부에 적층되며, 0
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