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진공 챔버;상기 진공 챔버 내부의 압력을 10 내지 500mbar로 유지하도록 하는 압력조절장치;상기 진공 챔버에 배치되고, 플라즈마를 발생시키는 플라즈마 발생부 및 상기 발생된 플라즈마를 분사하는 분사구를 포함하는 플라즈마 건; 상기 플라즈마 건에서 분사된 플라즈마에 서스펜션을 공급하도록 배치된 드립프리아토마이징 노즐; 및상기 드립프리아토마이징 노즐에 연통되고, 상기 드립프리아토마이징 노즐에 서스펜션을 공급하는 서스펜션 공급부;를 포함하고, 상기 서스펜션은 분말 및 용매의 혼합체이고, 상기 분말은 금속 분말, 산화물계 세라믹 분말 및 비산화물계 세라믹 분말 중 적어도 하나를 포함할 수 있고, 상기 용매는 물, 알코올, 벤젠, 톨루엔 중 적어도 하나를 포함하고,상기 드립프리아토마이징 노즐은 상기 노즐 내부에, 서스펜션 공급관, 기체 공급관, 서스펜션이 노즐 외부로 배출되는 것을 차단하는 서스펜션 차단부, 상기 서스펜션 공급관에서 공급되는 서스펜션 및 상기 기체 공급관에서 공급되는 기체가 혼합 분사되는 배출구,를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 서스펜션 플라즈마 용사장치
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제1항에 있어서, 상기 서스펜션 차단부는 상기 기체 공급관에서 기체가 공급되는 경우 상기 서스펜션 공급관에서 상기 배출구로 서스펜션이 흐르도록 열린 상태(On-state)가 되고, 상기 기체 공급관에서 기체가 공급되지 않는 경우 상기 서스펜션 공급관에서 상기 배출구로 서스펜션이 차단되도록 닫힌 상태(Off-state)가 되는 것을 특징으로 하는 진공 서스펜션 플라즈마 용사장치
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제1항에 있어서, 상기 드립프리아토마이징 노즐의 서스펜션 배출구 직경은 100 내지 1000㎛인 진공 서스펜션 플라즈마 용사장치
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제1항에 있어서, 상기 서스펜션 공급부의 서스펜션 공급 유량은 1 내지 2000g/min인 진공 서스펜션 플라즈마 용사장치
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제1항에 있어서,상기 서스펜션 공급부는 서스펜션 유량을 조절하는 유량조절장치 및 서스펜션 유량을 계측하는 유량계측장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공 서스펜션 플라즈마 용사장치
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제1항에 있어서,상기 드립프리아토마이징 노즐은 상기 서스펜션 공급부로부터 서스펜션이 공급되지 않는 경우에는 상기 진공 챔버 및 서스펜션 공급부를 차단하는 차단부재를 더 포함하는 진공 서스펜션 플라즈마 용사장치
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진공 서스펜션 플라즈마 용사장치를 이용하여 코팅층을 형성하는 방법에 있어서, 서스펜션 및 기판을 준비하는 단계; 및상기 기판을 진공 챔버에 배치하는 단계; 및상기 서스펜션을 플라즈마에 공급하고, 상기 기판 상에 코팅층을 형성하는 단계;를 포함하고, 상기 서스펜션은 분말 및 용매의 혼합체이고, 상기 분말은 금속 분말, 산화물계 세라믹 분말 및 비산화물계 세라믹 분말 중 적어도 하나를 포함하고, 상기 용매는 물, 알코올, 벤젠 또는 톨루엔 중 적어도 하나를 포함하고, 상기 진공 서스펜션 플라즈마 용사장치는 서스펜션을 공급하도록 배치된 드립프리아토마이징 노즐을 포함하고, 상기 드립프리아토마이징 노즐은 상기 노즐 내부에, 서스펜션 공급관, 기체 공급관, 서스펜션이 노즐 외부로 배출되는 것을 차단하는 서스펜션 차단부, 상기 서스펜션 공급관에서 공급되는 서스펜션 및 상기 기체 공급관에서 공급되는 기체가 혼합 분사되는 배출구,를 포함하고, 상기 서스펜션 차단부는 상기 기체 공급관에서 기체가 공급되는 경우 상기 서스펜션 공급관에서 상기 배출구로 서스펜션이 흐르도록 열린 상태(On-state)가 되고, 상기 기체 공급관에서 기체가 공급되지 않는 경우 상기 서스펜션 공급관에서 상기 배출구로 서스펜션이 차단되도록 닫힌 상태(Off-state)가 되는 진공 서스펜션 플라즈마 용사방법
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제7항에 있어서, 상기 분말의 직경은 10 내지 1000nm인 진공 서스펜션 플라즈마 용사방법
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