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스핀 코팅 공정을 통해 코팅 물질이 도포되는 기판을 촬영하여 기판 영상을 획득하는 단계;상기 기판 영상으로부터 복수의 패치들을 추출하는 단계;상기 복수의 패치들 각각에 대해 정상 여부를 판별하는 단계; 및상기 판별 결과에 따라, 상기 기판에 대한 코팅 물질의 정상 도포 여부를 결정하는 단계;를 포함하되, 상기 복수의 패치들을 추출하는 단계는,상기 기판 영상에서 상기 기판의 에지를 따라 상기 복수의 패치들을 추출하는 것을 특징으로 하는, 코팅 물질의 도포 상태 모니터링 방법
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제1 항에 있어서,상기 코팅 물질의 도포 상태 모니터링 방법은, 상기 기판 영상을 획득하는 단계 후 상기 복수의 패치들을 추출하는 단계 전에,상기 기판 영상과 기준 영상 간의 변환 관계를 추정하는 단계; 및상기 추정된 변환 관계에 따라 상기 기판 영상을 보정하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 코팅 물질의 도포 상태 모니터링 방법
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제2 항에 있어서,상기 기판 영상은, 상기 기판의 상면에 수직한 방향에 대하여 일정 각도로 기울어진 방향으로 상기 기판을 촬영한 영상이고,상기 기준 영상은, 상기 기판의 상면에 수직한 방향으로 상기 기판을 촬영한 영상인 것을 특징으로 하는, 코팅 물질의 도포 상태 모니터링 방법
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제1 항에 있어서,상기 복수의 패치들 각각에 대해 정상 여부를 판별하는 단계는,미리 준비된 정상 패치와 비정상 패치를 이용하여 학습된 신경망 모델을 통해서, 상기 복수의 패치들 각각에 이상 영역이 존재하는지 여부를 판단하여 상기 복수의 패치들 각각에 대해 정상 여부를 판별하는 것을 특징으로 하는, 코팅 물질의 도포 상태 모니터링 방법
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제1 항에 있어서,상기 기판에 대한 코팅 물질의 정상 도포 여부를 결정하는 단계는,정상으로 판별된 패치의 개수에 기초하여, 상기 기판에 대해 상기 코팅 물질이 정상적으로 도포된 것인지를 결정하는 것을 특징으로 하는, 코팅 물질의 도포 상태 모니터링 방법
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제6 항에 있어서,상기 기판에 대한 코팅 물질의 정상 도포 여부를 결정하는 단계는,상기 복수의 패치들의 개수 대비 상기 정상으로 판별된 패치의 개수가 소정 비율 이상인 경우, 상기 기판에 대해 상기 코팅 물질이 정상적으로 도포된 것으로 결정하는 것을 특징으로 하는, 코팅 물질의 도포 상태 모니터링 방법
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제6 항에 있어서,상기 기판에 대한 코팅 물질의 정상 도포 여부를 결정하는 단계는,상기 정상으로 판별된 패치의 개수 대비 비정상으로 판별된 패치의 개수의 비율이 소정 비율 미만인 경우, 상기 기판에 대해 상기 코팅 물질이 정상적으로 도포된 것으로 결정하는 것을 특징으로 하는, 코팅 물질의 도포 상태 모니터링 방법
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코팅 물질의 도포 상태 모니터링 장치에 있어서,적어도 하나의 프로세서; 및상기 프로세서에 전기적으로 연결된 메모리를 포함하고,상기 메모리는, 상기 프로세서가 실행 시에,스핀 코팅 공정을 통해 코팅 물질이 도포되는 기판을 촬영하여 획득된 기판 영상으로부터 복수의 패치들을 추출하고,상기 복수의 패치들 각각에 대해 정상 여부를 판별하고,상기 판별된 결과에 따라, 상기 기판에 대한 코팅 물질의 정상 도포 여부를 결정하는 인스트럭션들을 저장하는, 코팅 물질의 도포 상태 모니터링 장치
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스핀 코팅 공정을 통해 코팅 물질이 도포되는 기판을 소정 시간 동안 촬영하여 복수의 기판 영상들을 획득하는 단계;상기 복수의 기판 영상들 각각으로부터 관심 영역을 추출하는 단계;상기 관심 영역들에서의 시간 경과에 따른 코팅 물질 도포 영역 넓이의 변화량을 분석하는 단계;상기 분석 결과에 따라, 상기 기판에 대한 코팅 물질의 정상 도포 여부를 결정하는 단계;를 포함하는, 코팅 물질의 도포 상태 모니터링 방법
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제10 항에 있어서, 상기 관심 영역들은, 상기 기판의 중심과 상기 기판의 에지 사이에서 소정의 크기를 갖는 영역인 것을 특징으로 하는, 코팅 물질의 도포 상태 모니터링 방법
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제10 항에 있어서,상기 기판에 대한 코팅 물질의 정상 도포 여부를 결정하는 단계는,상기 관심 영역들에서 상기 코팅 물질 도포 영역 넓이의 변화량과 기 설정된 기준 도포 변화량을 비교하여 상기 기판에 대한 코팅 물질의 정상 도포 여부를 결정하는 단계;를 포함하되,상기 기준 도포 변화량은 미리 정상으로 판정된 기판 영상들의 관심 영역들에서 획득된 정보로서, 시간의 경과에 따른 관심 영역들에서의 코팅 물질 영역 넓이 변화량에 대한 것인, 코팅 물질의 도포 상태 모니터링 방법
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제10 항에 있어서,상기 코팅 물질의 도포 변화량을 분석하는 단계 후 상기 기판에 대한 코팅 물질의 정상 도포 여부를 결정하는 단계 전에,상기 분석 결과를 신경망 모델에 적용하여 상기 코팅 물질을 상기 기판으로 토출하는 디스펜서의 위치를 산출하는 단계;를 더 포함하되,상기 신경망 모델은 디스펜서의 다양한 위치들에서 분석된 학습용 도포 변화량으로 미리 학습된 것인, 코팅 물질의 도포 상태 모니터링 방법
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제10 항에 있어서,상기 코팅 물질의 도포 변화량을 분석하는 단계 후 상기 기판에 대한 코팅 물질의 정상 도포 여부를 결정하는 단계 전에,상기 관심 영역들이 촬영된 시간 정보와 상기 관심 영역들을 LSTM(Long Short Term Memory) 망 모델에 적용하여 상기 코팅 물질을 상기 기판으로 토출하는 디스펜서의 위치를 산출하는 단계;를 더 포함하되,상기 LSTM 망 모델은, 코팅이 시작되면서부터 코팅이 종료되기까지 연속적으로 촬영된 상기 관심 영역들 중에서 적어도 하나의 관심 영역과 그에 대응하는 시간 정보를 이용하여 상기 디스펜서의 위치를 산출하는, 코팅 물질의 도포 상태 모니터링 방법
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코팅 물질의 도포 상태 모니터링 장치에 있어서,적어도 하나의 프로세서; 및상기 프로세서에 전기적으로 연결된 메모리를 포함하고,상기 메모리는, 상기 프로세서가 실행 시에,스핀 코팅 공정을 통해 코팅 물질이 도포되는 기판을 소정 시간 동안 촬영하여 획득된 복수의 기판의 영상들 각각으로부터 관심 영역을 추출하고,상기 관심 영역들에서의 시간 경과에 따른 코팅 물질 도포 영역 넓이의 변화량을 분석하고,상기 분석 결과에 따라, 상기 기판에 대한 코팅 물질의 정상 도포 여부를 결정하는 인스트럭션들을 저장하는, 코팅 물질의 도포 상태 모니터링 장치
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