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단결정 금속 박막 및 이의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019006364
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 단결정 2차원 물질이 코팅된 롤러를 다결정 금속 박막 상에 롤링하여 상기 다결정 금속 박막을 단결정 금속 박막으로 변환시키는 것을 포함하는, 단결정 금속 박막의 제조 방법에 관한 것이다.
Int. CL C22F 3/00 (2006.01.01) C21D 10/00 (2006.01.01) C30B 33/02 (2006.01.01)
CPC C22F 3/00(2013.01) C22F 3/00(2013.01) C22F 3/00(2013.01)
출원번호/일자 1020170159962 (2017.11.28)
출원인 성균관대학교산학협력단
등록번호/일자 10-2010420-0000 (2019.08.07)
공개번호/일자 10-2019-0061514 (2019.06.05) 문서열기
공고번호/일자 (20190813) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.11.28)
심사청구항수 14

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교산학협력단 대한민국 경기도 수원시 장안구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황동목 경기도 용인시 수지구
2 최재영 경기도 수원시 영통구
3 장현식 경기도 수원시 장안구
4 김범준 서울특별시 광진구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 한선희 대한민국 서울시 강남구 논현로 *** 여산빌딩 *층 ***호(온유특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 성균관대학교 산학협력단 경기도 수원시 장안구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-1182439-66
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.02.13 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0107446-86
3 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.04.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0360293-63
4 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.04.09 수리 (Accepted) 1-1-2019-0360286-43
5 등록결정서
Decision to grant
2019.08.06 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0567114-00
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
단결정 2차원 물질이 코팅된 롤러를 다결정 금속 박막 상에 롤링하여 상기 다결정 금속 박막을 단결정 금속 박막으로 변환시키는 것을 포함하고,상기 다결정 금속 박막과 상기 단결정 2차원 물질의 계면에서 발생하는 에피택시(epitaxy) 특성에 의해 상기 다결정 금속 박막이 단결정 금속 박막으로 변환되는 것인,단결정 금속 박막의 제조 방법
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삭제
3 3
제 1 항에 있어서, 상기 단결정 2차원 물질이 코팅된 롤러는 고온 처리된 것인, 단결정 금속 박막의 제조 방법
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제 3 항에 있어서,상기 단결정 2차원 물질이 코팅된 롤러는 500℃ 내지 2,000℃의 온도로 처리된 것인, 단결정 금속 박막의 제조 방법
5 5
제 1 항에 있어서,상기 변환은 열처리 하에 수행되는 것인, 단결정 금속 박막의 제조 방법
6 6
제 5 항에 있어서,상기 변환은 500℃ 내지 2,000℃의 온도 하에서 수행되는 것인, 단결정 금속 박막의 제조 방법
7 7
제 5 항에 있어서,상기 열처리 시 H2 및 불활성 기체를 공급하는 것인, 단결정 금속 박막의 제조 방법
8 8
제 7 항에 있어서,상기 불활성 기체는 Ar, He, N2, Ne 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 기체를 포함하는 것인, 단결정 금속 박막의 제조 방법
9 9
제 1 항에 있어서,상기 다결정 금속 박막은 Cu, Ni, Sc, Ti, V, Cr, Mn, Fe, Co, Zn, Y, Zr, Nb, Mo, Tc, Ru, Rh, Pd, Ag, Cd, Hf, Ta, W, Re, Os, Ir, Pt, Au, Hg, Rf, Db, Sg, Bh, Hs, Mt, Ds, Rg, Cn 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 금속을 포함하는 것인, 단결정 금속 박막의 제조 방법
10 10
제 1 항에 있어서,상기 단결정 2차원 물질은 그래핀, 육방정 질화붕소, 전이금속 칼코게나이드 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 물질을 포함하는 것인, 단결정 금속 박막의 제조 방법
11 11
제 1 항, 및 제 3 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 따른 단결정 금속 박막의 제조 방법에 의해 제조된, 단결정 금속 박막
12 12
제 1 항, 및 제 3 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 따라 단결정 금속 박막을 제조하는 단계; 및상기 단결정 금속 박막 상에 탄소 소스를 공급하면서 열처리하여 단결정 그래핀을 성장시키는 단계;를 포함하는, 단결정 그래핀의 제조 방법
13 13
제 12 항에 있어서, 상기 단결정 그래핀은 에피택시 성장에 의해 성장되는 것인, 단결정 그래핀의 제조 방법
14 14
제 12 항에 있어서,상기 탄소 소스는 탄소수 1 내지 7개의 탄소 함유 화합물을 포함하는 것인, 단결정 그래핀의 제조 방법
15 15
제 14 항에 있어서, 상기 탄소 소스는 메탄, 에탄, 에틸렌, 일산화탄소, 에탄올, 아세틸렌, 프로판, 프로필렌, 부탄, 부타디엔, 펜탄, 펜렌, 사이클로펜타디엔, 헥산, 사이클로헥산, 벤젠, 톨루엔 및 이들의 조합들로 이루어진 군에서 선택된 물질을 포함하는 것인, 단결정 그래핀의 제조 방법
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 성균관대학교산학협력단 나노융합산업핵심기술개발 350 x 350 mm2 단결정 그래핀의 결함최소화를 위한 CVD성장 및 전사 공정기술 개발