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원자층 증착법에 의한 산화알루미늄 인터페이스 층이 주기적으로 삽입된 고경도 코팅막 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2019006410
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 목적은 고경도 코팅막을 형성함에 있어, 장기간의 사용환경에도 불구하고 고경도 특성과 내부식 특성을 유지할 수 있는새로운 코팅막의 구성과 그 제조방법을 제공하고자 하는 것이다. 상기 목적에 따라, 본 발명은, 고경도 코팅을 실시하고자 하는 모재에 CrN층을 PVD법에 의해 형성한 다음, Al2O3층을 ALD에 의해 형성한 CrN/Al2O3층을 단위구조로 하여, CrN/Al2O3층이 3회 이상 반복되어 있는 다층코팅막을 제공하였다. 즉, 기존 PVD-CrN/ALD-Al2O3/PVD-CrN 코팅막의 장기사용에 따른 고경도 및 내부식 특성의 성능저하 문제를 개선하고자 한 것이다.
Int. CL C23C 28/04 (2006.01.01) C23C 28/00 (2006.01.01) C23C 14/06 (2006.01.01) C23C 16/40 (2006.01.01) C23C 16/455 (2006.01.01)
CPC C23C 28/042(2013.01) C23C 28/042(2013.01) C23C 28/042(2013.01) C23C 28/042(2013.01) C23C 28/042(2013.01)
출원번호/일자 1020170160759 (2017.11.28)
출원인 (주)서영, 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0061901 (2019.06.05) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 거절
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.11.28)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 (주)서영 대한민국 부산광역시 강서구
2 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김다영 부산광역시 동래구
2 권세훈 부산광역시 동래구
3 하태권 부산광역시 동래구
4 김동주 경상남도 김해시 율하*로 *
5 장경수 부산광역시 서구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 주은희 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 **길 ** 선릉엘지에클라트 B-***(아이디어로특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.11.28 수리 (Accepted) 1-1-2017-1186874-07
2 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2017.12.04 수리 (Accepted) 1-1-2017-1208227-93
3 보정요구서
Request for Amendment		 2017.12.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2017-0177513-99
4 [출원서등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2018.01.04 수리 (Accepted) 1-1-2018-0013835-25
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.02.21 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.05.09 수리 (Accepted) 9-1-2018-0020315-13
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.02.08 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0093823-12
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.04.01 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0329635-13
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.04.01 수리 (Accepted) 1-1-2019-0329654-70
10 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2019.06.17 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0426738-51
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
모재의 경도, 내부식성, 내마모성 또는 화학적 안정성 중 어느 하나 이상의 물성 향상을 위한 코팅 막을 형성하는 방법에 있어서,CrN층을 PVD법으로 형성하고, 형성된 CrN층 위에 Al2O3층을 ALD(atomic layer deposition)에 의해 형성하여 CrN/Al2O3층을 단위구조로 하여,상기 CrN/Al2O3 단위구조가 3회 이상 반복되는 것을 특징으로 하는 CrN/Al2O3/CrN로 된 다층 코팅 막 형성방법
2 2
제1항에 있어서, CrN/Al2O3 단위구조가 3회 이상 반복되어 구성된 다층 코팅막에서 Al2O3 코팅층의 두께는 1 내지 100nm인 것을 특징으로 하는 코팅 막 형성방법
3 3
제1항에 있어서, CriN/Al2O3 단위구조가 3회 이상 반복되어 구성된 다층 코팅막에서 CrN 코팅층의 두께는 0
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 부산광역시 부산대학교 산학협력단 지역특화 기술개발확산 개방형연구실 고내식 ALD-Al₂O₃assisted CrN 하이브리드 고경도 코팅막 적용을 통한 고신뢰성 소형(1200~1400cc급) 자동차 실린더 헤드 금형 실용화 기술 개발