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유체가 통과하는 마이크로 플루이딕 채널을 포함하는 상부 패널; 상기 마이크로 플루이딕 채널 하면에 부착되어 상기 마이크로 플루이딕 채널을 통과하는 유체에 포함된 미세 버블을 제거하기 위한 다공성 박막;상기 상부 패널 및 상기 다공성 박막의 하면에 접촉하며, 상기 다공성 박막을 통하여 빠져나오는 미세 버블을 외부로 배출하기 위한 통로가 구비되는 하부 패널; 및상기 다공성 박막이 부착된 마이크로 플루이딕 채널이 상기 하부 패널과 진공상태로 부착되도록 상기 상부 패널과 하부 패널을 진공 흡착하기 위한 진공흡착수단; 을 포함하되,상기 다공성 박막을 통하여 빠져나오는 미세 버블을 외부로 배출하기 위한 통로가 마련되도록 상기 하부 패널의 표면 위에는 일정한 간격으로 형성되고, 설정된 크기의 마이크로미터 사이즈의 패턴들이 돌출형성되되, 상기 패턴들은 상기 하부 패널 표면 위에 일체로 형성되거나, 패터닝된 박막을 부착하여 형성됨으로써, 상기 설정된 크기의 마이크로미터 사이즈의 패턴들 각각의 공간으로 미세 버블이 외부로 빠져나가는 것을 특징으로 하는, 마이크로 플루이딕 디바이스
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청구항 1에 있어서, 상기 다공성 박막은 상기 마이크로 플루이딕 채널을 흐르는 유체는 통과시키지 않으면서 유체 내 포함된 미세 버블만 통과되어 상기 하부 패널 측으로 나오도록 소수성을 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로 플루이딕 디바이스
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청구항 4에 있어서, 상기 다공성 박막은 소수성 재질로 이루어지거나 상기 다공성 박막 표면에 소수성 물질의 처리를 통해 소수성을 갖는 것을 특징으로 하는 마이크로 플루이딕 디바이스
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청구항 5에 있어서, 상기 다공성 박막의 재질은 폴리디메틸실록산(PDMS; polydimethyl siloxane), 폴리에틸렌테레프탈레이트(PET, polyethylene Terephthalate), 폴리이미드(PI; polyimide), 폴리프로필렌(PP, polypropylene), 폴리메타크릴산 메틸(PMMA; Poly(methyl methacrylate)), 폴리카프로락톤(polycaprolactone), 폴리스티렌 (polystyrene), 프로필렌 카보네이트(propylene carbonate), 에틸렌 카보네이트(ethylene carbonate), 디메틸카보네이트(dimethylcarbonate), 디에틸카보네이트(diethylcarbonate), 고분자 플라스틱, 유리, 종이 및 세라믹 중 적어도 어느 하나 이상의 선택된 재질을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 플루이딕 디바이스
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청구항 1에 있어서, 상기 진공흡착수단은 상기 상부 패널의 하면에 형성되는 진공홈과, 상기 진공홈과 연통되어 상기 다공성 박막이 부착된 마이크로 플루이딕 채널이 상기 하부 패널과 진공상태로 부착되도록 상기 진공홈에 진공을 인가하는 진공흡입홀을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 플루이딕 디바이스
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청구항 7에 있어서, 상기 진공홈은 상기 마이크로 플루이딕 채널 및 상기 다공성 박막의 주변을 감싸는 형태로 형성되고, 상기 진공흡입홀은 상기 상부 패널의 상면 또는 측면에 연통되도록 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 플루이딕 디바이스
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청구항 1에 있어서, 상기 마이크로 플루이딕 채널은 유체를 주입하기 위한 유체 주입구;상기 유체 주입구에서 유입된 유체가 흐르는 유로; 및상기 유로를 흐른 유체가 배출되는 유체 배출구를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로 플루이딕 디바이스
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청구항 9에 있어서, 상기 유로는 상기 상부 패널의 하면에 소정 깊이로 형성되는 홈으로 이루어지고, 상기 다공성 박막이 상기 홈의 하면에 부착됨으로써 유체가 흘러갈 수 있는 유로가 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 플루이딕 디바이스
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청구항 7에 있어서, 상기 유체 내 미세 버블이 빠져나가는 속도는 상기 다공성 박막의 두께, 상기 하부 패널의 패턴의 높이, 상기 진공홈에 인가한 진공의 강도 및 상기 다공성 박막에 형성된 구멍의 크기에 따라 조절되는 것을 특징으로 하는 마이크로 플루이딕 디바이스
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