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a) 다결정 금속포일의 양 말단을 전극으로 각각 고정하는 단계; 및 b) 상기 고정된 다결정 금속포일을 열처리하여 단결정 금속포일을 제조하는 단계;를 포함하는 단결정 금속포일의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 열처리는 저항가열에 의해 수행되는 것인, 단결정 금속포일의 제조방법
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제 1항에 있어서, 상기 a)단계는, 상기 다결정 금속포일의 양 말단을 고정하는 각각의 전극 중 하나 이상의 전극을 이동시켜 다결정 금속 포일을 곧게 펴는 단계를 더 포함하는, 단결정 금속포일의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 b)단계는, i) 상기 전극에 전류를 인가하여 다결정 금속포일을 승온하는 1차 열처리 단계; 및 ii) 최종 승온된 온도에서 일정 시간 동안 어닐링(annealing) 하는 2차 열처리 단계;를 포함하여 수행되는, 단결정 금속포일의 제조방법
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제 4항에 있어서, 상기 b)단계의 열처리시 열팽창에 의해 길이가 늘어난 다결정 금속포일을 곧게 펴는 것을 특징으로 하는, 단결정 금속포일의 제조방법
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제 4항에 있어서,상기 i)단계는 상기 다결정 금속포일의 양 말단을 고정하는 각각의 전극 중 하나 이상의 전극을 이동시켜 길이가 늘어난 다결정 금속포일을 곧게 펴는 것인, 단결정 금속포일의 제조방법
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제 4항에 있어서,상기 i)단계는 하기 관계식 1을 만족하도록 수행되는 것인, 단결정 금속포일의 제조방법
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제 4항에 있어서,상기 i)단계에서 1차 열처리는 상기 ii)단계의 2차 열처리 온도까지 승온시키는 것인, 단결정 금속포일의 제조방법
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제 8항에 있어서,상기 2차 열처리 온도는 하기 관계식 2를 만족하도록 수행되는 것인, 단결정 금속포일의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 다결정 금속포일의 두께는 5 내지 200 ㎛인, 단결정 금속포일의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 다결정 금속포일의 금속은 구리(Cu), 니켈(Ni), 코발트(Co), 철(Fe), 루테늄(Ru), 로듐(Rh), 팔라듐(Pd), 백금(Pt), 은(Ag), 레늄(Re), 이리듐(Ir), 금(Au), 타이타늄(Ti), 지르코늄(Zr), 하프늄(Hf), 바나듐(V), 니오븀(Nb), 탄탈륨(Ta), 크로미늄(Cr), 몰리브데늄(Mo), 텅스텐(W), 알루미늄(Al), 아연(Zn), 망간(Mn) 또는 주석(Sn)인, 단결정 금속포일의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 단결정 금속포일은 양면이 동일한 결정면을 가지는, 단결정 금속포일의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 단결정 금속포일은 평면의 수직방향을 기준으로 (110), (111), (001), (112), (123) 또는 (0001) 결정면을 가지는, 단결정 금속포일의 제조방법
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제 1항에 있어서,상기 열처리는 수소 기체 분위기, 아르곤 기체 분위기 또는 수소-아르곤 혼합 기체 분위기 하에서 수행되는 것인, 단결정 금속포일의 제조방법
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제 1항 내지 제 14항에서 선택되는 어느 한 항의 단결정 금속포일의 제조방법을 통해 제조된 단결정 금속포일
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양면이 동일한 결정면을 가지며 두께가 5 내지 200 ㎛인 단결정 금속포일
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제 16항에 있어서,상기 단결정 금속포일은 하기 관계식 3을 만족하는 것인 단결정 금속포일
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챔버 및 금속포일 가열부를 포함하며,상기 챔버는 서로 이격 위치하며 다결정 금속포일의 고정을 위한 제1고정부 및 제2고정부; 상기 제1고정부, 제2고정부, 또는 제1고정부 및 제2고정부와 연결되어 상기 제1고정부와 제2고정부 간의 이격 거리를 조절하는 거리 조절부;를 포함하는, 단결정 금속포일 제조장치
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제 18항에 있어서,상기 제1고정부 및 제2고정부는 통전될 수 있도록 각각 제1전극 및 제2전극을 포함하고, 상기 금속포일 가열부가 제1전극 및 제2전극에 연결되어 상기 제1전극 및 제2전극에 열을 가하는, 단결정 금속포일 제조장치
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제 18항에 있어서,상기 금속포일 가열부는 상기 제1고정부 및 제2고정부와 분리되어 상기 챔버 내부 또는 외부에 위치하는 히터를 포함하는, 단결정 금속포일 제조장치
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제 18항 내지 제 20항에서 선택되는 어느 한 항에 있어서,상기 금속포일 가열부는 저항가열(resistive heating)을 통해 열을 가하는 것인, 단결정 금속포일 제조장치
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제 18항에 있어서,상기 금속포일 가열부는 냉각장치를 더 포함하는, 단결정 금속포일 제조장치
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제 18항에 있어서,상기 단결정 금속포일 제조장치는 상기 챔버로 기체를 주입하는 기체 유입구; 및 상기 챔버에서 기체를 배출하는 기체 배출구를 더 포함하는, 단결정 금속포일 제조장치
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제 18항에 있어서,상기 단결정 금속포일 제조장치는 상기 챔버에 연결된 압력조절부를 더 포함하는, 단결정 금속포일 제조장치
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