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MEMS 공정을 이용한 마이크로 스케일의 패턴이 형성될 모재로서의 역할을 하는 발전 설비를 제공하는 단계,
상기 발전 설비의 일부분인 국부 영역에 MEMS 공정을 이용한 마이크로 스케일의 패턴이 형성되어 상기 국부 영역이 갖는 재료의 변형률이 측정되도록 하는 마이크로 구조물을 제공하는 단계, 및
상기 마이크로 구조물이 상기 국부영역에 형성되도록 하기 위해, 상기 마이크로 구조물이 삽입된 상태로 상기 국부 영역 상에 형성되며, MEMS 공정의 식각 공정 시에 식각액이 외부로 흐르지 못하도록 막아주고, 상기 국부 영역만이 식각되도록 하는 보조 구조물을 제공하는 단계
를 포함하는 발전 설비의 변형률을 측정하는 방법
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제1항에 있어서,
상기 MEMS 공정은,
(a) 상기 발전 설비의 국부 영역 상에 포토 레지스터를 도포하는 단계, (b) 패턴화된 마스크를 이용하여 상기 포토 레지스터 상에 빛을 투과시켜 노광하는 단계, (c) 상기 노광된 포토 레지스터를 제거하는 단계, (d) 상기 제거된 포토 레지스터에 대응하여 상기 국부 영역을 식각하는 단계, 및 (d) 상기 국부 영역 상에 제거되지 않고 남아 있는 포토 레지스터를 완전히 제거하는 단계
를 포함하는 것을 특징으로 하는 방법
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제2항에 있어서,
상기 (b) 단계는,
가로 및 세로 방향이 일정 간격으로 이루어진 다수 개의 사각형 및 원형의 형상 중 어느 하나를 패턴화된 마스크로 이용하는 것을 특징으로 하는 방법
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제3항에 있어서,
상기 (b) 단계는,
십자 형상이 내재 된 사각형 및 원형의 형상을 패턴화된 마스크로 이용하는 것을 특징으로 하는 방법
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MEMS 공정을 이용한 마이크로 스케일의 패턴이 형성될 모재로서의 역할을 하는 발전 설비,
상기 발전 설비의 일부분인 국부 영역에 MEMS 공정을 이용한 마이크로 스케일의 패턴이 형성되어 상기 국부 영역이 갖는 재료의 변형률이 측정되도록 하는 마이크로 구조물, 및
상기 마이크로 구조물이 상기 국부영역에 형성되도록 하기 위해, 상기 마이크로 구조물이 삽입된 상태로 상기 국부 영역 상에 형성되며, MEMS 공정의 식각 공정 시에 식각액이 외부로 흐르지 못하도록 막아주고, 상기 국부 영역만이 식각되도록 하는 보조 구조물
을 포함하는 발전 설비의 변형률을 측정하기 위한 구조물
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제5항에 있어서,
상기 발전 설비는,
터빈 로터 및 케이싱을 구비하는 터빈 설비와, 튜브 및 파이프 설비를 구비하는 보일러 설비를 포함하는 것을 특징으로 하는 구조물
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제6항에 있어서,
상기 마이크로 스케일의 패턴은,
모서리 및 평면 중 어느 하나를 국부 영역으로 할 경우에 상기 국부 영역 상에 형성되는 것을 특징으로 하는 구조물
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제6항에 있어서,
상기 마이크로 스케일의 패턴은,
가로 및 세로 방향이 일정 간격으로 이루어진 다수 개의 사각형 및 원형의 형상 중 어느 하나를 마스크로 이용하는 것을 특징으로 하는 구조물
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제8항에 있어서,
상기 마스크는,
제외된 패턴인 십자 형상이 내재 된 사각형 및 원형의 형상을 구비하는 것을 특징으로 하는 구조물
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제8항에 있어서,
상기 사각형 및 원형의 각 형상 간에는 1mm 이하의 일정한 간격 범위로 이루어지는 것을 특징으로 하는 구조물
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제8항에 있어서,
상기 사각형 및 원형의 형상은, 가로와 세로의 크기가 각각 0
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