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내부에 빈공간이 구비되고 상단이 개방된 형상으로 형성된 챔버부;상기 챔버부의 내부에 배치되고, 3차원형상으로 형성된 가공물;상기 챔버부의 일측면으로부터 상기 가공물의 일측면에 연결되고, 상기 가공물의 타측면에서 상기 챔버부의 타측면에 연결되어 상기 챔버부로부터 상기 가공물이 회전가능하게 고정지지되도록 구비된 지지부;상기 챔버부의 상단에는 고주파 파워부로부터 공급된 고주파 전력을 수신하도록 구비된 코일부;상기 코일부에 의해서 유도결합 플라즈마가 발생되어 상기 가공물의 표면조도를 향상시키도록 상기 챔버부의 내부에 혼합가스를 주입하도록 상기 챔버부의 일측에 구비된 가스주입부;상기 코일부와 상기 가공물 사이에 판상형상으로 구비되어 유전체로 사용되는 윈도우부;상기 개방된 챔버부의 상단을 폐쇄하고 필요에 따라 개방가능하도록 상기 챔버부의 상단에 결합된 커버부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속성형품의 표면처리장치
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제 1 항에 있어서, 상기 가스주입부에는 산소가스 및 아르곤가스에 염소계열가스 또는 불소계열가스가 혼합된 혼합가스가 주입되는 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 금속성형품의 표면처리장치
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제 2 항에 있어서, 상기 불소계열가스는 CF4, C4F8, C4F6 중에 하나로 선택되고, 상기 염소계열가스는 Cl2, BCl3 중에 하나로 선택된 것을 특징으로 하는 금속성형품의 표면처리장치
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제 3 항에 있어서, 상기 챔버부의 하단에는 배출부가 구비되고, 상기 챔버부의 상단의 구비된 코일부에서 형성된 상기 유도결합 플라즈마를 상기 배출부로 유도하도록 터보펌프가 구비된 것을 특징으로 하는 금속성형품의 표면처리장치
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제 4항에 있어서, 상기 배출부에는 상기 가공물의 표면조도를 향상시키기 위해 상기 가공물의 표면과 반응한 후 발생된 부산물이 배출되도록 구비된 것을 특징으로 하는 금속성형품의 표면처리장치
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제 5 항에 있어서, 상기 지지부의 일측에는 상기 지지부에 의해서 고정지지되는 상기 가공물의 표면조도를 고르게 향상시키도록 상기 지지부를 360도 회전시키는 가공물회전부가 포함된 것을 특징으로 하는 금속성형품의 표면처리장치
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제 6항에 있어서, 상기 지지부의 일측에는 지지부기어가 구비되고, 상기 지지부기어를 구동시키도록 상기 지지부기어는 상기 가공물회전부의 일측에는 구비된 모터축의 모터기어와 결합되어 구동되는 것을 특징으로 하는 금속성형품의 표면처리장치
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제 7 항에 있어서, 상기 가공물은 메시 또는 할로우 형상으로 형성되고, 상기 유도결합 플라즈마가 상기 가공물의 외측표면 및 내측표면에 고르게 반응되어 상기 가공물의 전체적인 표면조도를 향상시키는 것을 특징으로 하는 금속성형품의 표면처리장치
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제 8항에 있어서, 상기 챔버부의 내부에는 상기 가공물의 표면조도가 0
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제 9항에 있어서, 상기 배출부는 상기 가공물의 표면조도를 향상시키기 위해 상기 가공물의 표면과 반응한 후 발생된 부산물이 배출되고, 상기 터보펌프가 상기 부산물의 배출을 돕도록 구비된 것을 특징으로 하는 금속성형품의 표면처리장치
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제 10항에 있어서, 상기 지지부기어의 일측에는 상기 가공물이 중력에 의해서 상기 모터기어의 회전방향과 반대로 회전되는 것을 방지하도록 래치기어가 추가로 결합된 것을 특징으로 하는 금속성형품의 표면처리장치
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금속성형품의 표면처리장치를 이용한 금속성형품의 표면처리방법에 있어서,지지부를 통해 챔버부 내부에 가공물을 설치하는 단계;상기 지지부를 회전시키도록 가공물회전부를 통해 상기 가공물이 회전되는 단계;코일부에 고주파 전력이 수신되어 자기장이 발생되는 단계;자기장에 의해서 혼합가스로부터 유도결합 플라즈마가 발생되는 단계;상기 발생된 유도결합 플라즈마를 통해 상기 가공물의 표면조도를 향상시키는 단계;고주파 전력을 차단하여 유도결합 플라즈마의 발생이 중단되는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 금속성형품의 표면처리방법
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제 12항에 있어서, 유도결합 플라즈마가 발생되는 단계에서,반응된 유도결합 플라즈마와 반응된 가공물의 부산물을 배출부를 통해 배출시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 금속성형품의 표면처리방법
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14
제 13항에 있어서, 상기 지지부의 일측에는 지지부기어가 구비되고, 상기 지지부기어를 구동시키도록 상기 지지부기어는 상기 가공물회전부의 일측에는 구비된 모터축의 모터기어와 결합된 것을 특징으로 하는 금속성형품의 표면처리방법
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15
제 14항에 있어서, 상기 가공물의 표면조도를 향상시키는 단계에서,상기 가공물의 표면조도가 0
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제 15 항에 있어서, 상기 혼합가스는 산소가스 및 아르곤가스에 염소계열가스 또는 불소계열가스가 혼합된 가스인 것을 특징으로 하는 것을 특징으로 하는 금속성형품의 표면처리방법
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제 16 항에 있어서, 상기 불소계열가스는 CF4, C4F8, C4F6 중에 하나로 선택되고, 상기 염소계열가스는 Cl2, BCl3 중에 하나로 선택된 것을 특징으로 하는 금속성형품의 표면처리방법
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제 1항 내지 제 17 항에 따른, 상기 금속성형품의 표면처리장치 및 금속성형품의 표면처리방법을 통해 가공품은 표면조도를 향상시키도록 표면처리가 수행되는 것을 특징으로 하는 3차원 프린팅 금속성형품
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