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하기 화학식 1로 표시되는 지르코늄 아미노알콕사이드계 전구체:[화학식 1]상기 화학식 1에서,R1 및 R2는 각각 독립적으로 (C1 내지 C4)알킬이고,R3 및 R4는 각각 독립적으로 (C1 내지 C10)알킬이고,R5 내지 R7은 각각 독립적으로 수소 또는 (C1 내지 C10)알킬이고,R8, R9 및 R10은 각각 독립적으로 (C1 내지 C10)알킬이고,x는 1 내지 3에서 선택되는 정수이다
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제1항에 있어서,상기 화학식 1에서,상기 R1 및 R2는 각각 독립적으로 선형(C1 내지 C4)알킬이고,상기 R5 내지 R7은 각각 독립적으로 수소 또는 선형(C1 내지 C4)알킬이고,상기 R8은 선형(C1 내지 C4)알킬이고,상기 R3, R4, R9 및 R10은 각각 독립적으로 선형 또는 분지형(C1 내지 C10)알킬이고,상기 x는 1 또는 2의 정수인, 지르코늄 아미노알콕사이드계 전구체
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제 1항에 있어서,상기 화학식 1에서,상기 R3, R4, R9 및 R10은 각각 독립적으로 선형 또는 분지형(C1 내지 C4)알킬인, 지르코늄 아미노알콕사이드계 전구체
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제 1항에 있어서,상기 화학식 1에서,상기 R3, R4, R9 및 R10은 각각 독립적으로 메틸 또는 에틸인, 지르코늄 아미노알콕사이드계 전구체
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5
제 1항에 있어서,상기 지르코늄 아미노알콕사이드계 전구체는,하기 구조에서 선택되는 것인, 지르코늄 아미노알콕사이드계 전구체
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6
하기 화학식 5로 표시되는 지르코늄 화합물을 하기 화학식 4로 표시되는 알킬아미노알칸올 화합물과 반응시켜, 하기 화학식 1의 지르코늄 아미노알콕사이드계 전구체를 제조하는 방법:[화학식 1][화학식 4][화학식 5]Zr(NR1R2)4상기 화학식 1, 화학식 4 및 화학식 5에서,R1 및 R2는 각각 독립적으로 (C1 내지 C4)알킬이고,R3 및 R4는 각각 독립적으로 (C1 내지 C10)알킬이고,R5 내지 R7은 각각 독립적으로 수소 또는 (C1 내지 C10)알킬이고,R8, R9 및 R10은 각각 독립적으로 (C1 내지 C10)알킬이고,x는 1 내지 3에서 선택되는 정수이다
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7
제1항 내지 제 5항에서 선택되는 어느 한 항에 따른 지르코늄 아미노알콕사이드계 전구체를 포함하는, 박막증착용 조성물
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제1항 내지 제 5항에서 선택되는 어느 한 항에 따른 지르코늄 아미노알콕사이드계 전구체를 이용하여 박막을 성장시키는 단계를 포함하는, 지르코늄 함유 박막의 제조방법
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제 8항에 있어서,상기 박막의 성장은 화학기상증착법(CVD) 또는 원자층증착법(ALD)에 의해 수행되는 것인, 지르코늄 함유 박막의 제조방법
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10
제 8항에 있어서,상기 지르코늄 함유 박막은,지르코늄 산화물 박막 또는 지르코늄 산질화물 박막인, 지르코늄 함유 박막의 제조방법
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11
제1항 내지 제 5항에서 선택되는 어느 한 항에 따른 지르코늄 아미노알콕사이드계 전구체를 이용하여 제조된 지르코늄 함유 박막
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제11항의 지르코늄 함유 박막을 포함하는 전자 소자
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