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링형상의 박막 지지구;상기 링형상의 박막 지지구에 씌워져 고정되는 고분자 물질을 포함하는 THz 빔 스플리터 제작용 박막 코팅 시료에 금속 입자가 포함된 코팅액을 분사하여, 코팅된 THz 빔 스플리터 제작용 박막이 일정 반사율과 투사율을 갖도록 하는 박막 코팅 장치로서,상기 박막 코팅 장치는,바닥에 대해 수직인 방향으로 상기 박막 코팅 시료가 안착되고, 상하 방향으로 이동가능하게 설치되는 시편 장착부와, 상기 시편 장착부를 좌우로 이동시키는 시편 좌우 이송구를 포함하는 시편 이송부;상기 박막 코팅 시료에 코팅액을 분무하는 에어 스프레이를 포함하는 코팅액 분무부;를 포함하여 구성되고,상기 시편 좌우 이송구의 양측에는 시편 좌우 이송구의 방향 전환 시점을 감지하기 위한 좌우 위치 감지구가 설치되고,상기 코팅액 분무부는 상기 에어 스프레이와 박막 코팅 시료 사이의 거리를 조정하기 위한 에어 스프레이 전후 이송구를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, THz 빔 스플리터 제작용 박막 코팅 장치
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제 1항에 있어서,상기 에어 스프레이 전후 이송구는, 상기 에어 스프레이가 고정되는 베이스 플레이트와 상기 베이스 플레이트가 슬라이딩 운동하도록 구성되는 가이드 레일을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는, THz 빔 스플리터 제작용 박막 코팅 장치
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제 1항에 있어서,상기 박막 코팅 장치는, 상기 시편의 좌우 이송 방향으로 나란이 배열되는 복수의 시편 지지대를 포함하는 것을 특징으로 하는, THz 빔 스플리터 제작용 박막 코팅 장치
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제 1항에 있어서,상기 박막 코팅 장치는, 상기 에어 스프레이로 박막 코팅 시료에 코팅액을 분사한 후 박막의 반사율과 투과율을 측정할 수 있는 THz 빔의 반사율 투과율 측정 장치를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, THz 빔 스플리터 제작용 박막 코팅 장치
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제 6항에 있어서,상기 THz 빔의 반사율 투과율 측정 장치는,상기 박막에 THz 빔을 조사하는 THz 빔 조사부, 상기 박막의 반사율을 측정하는 반사율 측정부, 및 상기 박막의 투과율을 측정하는 투과율 측정부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, THz 빔 스플리터 제작용 박막 코팅 장치
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제 7항에 있어서,상기 시편 장착부의 내부에는 중공부가 형성되어, 상기 THz 빔 조사부에서 조사된 THz 빔이 상기 박막과 상기 중공부를 통과하여 상기 투과율 측정부로 전달되는 것을 특징으로 하는, THz 빔 스플리터 제작용 박막 코팅 장치
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제 1항, 제3항, 제 5항 중 어느 한 항의 THz 빔 스플리터 제작용 박막 코팅 장치를 이용하여 THz 빔 스플리터 제작용 박막을 코팅하는 방법에 관한 것으로,링형상의 박막 지지구에 얇은 박막이 씌워진 박막 코팅 시료를 준비하는 단계;상기 박막 코팅 시료를 시편 이송부의 시편 장착부에 장착하는 단계;상기 에어 스프레이와 박막 코팅 시료와의 거리를 조절하기 위해 에어 스프레이의 위치를 조절하는 단계;상기 시편 장착부의 좌우 이동 거리, 속도, 방향 전환 유지 시간 중 어느 하나 이상의 파라미터를 설정하는 시편 이동 파라미터 설정 단계; 및시편 지지대를 좌우로 이동 시키며 에어 스프레이로 코팅액을 분무하는 시편 이송 및 분무 코팅 단계;를 포함하는 THz 빔 스플리터 제작용 박막 코팅 방법
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제 6항 내지 제 8항 중 어느 한 항의 박막 코팅 장치를 이용하여 THz 빔 스플리터 제작용 박막을 코팅하는 방법에 관한 것으로,링형상의 박막 지지구에 얇은 박막이 씌워진 박막 코팅 시료를 준비하는 단계;상기 박막 코팅 시료를 시편 이송부의 시편 장착부에 장착하는 단계;상기 에어 스프레이와 박막 코팅 시료와의 거리를 조절하기 위해 에어 스프레이의 위치를 조절하는 단계;상기 시편 장착부의 좌우 이동 거리, 속도, 방향 전환 유지 시간 중 어느 하나 이상의 파라미터를 설정하는 시편 이동 파라미터 설정 단계; 시편 지지대를 좌우로 이동 시키며 에어 스프레이로 코팅액을 분무하는 시편 이송 및 분무 코팅 단계;상기 에어 스프레이로 박막 코팅 시료에 코팅액을 분사한 후 박막의 반사율과 투과율을 측정하는 THz 빔의 반사율 및 투과율 측정 단계;상기 측정된 반사율 및 투과율을 건조 후 박막의 반사율 및 투과율로 환산하는 반사율 및 투과율 환산 단계; 및 상기 환산된 반사율 및 투과율을 기준으로 박막 코팅의 완료 여부를 판단하는 코팅 완료 판단 단계;를 포함하고,코팅이 완료 되지 않았다고 판단되면, 시편 이송 및 분무 코팅 단계;를 다시 수행하는 것을 특징으로 하는, THz 빔 스플리터 제작용 박막 코팅 방법
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