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33 모드영역과 31 모드영역을 포함하는 압전체;상기 압전체의 상부면의 33 모드영역에 일 방향으로 연장되고 상기 일 방향과 다른 방향으로 서로 이격되어 배열되되 일단부들이 서로 연결된 제1 상부슬릿전극들, 상기 33 모드영역에서 상기 제1 상부슬릿전극들의 연장 방향과 동일하게 연장되어 상기 제1 상부슬릿전극들과 맞물리도록 배치된 다수의 제2 상부슬릿전극들, 및 상기 31 모드영역에 형성되고 상기 제2 상부슬릿전극들과 연결된 상부 전극을 포함하는 상부 전극패턴; 및상기 제2 상부슬릿전극들과 일대일대응으로 상기 압전체의 하부면의 33 모드영역에 투영되어 구비된 제1 하부슬릿전극들, 상기 제1 상부슬릿전극들과 일대일 대응으로 투영되어 압전체에 대해 상하방향으로 마주하도록 배치되고 상기 제1 하부슬릿전극들과 맞물리도록 배치된 제2 하부슬릿전극들, 및 상기 상부 전극과 상하방향으로 마주하도록 31 모드영역에 배치되고 상기 제2 하부슬릿전극들과 연결된 하부 전극을 포함하는 하부 전극 패턴을 포함하고,상기 압전체, 상부 전극패턴 및 하부 전극패턴을 포함하는 적층 구조를 적어도 1 이상 포함하며,33 모드영역의 면적과 31 모드영역의 면적에 따라, 센싱으로 얻어지는 전압값 및 전류값 중 적어도 어느 하나가 조절되고,상기 적층 구조가 2 이상인 경우, 적층 구조들 사이에는 버퍼층이 배치되는 것을 특징으로 하는,하이브리드 타입 압전 센서
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제1항에 있어서,분극 시에, 상기 제1 상부슬릿전극들, 제2 하부슬릿전극들 및 하부 전극은 제1 극성 전압이 인가되고 상기 제2 상부슬릿전극들, 상부 전극 및 제1 하부슬릿전극들은 상기 제1 극성 전압과 반대 극성의 제2 극성 전압이 인가되어 분극되며,센싱 시에, 상기 상부 전극패턴과 상기 하부 전극 패턴에는 서로 다른 극성을 갖는 전압이 인가되어 구동되는 것을 특징으로 하는,하이브리드 타입 압전 센서
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제1항에 있어서,상기 상부 전극패턴 및 상기 하부 전극패턴 각각의 슬릿전극들은 제1 방향으로 연장되고, 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 일렬로 배열되며,상기 33 모드영역의 상기 제1 방향에 상기 31 모드영역이 배치되는 것을 특징으로 하는,하이브리드 타입 압전 센서
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제1항에 있어서,상기 상부 전극패턴 및 상기 하부 전극패턴 각각의 슬릿전극들은 제1 방향으로 연장되고, 상기 제1 방향과 다른 제2 방향으로 일렬로 배열되며,상기 33 모드영역의 상기 제2 방향에 상기 31 모드영역이 배치된 것을 특징으로 하는,하이브리드 타입 압전 센서
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제6항에 있어서,상기 제2 상부슬릿전극들과 상기 상부 전극은 상기 압전체의 상부면에서 상기 제2 방향으로 연장된 전극을 통해서 일체로 연결되고,상기 제2 하부슬릿전극들과 상기 하부 전극은 상기 압전체의 하부면에서 상기 제2 방향으로 연장된 전극을 통해서 일체로 연결되는 것을 특징으로 하는,하이브리드 타입 압전 센서
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제1항에 있어서,상기 제1 상부슬릿전극들은 상기 제1 상부슬릿전극들의 연장방향과 다른 방향으로 연장된 제1 연결 전극에 의해서 서로 연결되고,상기 제1 하부슬릿전극들은 상기 제1 연결 전극과 동일한 방향으로 연장되어 상기 압전체의 하부면에 형성된 제2 연결 전극에 의해서 서로 연결된 것을 특징으로 하는,하이브리드 타입 압전 센서
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