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고온 안정성 압력센서의 제조 방법

  • 기술번호 : KST2019008500
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 고온 안정성 압력센서 및 그 제조 방법에 관한 것이다. 본 발명의 일 실시예에 따르면, 압력도입부를 포함하는 다이아프램; 상기 다이아프램 상에 배치된 제1 절연막; 상기 제1 절연막 상에 배치된 압저항 전극; 상기 압저항 전극을 보호하는 제2 절연막; 및 상기 제2 절연막 상에 배치되고 상기 압저항 전극과 연결된 금속 배선을 포함하되, 상기 압저항 전극은, 상기 제1 절연막 상에 순차적으로 적층된 제1 도전층 및 제2 도전층을 포함하고, 상기 제1 도전층은 Cr을 포함하고, 상기 제2 도전층은 80중량%의 Ni 및 20중량%의 Cr을 포함하는 합금을 포함하는, 고온 안정성 압력센서를 제공한다.
Int. CL H01L 41/113 (2006.01.01) G01L 9/00 (2006.01.01) H01L 41/18 (2006.01.01) H01L 41/047 (2006.01.01) H01L 41/47 (2013.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020190065118 (2019.06.03)
출원인 포항공과대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0064559 (2019.06.10) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2017-0064711 (2017.05.25)
관련 출원번호 1020170064711
심사청구여부/일자 Y (2019.06.03)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 포항시 남구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최경근 경상북도 포항시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인아이엠 대한민국 서울특별시 강남구 봉은사로 ***, ***호 (역삼동, 혜전빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 포항공과대학교 산학협력단 경상북도 포항시 남구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application
2019.06.03 수리 (Accepted) 1-1-2019-0565623-34
2 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.06.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0444169-04
3 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.08.19 수리 (Accepted) 1-1-2019-0846624-48
4 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.09.18 수리 (Accepted) 1-1-2019-0953294-51
5 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.10.15 수리 (Accepted) 1-1-2019-1047026-15
6 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.11.20 수리 (Accepted) 1-1-2019-1191220-55
7 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.20 수리 (Accepted) 4-1-2019-5243581-27
8 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.22 수리 (Accepted) 4-1-2019-5245997-53
9 지정기간연장 관련 안내서
Notification for Extension of Designated Period
2019.11.24 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0187228-39
10 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2019.11.25 수리 (Accepted) 4-1-2019-5247115-68
11 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.12.20 수리 (Accepted) 1-1-2019-1320108-32
12 거절결정서
Decision to Refuse a Patent
2020.04.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0278236-84
13 [법정기간연장]기간 연장신청서·기간 단축신청서·기간 경과 구제신청서·절차 계속신청서
2020.05.19 수리 (Accepted) 1-1-2020-0504576-36
14 보정요구서
Request for Amendment
2020.06.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2020-0077565-22
15 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment
2020.06.10 수리 (Accepted) 1-1-2020-0596223-14
16 [출원서 등 보정]보정서(납부자번호)
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment(Payer number)
2020.06.10 수리 (Accepted) 1-1-2020-0565484-08
17 법정기간연장승인서
2020.06.15 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2020-0085093-16
18 면담 결과 기록서
2020.06.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0079103-21
19 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)
2020.06.22 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2020-0636784-33
20 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.06.22 수리 (Accepted) 1-1-2020-0636776-78
21 등록결정서
Decision to Grant Registration
2020.06.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0436910-12
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
(a) 다이아프램을 구성하는 기판 상에 제1 절연막을 형성하는 단계;(b) 상기 제1 절연막 상에 Cr 박막과 NiCr 박막을 순차 적층하여 압저항 전극을 형성하는 단계;(c) 상기 압저항 전극 상에 상기 압저항 전극을 보호하기 위한 제2 절연막을 형성하는 단계; 및(d) 상기 제2 절연막 상에 상기 제2 절연막을 통과하여 상기 압저항 전극과 연결되는 금속 배선을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 (b) 단계는, 상기 제1 절연막 상에 금속 재질의 섀도우 마스크를 정렬하여 배치하는 단계; 증착 원소의 직진성을 향상시키고 상기 섀도우 마스크와 상기 기판 간의 접착력을 향상시키기 위하여 상기 섀도우 마스크에 바이어스를 인가하는 단계; 상기 섀도우 마스크를 이용하여 제1 절연막 상에 제1 금속층을 증착 형성하는 단계; 및 상기 섀도우 마스크를 이용하여 제1 금속층 상에 제2 금속층을 증착 형성하는 단계;를 포함하고,상기 제1 금속층을 형성하는 단계에서는 Cr 박막으로 형성하되, Cr 타겟을 이용하여 스퍼터 반응기에서 상기 압저항 전극의 전체 두께의 1/100 ~ 1/10 두께를 갖도록 하며,상기 제2 금속층을 형성하는 단계에서는 상기 제1 금속층을 형성한 후 진공 브레이크 없이 상기 제1 금속층 상에 80중량%의 Ni 및 20중량%의 Cr을 포함하는 합금으로 두께 50nm ~ 300nm의 NiCr 박막이 되도록 형성하며,상기 증착의 조건은 6인치 크기 기판 기준으로 증착 압력 0
2 2
제1항에 있어서,상기 섀도우 마스크는 복수의 개별 마스크로 분할되며, 복수의 개별 마스크가 모자이크 형태로 배열되는, 고온 안정성 압력센서의 제조 방법
3 3
삭제
4 4
삭제
5 5
제1항에 있어서,상기 압저항 전극은 25℃ ~ 460℃의 측정 범위에서 저항온도계수 값이 100 ppm/℃ 이하인, 고온 안정성 압력센서의 제조 방법
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR1020180130036 KR 대한민국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 포항공과대학교 산학협력단 나노-소재기술개발사업 SIC 기반 극한환경형 센서용 공정플랫폼 기술개발