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온도 및 임피던스 통합 센서 제조방법

  • 기술번호 : KST2019008504
  • 담당센터 : 서울동부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-2155-3662
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 기판; 상기 기판 위에 형성된 온도센서, 상기 온도센서 위에 형성된 절연층 및 상기 절연층 위에 형성된 임피던스센서를 포함하는 온도 및 임피던스 통합 센서를 제공한다. 상기 센서는 온도와 임피던스 변화의 동시적인 모니터링이 가능한 특징을 갖는다.
Int. CL G01N 27/02 (2006.01.01) G01D 21/02 (2006.01.01) H01L 21/02 (2006.01.01) H01L 21/108 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020190065568 (2019.06.03)
출원인 한림대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-1991120-0000 (2019.06.13)
공개번호/일자 10-2019-0065225 (2019.06.11) 문서열기
공고번호/일자 (20190619) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자 10-2018-0099259 (2018.08.24)
관련 출원번호 1020180099259
심사청구여부/일자 Y (2019.06.03)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한림대학교 산학협력단 대한민국 강원도 춘천시 한림

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 장문규 대전광역시 유성구
2 임경석 경기도 구리시
3 신혜선 서울특별시 성북구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김남혁 대한민국 서울특별시 강남구 영동대로 ***, *층 (대치동, 세원빌딩)(국제특허본)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한림대학교 산학협력단 강원도 춘천시 한림
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2019.06.03 수리 (Accepted) 1-1-2019-0570031-33
2 등록결정서
Decision to grant		 2019.06.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0406461-41
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
온도 센서와 임피던스 센서를 적층형으로 형성하여 세포의 전기적 및 열적 모니터링을 동시에 수행하는 통합 센서의 제조방법에 있어서,슬라이드 글라스 기판(10)을 배치하는 공정;상기 기판(10) 위에 스퍼터에 의하여 백금 박막을 증착시키고, 섀도 마스크(shadow mask)를 사용하여 상기 스퍼터에 의하여 백금 전극패턴을 형성하여 박막형 RTDs(Resistance temperature detectors) 온도센서(20)를 형성하되, 온도의 미세한 변화를 검출할 수 있도록 상기 온도센서(20)의 감지부에는 미세회로(21)를 형성하는 공정;상기 온도센서(20) 위에 PDMS(polydimethylsiloxane)의 스핀코팅에 의하여 절연층(30)을 코팅하되, 절연의 기능을 수행하되 하부의 온도센서로 전달되는 열의 손실을 줄이기 위해 1
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR1020180044049 KR 대한민국 FAMILY
2 KR1020180097495 KR 대한민국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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