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챔버를 포함하는 산화막 생성 시스템을 제작하는 단계;상기 챔버 내부에 증기 발생기 전열관 시편을 설치하는 시편 장착 단계;상기 증기 발생기 전열관 시편이 설치된 챔버 내부를 가압 경수로의 증기 발생기 환경으로 모사하여 상기 증기 발생기 전열관 시편에 산화막을 생성하는 환경 모사 단계; 및상기 증기 발생기 전열관 시편에 생성된 산화막의 임피던스를 측정하기 위한 와이어를 부착하여, 상기 증기 발생기 전열관 시편에 생성된 산화막의 두께를 측정하는 산화막 측정 단계;를 포함하는 증기 발생기 전열관 시편 생성 방법
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제 2 항에 있어서, 상기 산화막 측정 단계는, 상기 산화막의 임피던스를 측정하는 단계, 상기 임피던스를 이용하여 상기 산화막의 커패시턴스를 산출하는 단계 및 상기 산화막의 커패시턴스를 이용하여 상기 산화막의 두께를 산출하는 단계를 포함하는 증기 발생기 전열관 시편 생성 방법
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제 3 항에 있어서, 상기 산화막 임피던스 측정 단계는 전기화학 임피던스 기법(Electrochemical Impedance Spectroscopy)를 이용하는 증기 발생기 전열관 시편 생성 방법
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제 3 항에 있어서, 상기 산화막 커패시턴스 산출 단계는, 상기 산화막 임피던스의 등가 회로를 이용하는 증기 발생기 전열관 시편 생성 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 산화막 두께 산출 단계는, 수학식 을 이용하여 상기 산화막 두께를 산출하며, 상기 수학식에서 C는 상기 산화막의 커패시턴스이며, A는 상기 산화막의 면적이며, d는 상기 산화막의 두께이며,ε는 유전 상수(dielectric constant)이며, ε0는 상수 8
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제 6 항에 있어서, 상기 환경 모사 단계는, 상기 챔버 내부의 용존 수소 농도 25 내지 35 cc/Kg로 유지하고, 용존 산소 농도 5ppb 이하로 유지하며, 상기 증기 발생기 전열관 시편 위치에서 온도 320℃ 이상, 압력 150 기압 이상을 40 시간 이상 유지하는 단계를 포함하는 증기 발생기 전열과 시편 생성 방법
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