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각축에 대한 부상 제어 신호를 제어기에서 입력받아, 회전체의 부상을 각축에서 각각 지지하는 복수의 자기 베어링 및, 상기 복수의 자기 베어링이 지지하는 각축에 대응되도록 상기 회전체에 설치되어 상기 복수의 자기 베어링의 각 축에 대한 상기 회전체의 변위를 측정 하는 복수의 센서를 포함하는 동특성 측정이 가능한 회전체 시스템에 있어서, 상기 복수의 자기 베어링에서 선택된 하나의 베어링으로 입력되는 부상 제어 신호에 가진 신호를 합산한 입력 신호를 상기 제어기에서 입력하는 제1가진 단계;상기 복수의 센서들이 상기 회전체의 각 축에 대한 변위를 각각 측정하고, 측정값인 출력 신호를 상기 제어기로 인가하는 제1출력 측정 단계; 및상기 제1가진 단계에서 선택된 하나의 베어링으로 입력된 입력 신호 대비, 상기 복수의 센서에서 측정된 각축에 대한 출력 신호의 비율인 전달 함수를 각 축에 대해서 산출하는 제1동특성 측정 단계를 포함하며,상기 복수의 자기 베어링은 상기 회전체의 회전축, 상부 X축, 상부 Y축, 하부 X축 및 하부 Y축에서 각각 상기 회전체를 부상 지지하는 회전축 자기 베어링, 상부 X축 자기 베어링, 상부 Y축 자기 베어링, 하부 X축 자기 베어링 및 하부 Y축 자기 베어링을 포함하고,상기 복수의 센서는 상기 복수의 자기 베어링이 지지하는 각축인 상기 회전체의 회전축, 상부 X축, 상부 Y축, 하부 X축 및 하부 Y축에서, 상기 회전체의 변위를 각각 측정하는 회전축 센서, 상부 X축 센서, 상부 Y축 센서, 하부 X축 센서 및 하부 Y축 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 동특성 측정이 가능한 회전체 시스템의 동특성 측정 방법
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청구항 2에 있어서,상기 제1가진 단계에서상기 제어기는 상기 회전축 자기 베어링으로, 회전체 부상 제어 신호에 가진 신호를 합산한 회전축 입력 신호를 입력하고, 상기 상부 X축 자기 베어링, 상기 상부 Y축 자기 베어링, 상기 하부 X축 자기 베어링 및 상기 하부 Y축 자기 베어링으로 각각에 대한 부상 제어 신호를 입력하는 것을 특징으로 하는 동특성 측정이 가능한 회전체 시스템의 동특성 측정 방법
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청구항 3에 있어서,상기 제1동특성 측정 단계에서는상기 회전축 자기 베어링으로 입력된 회전축 입력 신호 대비, 상기 회전축 센서에서 측정된 회전축에 대한 변위의 비율인 회전축 전달함수를 산출하고,상기 회전축 입력 신호 대비, 상기 상부 X축 센서에서 측정된 상부 X축 변위에 대한 비율인 회전축 대비 상부 X축 전달함수를 산출하고, 상기 회전축 입력 신호 대비, 상기 상부 Y축 센서에서 측정된 상부 Y축 변위에 대한 비율인 회전축 대비 상부 Y축 전달함수를 산출하고, 상기 회전축 입력 신호 대비, 상기 하부 X축 센서에서 측정된 하부 X축 변위에 대한 비율인 회전축 대비 하부 X축 전달함수를 산출하고, 상기 회전축 입력 신호 대비, 상기 하부 Y축 센서에서 측정된 하부 Y축 변위에 대한 비율인 회전축 대비 하부 Y축 전달함수를 산출하는 것을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 동특성 측정이 가능한 회전체 시스템의 동특성 측정 방법
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청구항 3에 있어서,상기 제1동특성 측정 단계 이후에는,상기 제어기는 상기 상부 X축 자기 베어링으로 상부 X축 부상 제어 신호에 가진 신호를 합산한 상부 X축 입력 신호를 입력하고, 상기 복수의 센서들이 상기 회전체의 각 축에 대한 변위를 각각 측정하여 상기 제어기로 인가하고, 상기 제어기에서 상기 상부 X축 입력 신호 대비, 상기 복수의 센서에서 측정된 각축에 대한 출력 신호의 비율인 전달 함수를 각 축에 대해서 산출하는 제2동특성 측정 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 동특성 측정이 가능한 회전체 시스템의 동특성 측정 방법
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청구항 5에 있어서,상기 제2동특성 측정 단계 이후에는,상기 제어기는 상기 상부 Y축 자기 베어링으로 상부 Y축 부상 제어 신호에 가진 신호를 합산한 상부 Y축 입력 신호를 입력하고, 상기 복수의 센서들이 상기 회전체의 각 축에 대한 변위를 각각 측정하여 상기 제어기로 인가하고, 상기 제어기에서 상기 상부 Y축 입력 신호 대비, 상기 복수의 센서에서 측정된 각축에 대한 출력 신호의 비율인 전달 함수를 각 축에 대해서 산출하는 제3동특성 측정 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 동특성 측정이 가능한 회전체 시스템의 동특성 측정 방법
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청구항 6에 있어서,상기 제3동특성 측정 단계 이후에는,상기 제어기는 상기 하부 X축 자기 베어링으로 하부 X축 부상 제어 신호에 가진 신호를 합산한 하부 X축 입력 신호를 입력하고, 상기 복수의 센서들이 상기 회전체의 각 축에 대한 변위를 각각 측정하여 상기 제어기로 인가하고, 상기 제어기에서 상기 하부 X축 입력 신호 대비, 상기 복수의 센서에서 측정된 각축에 대한 출력 신호의 비율인 전달 함수를 각 축에 대해서 산출하는 제4동특성 측정 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 동특성 측정이 가능한 회전체 시스템의 동특성 측정 방법
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청구항 7에 있어서,상기 제4동특성 측정 단계 이후에는,상기 제어기는 상기 하부 Y축 자기 베어링으로 하부 Y축 부상 제어 신호에 가진 신호를 합산한 하부 Y축 입력 신호를 입력하고, 상기 복수의 센서들이 상기 회전체의 각 축에 대한 변위를 각각 측정하여 상기 제어기로 인가하고, 상기 제어기에서 상기 하부 Y축 입력 신호 대비, 상기 복수의 센서에서 측정된 각축에 대한 출력 신호의 비율인 전달 함수를 각 축에 대해서 산출하는 제5동특성 측정 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 동특성 측정이 가능한 회전체 시스템의 동특성 측정 방법
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회전체;상기 회전체를 각축에서 부상 지지하는 복수의 자기 베어링;상기 복수의 자기 베어링이 지지하는 각축에 대응되도록 상기 회전체에 설치되어 상기 복수의 자기 베어링의 각 축에 대한 상기 회전체의 변위를 측정 하는 복수의 센서; 및상기 복수의 자기 베어링 및 상기 복수의 센서와 전기적으로 연결되어, 상기 복수의 자기 베어링으로 각축에 대한 부상 제어 신호를 인가하는 제어기를 포함하며,상기 제어기는 상기 복수의 자기 베어링 중 선택된 하나의 자기 베어링에 입력되는 부상 제어 신호에, 가진 신호를 합산한 입력 신호를 인가하고상기 복수의 자기 베어링은 상기 회전체의 회전축, 상부 X축, 상부 Y축, 하부 X축 및 하부 Y축에서 각각 상기 회전체를 부상 지지하는 회전축 자기 베어링, 상부 X축 자기 베어링, 상부 Y축 자기 베어링, 하부 X축 자기 베어링 및 하부 Y축 자기 베어링을 포함하고,상기 복수의 센서는 상기 복수의 자기 베어링이 지지하는 각축인 상기 회전체의 회전축, 상부 X축, 상부 Y축, 하부 X축 및 하부 Y축에서, 상기 회전체의 변위를 각각 측정하는 회전축 센서, 상부 X축 센서, 상부 Y축 센서, 하부 X축 센서 및 하부 Y축 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 동특성 측정이 가능한 회전체 시스템
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청구항 9에 있어서,상기 제어기는상기 가진 신호를 합산한 입력 신호 대비, 상기 복수의 센서에서 측정된 각축에 대한 출력 신호의 비율인 전달 함수를 각 축에 대해서 산출하는 것을 특징으로 하는 동특성 측정이 가능한 회전체 시스템
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