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전계효과 전력소자 제작방법

  • 기술번호 : KST2019009305
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 기판 상에 전이층, 버퍼층 및 배리어층을 포함하는 에피층을 형성하는 것, 상기 에피층의 버퍼층의 일부 및 배리어층을 식각하여 제1 리세스들을 형성하는 것, 상기 제1 리세스들을 채우는 오믹 전극들을 형성하는 것, 상기 배리어층 상에 게이트 전극을 형성하는 것, 상기 게이트 전극은 상기 오믹 전극들 사이에 배치되고, 상기 기판의 하면 상에 식각 공정을 수행하여 상기 오믹 전극들 중 어느 하나의 하면을 노출하는 제2 리세스를 형성하는 것, 및 상기 기판의 하면 및 상기 제2 리세스를 덮는 하부 전극을 형성하는 것을 포함하는 전계효과 전력소자 제조 방법을 제공하되 상기 하부 전극은 상기 오믹 전극들 중 상기 어느 하나와 접할 수 있다.
Int. CL H01L 29/66 (2006.01.01) H01L 29/45 (2006.01.01)
CPC H01L 29/66348(2013.01) H01L 29/66348(2013.01)
출원번호/일자 1020170166220 (2017.12.05)
출원인 한국전자통신연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0066481 (2019.06.13) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국전자통신연구원 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 이종민 대전시 유성구
2 강동민 대전광역시 유성구
3 김동영 대전시 유성구
4 김성일 대전시 유성구
5 김정진 전라북도 전주시 완산구
6 김진식 대전광역시 유성구
7 김해천 대전광역시 유성구
8 도재원 대전광역시 유성구
9 문재경 대전광역시 유성구
10 민병규 세종특별자치시
11 배성범 대전광역시 유성구
12 신민정 대전광역시 유성구
13 안효균 대전광역시 유성구
14 윤형섭 대전시 유성구
15 이상흥 대전시 서구
16 이형석 대전광역시 서구
17 임종원 대전광역시 서구
18 장성재 대전광역시 유성구
19 장우진 대전시 서구
20 장유진 대전광역시 유성구
21 정현욱 대전광역시 유성구
22 조규준 대전광역시 유성구
23 지홍구 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 고려 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로 *길 ** *층(역삼동)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
최종권리자 정보가 없습니다
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.12.05 수리 (Accepted) 1-1-2017-1213824-58
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번호 청구항
1 1
기판 상에 전이층, 버퍼층 및 배리어층을 포함하는 에피층을 형성하는 것;상기 에피층의 버퍼층의 일부 및 배리어층을 식각하여 제1 리세스들을 형성하는 것;상기 제1 리세스들을 채우는 오믹 전극들을 형성하는 것;상기 배리어층 상에 게이트 전극을 형성하는 것, 상기 게이트 전극은 상기 오믹 전극들 사이에 배치되고;상기 기판의 하면 상에 식각 공정을 수행하여 상기 오믹 전극들 중 어느 하나의 하면을 노출하는 제2 리세스를 형성하는 것; 및상기 기판의 하면 및 상기 제2 리세스를 덮는 하부 전극을 형성하는 것을 포함하되,상기 하부 전극은 상기 오믹 전극들 중 상기 어느 하나와 접하는 전계효과 전력소자 제작방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 미래창조과학부 한국전자통신연구원 ETRI연구개발지원사업 고효율 GaN 기반 기지국/단말기용 핵심부품 및 모듈 개발