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제1 방향으로 서로 이격된 입력 영역 및 검출 영역과, 상기 입력 영역 및 상기 검출 영역 사이의 변환 영역을 포함하는 광 도파로;상기 변환 영역의 상기 광 도파로 상에 배치되는 나노 패턴; 및상기 검출 영역의 상기 광 도파로 상에 배치되는 나노 와이어를 포함하되,상기 나노 패턴은 상기 제1 방향으로 연장된 제1 패턴 및 제2 패턴을 포함하고,상기 제1 패턴 및 상기 제2 패턴은 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 서로 이격된 광자 검출기
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제 1 항에 있어서,상기 나노 패턴은 상기 검출 영역과 인접한 일측 및 상기 일측에 대향하는 타측을 갖고,상기 제1 패턴 및 상기 제2 패턴은 상기 일측으로부터 상기 타측까지 일정한 폭을 갖는 광자 검출기
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제 1 항에 있어서,상기 제1 패턴 및 상기 제2 패턴은 서로 평행하게 배치되는 광자 검출기
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제 1 항에 있어서,상기 제1 패턴 및 상기 제2 패턴 사이의 거리는 상기 제1 패턴 및 상기 제2 패턴의 폭 보다 작은 광자 검출기
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제 1 항에 있어서,상기 나노 패턴은 금속을 포함하고,상기 나노 패턴은 상기 광 도파로와 광 결합되는 광자 검출기
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제 5 항에 있어서,상기 변환 영역은 상기 광 도파로의 입력 영역으로 입력된 광을 표면 플라즈몬 폴라리톤(SPP: surface plasmon-polaritons)으로 변환시키도록 구성되는 광자 검출기
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7
제 1 항에 있어서,상기 광 도파로 및 상기 나노 패턴 사이의 버퍼층을 더 포함하되,상기 버퍼층은 상기 광 도파로보다 굴절률이 낮은 물질을 포함하는 광자 검출기
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8
제 7 항에 있어서,상기 버퍼층은 상기 광 도파로 및 상기 나노 패턴과 직접 접촉하는 광자 검출기
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제 1 항에 있어서,상기 나노 와이어는 초전도 물질을 포함하는 광자 검출기
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제 1 항에 있어서,상기 나노 와이어의 양 단부의 각각을 덮는 금속 패드들을 더 포함하는 광자 검출기
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제 1 항에 있어서,상기 나노 와이어는 상기 제1 방향으로 연장되고, 서로 이격되는 제1 부분들 및 상기 제1 부분들을 연결하는 제2 부분을 포함하고,상기 제2 부분은 상기 나노 패턴의 일단과 인접하게 배치되는 광자 검출기
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12
제 1 항에 있어서,상기 광 도파로는 상기 광 도파로의 일 측면으로부터 돌출된 제1 돌출부 및 상기 일 측면과 대향하는 타 측면으로부터 돌출된 제2 돌출부를 포함하고,상기 나노 와이어는 상기 제1 돌출부의 상면 상으로부터 상기 제2 돌출부의 상면 상으로 연장되는 광자 검출기
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13
제 12 항에 있어서,상기 나노 와이어는 직선의 형태를 갖는 광자 검출기
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제 12 항에 있어서, 상기 광 도파로는 연장 영역을 더 포함하되,상기 연장 영역은 상기 검출 영역으로부터 상기 변환 영역과 멀어지는 방향으로 연장되는 광자 검출기
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15
제 1 항에 있어서, 상기 나노 와이어의 적어도 일부는 상기 광 도파로 및 상기 나노 패턴의 사이에 위치하는 광자 검출기
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제 15 항에 있어서,상기 나노 와이어는 상기 제1 방향으로 연장되고, 서로 이격되는 제1 부분들 및 상기 제1 부분들을 연결하는 제2 부분을 포함하고,상기 제2 부분의 적어도 일부는 상기 제1 패턴 및 상기 제2 패턴의 사이에 위치하는 광자 검출기
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