1 |
1
복수개의 나노입자들을 준비하는 단계; 및상기 나노입자들을 진공상태에서 응집시키고 소결하여 상기 나노입자들이 서로 결합된 응집체를 제조하는 단계를 포함하고,상기 제조된 응집체는 내부에 상기 나노입자들로 둘러싸인 닫힌 기공을 포함하고, 상기 기공은 진공상태인 것을 특징으로 하고,상기 복수개의 나노입자들을 준비하는 단계에서, 상기 나노입자들은 이송가스 상에 부유하는 것을 특징으로 하고,상기 응집체를 제조하는 단계는 상기 나노입자들을 진공상태에서 응집시키는 입자 포커싱 단계 및 상기 응집된 나노입자들의 표면을 진공상태에서 소결시키는 진공 소결 단계를 포함하는 것을 특징으로 하고,상기 진공 소결 단계에서, 상기 소결시키는 나노입자들의 소결 두께는 상기 나노입자들의 직경 대비 10% 내지 90%의 두께인 것을 특징으로 하고, 상기 소결 두께는 상기 나노입자들이 중첩된 두께인 것인 진공기공을 갖는 나노입자 구조체 제조방법
|
2 |
2
삭제
|
3 |
3
제1항에 있어서,상기 이송가스는 아르곤 가스, 질소 가스 또는 수소 가스를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공기공을 갖는 나노입자 구조체 제조방법
|
4 |
4
제1항에 있어서,상기 나노입자는 무기물을 포함하는 것을 특징으로 하는 진공기공을 갖는 나노입자 구조체 제조방법
|
5 |
5
제4항에 있어서,상기 무기물은 SiO2, Al2O3 또는 TiO2를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공기공을 갖는 나노입자 구조체 제조방법
|
6 |
6
삭제
|
7 |
7
삭제
|
8 |
8
제1항에 있어서,상기 응집체를 제조하는 단계에서,상기 나노입자들을 소결시키는 온도는 상기 나노입자들의 용융온도의 50% 내지 90%의 온도인 것을 특징으로 하는 진공기공을 갖는 나노입자 구조체 제조방법
|
9 |
9
제1항에 있어서,상기 응집체를 제조하는 단계에서,상기 나노입자들을 저항발열체 또는 레이저를 이용하여 가열하여 소결시키는 것을 특징으로 하는 진공기공을 갖는 나노입자 구조체 제조방법
|
10 |
10
제1항에 있어서,상기 나노입자들을 준비하는 단계 및 상기 응집체를 제조하는 단계 사이에,상기 나노입자들을 크기별로 분류하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 진공기공을 갖는 나노입자 구조체 제조방법
|
11 |
11
제10항에 있어서,상기 나노입자들을 크기별로 분류하는 단계에서,상기 나노입자들의 직경이 10 nm 내지 100 nm인 것을 선택적으로 분류하는 것을 특징으로 하는 진공기공을 갖는 나노입자 구조체 제조방법
|
12 |
12
제1항에 있어서,상기 응집체를 제조하는 단계는,상기 나노입자들을 다단 진공 포커싱을 통하여 응집시키는 단계; 및상기 응집시킨 나노입자들을 진공상태에서 소결하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 진공기공을 갖는 나노입자 구조체 제조방법
|
13 |
13
제1항의 진공기공을 갖는 나노입자 구조체 제조방법으로 제조된 진공기공을 갖는 나노입자 구조체
|