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내부가 중공인 챔버 형상으로 형성되며, 하부에 공정 가스 주입구가 형성되고 상부에 공정 가스 배출구가 형성되는 챔버부와,상기 챔버부의 내부를 소정 온도로 가열하는 발열부 및 상기 챔버부의 내부에 위치하여 상기 챔버부의 내부를 상부 공간과 하부 공간으로 분리하며 탄화규소 프리폼을 고정하며 상기 공정 가스 주입구로부터 유입되는 공정 가스가 상기 탄화규소 프리폼에 접촉되도록 하는 프리폼 고정부를 포함하며,상기 프리폼 고정부는하면에서 상부 방향으로 소정 깊이로 형성되며 안착 상면에 상기 탄화규소 프리폼의 상면이 접촉되어 고정되고 내측면과 상기 탄화규소 프리폼의 외측면 사이에 상기 공정 가스가 흐르는 공정 가스 경로가 형성되는 프리폼 안착홈 및 상기 프리폼 안착홈의 안착 상면에서 상부로 연장되는 가스 통과홀을 구비하는 고정 본체를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기상 침착 장치
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제 1 항에 있어서,상기 프리폼 고정부는 소정 길이를 갖는 바 형상으로 형성되며, 상기 프리폼 안착홈의 안착 상면 또는 내측면에 결합되고 하부 방향으로 연장되며 사이에 상기 탄화규소 프리폼이 위치하는 지지 바 및상기 지지 바의 하부에 결합되며 상기 탄화규소 프리폼의 하면을 지지하여 상기 탄화규소 프리폼의 상면을 상기 프리폼 안착홈의 안착 상면에 접촉시키는 밀착 바를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기상 침착 장치
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제 2 항에 있어서,상기 밀착 바는 양측에 밀착 홀을 구비하며,상기 지지 바는 상기 밀착 홀에 삽입되며 상기 밀착 바를 고정하는 고정수단을 구비하는 것을 특징으로 하는 화학 기상 침착 장치
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제 1 항에 있어서,상기 프리폼 안착홈은 상기 안착 상면의 면적이 상기 탄화규소 프리폼의 상면 면적과 같거나 크도록 형성되는 특징으로 하는 화학 기상 침착 장치
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제 4 항에 있어서,상기 프리폼 안착홈은 안착 상면의 면적이 안착 하면의 면적보다 작은 면적으로 형성되어 상기 공정 가스 경로가 하부에서 상부로 갈수록 수평면의 단면적이 감소하는 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 침착 장치
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제 4 항에 있어서,상기 프리폼 안착홈은 안착 상면의 면적이 안착 하면의 면적과 동일하게 형성되어 하부와 상부의 수평면의 단면적이 동일한 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 침착 장치
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제 4 항에 있어서,상기 프리폼 안착홈은 안착 상면의 면적이 안착 하면의 면적보다 큰 면적으로 형성되어 상기 공정 가스 경로가 하부에서 상부로 갈수록 수평면의 단면적이 증가하는 형상으로 형성되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 침착 장치
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제 1 항에 있어서,상기 챔버는 상부 공간의 압력이 하부 공간의 압력보다 작은 것을 특징으로 하는 화학 기상 침착 장치
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