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전도성 잉크 토출장치 및 이를 포함하는 패터닝 장치

  • 기술번호 : KST2019009662
  • 담당센터 : 경기기술혁신센터
  • 전화번호 : 031-8006-1570
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 잉크를 연속적으로 토출하여 패터닝 공정을 수행할 수 있는 전도성 잉크 토출장치 및 이를 포함하는 패터닝 장치에 관한 것으로서, 상기 전도성 잉크 토출장치는 전도성 잉크가 저장되는 잉크 챔버와, 상기 잉크 챔버의 하부에 배치되고 비전도성 재질로 마련되는 어댑터, 그리고 상기 어댑터의 하부에 배치되고 상기 잉크 챔버에 연계되어 전도성 잉크를 외부로 토출하는 토출 노즐을 포함한다. 이러한 구성으로, 전도성 잉크를 연속적으로 토출하여 패터닝 작업을 수행할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.
Int. CL G03F 7/20 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01)
CPC G03F 7/2018(2013.01) G03F 7/2018(2013.01) G03F 7/2018(2013.01) G03F 7/2018(2013.01) G03F 7/2018(2013.01)
출원번호/일자 1020170169337 (2017.12.11)
출원인 한국생산기술연구원
등록번호/일자 10-2050778-0000 (2019.11.26)
공개번호/일자 10-2019-0069011 (2019.06.19) 문서열기
공고번호/일자 (20191204) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.12.11)
심사청구항수 7

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 대한민국 충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 고정범 제주특별자치도 제주시 연삼로 **
2 박춘근 제주특별자치도 제주시 신설로 **
3 김재범 제주특별자치도 제주시 연오로 **
4 김형찬 제주특별자치도

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인 정안 대한민국 서울특별시 강남구 선릉로 *** ***층(논현동,썬라이더빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국생산기술연구원 충청남도 천안시 서북구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.12.11 수리 (Accepted) 1-1-2017-1231009-86
2 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information		 2018.07.02 수리 (Accepted) 4-1-2018-5123030-77
3 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.12.10 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
4 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2019.02.14 수리 (Accepted) 9-1-2019-0008644-82
5 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.06.19 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0437443-45
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.07.09 수리 (Accepted) 1-1-2019-0701756-55
7 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.07.09 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0701757-01
8 거절결정서
Decision to Refuse a Patent		 2019.10.18 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0756408-06
9 [명세서등 보정]보정서(재심사)
Amendment to Description, etc(Reexamination)		 2019.11.14 보정승인 (Acceptance of amendment) 1-1-2019-1167250-17
10 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.11.14 수리 (Accepted) 1-1-2019-1167249-60
11 등록결정서
Decision to Grant Registration		 2019.11.20 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0838988-55
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번호 청구항
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기판이 안착되고, 기판을 3축 방향으로 이동시키는 스테이지;기판에 전도성 잉크를 토출하도록 제공되는 전도성 잉크 토출장치;상기 전도성 잉크 토출장치의 잉크 챔버에 연결되어 전도성 잉크를 공급하는 잉크 공급수단;상기 전도성 잉크 토출장치의 토출 노즐에 전압을 인가하여 전도성 잉크를 대전시키고, 상기 스테이지에는 상기 토출 노즐과 반대되는 전압을 인가하는 전원장치;상기 잉크 챔버에 연결되어 기체를 공급하여 전도성 잉크의 토출 압력을 조절하는 기체 공급수단; 및상기 전도성 잉크 토출장치에서 전도성 잉크가 기판에 토출되게 상기 전원장치를 제어하고, 기판을 이동시켜 특정 패턴이 형성되도록 상기 스테이지를 제어하는 제어부;를 포함하고,상기 전도성 잉크 토출장치는,전도성 잉크가 저장되고, 비전도성 재질로 마련되는 잉크 챔버;상기 잉크 챔버의 하부에 배치되고, 비전도성 재질로 마련되는 어댑터;상기 어댑터의 하부에 배치되고, 상기 잉크 챔버에 연계되어 전도성 잉크를 외부로 토출하는 토출 노즐;상기 잉크 챔버에 구비되어 저장된 전도성 잉크가 휘발되어 변성되지 않도록 3~15℃의 온도 범위를 만족하도록 냉각하는 냉각부; 및상기 토출 노즐에 구비되어 토출되는 전도성 잉크가 특정 온도 범위를 만족하도록 가열하는 가열부;를 포함하고,상기 제어부는,기판에 10㎛ 이하의 선 폭을 가지는 선형의 패턴을 형성하도록, 2
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제6항에 있어서,상기 제어부는,상기 토출 노즐에 인가되는 전압을 조절하여 기판에 토출되는 전도성 잉크의 양을 조절하는 것을 특징으로 하는 패터닝 장치
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제6항에 있어서, 상기 전도성 잉크 토출장치는,상기 잉크 챔버에 구비되어 저장된 전도성 잉크의 온도를 측정하는 챔버 온도센서; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패터닝 장치
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제6항에 있어서, 상기 전도성 잉크 토출장치는,상기 토출 노즐에 구비되어 토출되는 전도성 잉크의 온도를 측정하는 노즐 온도센서; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 패터닝 장치
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제10항에 있어서, 상기 제어부는,상기 노즐 온도센서로부터 온도 데이터를 수신하여 상기 토출 노즐에서 토출되는 전도성 잉크가 20~100℃의 온도 범위를 만족하도록 가열부를 제어하는 것을 특징으로 하는 패터닝 장치
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제6항에 있어서,상기 전도성 잉크 토출장치의 잉크 챔버에 구비되어 저장된 전도성 잉크의 수위를 측정하는 수위센서;를 더 포함하고, 상기 제어부는, 상기 수위센서로부터 데이터를 수신하여 상기 잉크 챔버에 전도성 잉크가 일정 수위를 유지하도록 상기 잉크 공급수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 패터닝 장치
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제6항에 있어서,상기 제어부는, 상기 잉크 챔버에 저장된 전도성 잉크가 상기 토출 노즐의 단부까지 공급될 수 있도록 상기 잉크 챔버 내부의 압력을 조절하도록 상기 기체 공급수단을 제어하는 것을 특징으로 하는 패터닝 장치
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