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기판과, 상기 기판 상에서 사이에 나노 갭을 형성하며 마주보는 한 쌍의 전극과,상기 나노 갭에 존재하는 금속 나노입자들을 포함하고, 상기 금속 나노입자의 표면에는 가스 결합용 관능기를 갖는 리간드 유기 단분자와 기판접합용 관능기를 갖는 리간드 유기 단분자가 고정되고, 상기 기판에는 상기 금속 나노입자의 기판접합용 관능기와 결합하는 기판관능기를 갖는 유기 단분자가 고정된 가스센서
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제1항에 있어서, 상기 가스 결합용 관능기를 갖는 리간드 유기 단분자는 상기 금속 나노입자의 표면에 결합하는 결합부와 가스 결합 관능기, 및 상기 결합부와 가스결합 관능기 사이를 연결하는 연결부로 구성되고, 상기 결합부는 티올기(-SH), 아미노기(-NH2), 카르복실기(-COOH), 또는 포스페이트기(-H2PO4)로부터 선택되고, 상기 연결부는 C1 내지 C10 알킬렌기, C6 내지 C30 아릴렌기, 또는 -(CH2CH2O)n- (여기서 n은 1~10임)이고,상기 가스 결합 관능기는 -R, -OR, -COOR, -COR, -NR1R2 (여기서 R, R1 및 R2는 각각 독립적으로 수소, C1 내지 C10 알킬기, C6 내지 C30 아릴기, 또는 이들의 조합임), 및 할로겐으로 구성되는 군에서 선택되는 가스센서
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제2항에 있어서,상기 연결부는 C1 내지 C6 알킬렌기, 페닐렌기, 또는 -(CH2CH2O)n'- (여기서 n'은 1 내지4임)로부터 선택되는 가스센서
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제2항에 있어서,상기 가스 결합 관능기는 메틸기, 에틸기, 카르복실기, 메톡시기, 에톡시기, 아미노기, 페닐기, 클로로기, 또는 브로모기로 구성되는 군에서 선택되는 가스센서
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제1항에 있어서,상기 기판접합용 관능기를 갖는 리간드 유기 단분자는 상기 금속 나노입자의 표면에 결합하는 결합부와 기판접합용 관능기, 및 상기 결합부와 상기 기판접합용 관능기 사이를 연결하는 연결기로 구성되고, 상기 결합부는 티올기(-SH), 아미노기(-NH2), 카르복실기(-COOH), 또는 포스페이트기(-H2PO4)로부터 선택되고, 상기 연결부는 C1 내지 C10 알킬렌기, C6 내지 C30 아릴렌기, 또는 -(CH2CH2O)n- (여기서 n은 1~10임)이고,상기 기판접합용 관능기는 -NR1R2, -OR, -COOR, 및 -COR (여기서 R, R1 및 R2는 각각 독립적으로 수소, C1 내지 C10 알킬기, C6 내지 C20 아릴기, 또는 이들의 조합임)으로 구성되는 군에서 선택되는 가스센서
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제5항에 있어서,상기 연결부는 C1 내지 C6 알킬렌기, 페닐렌기, 또는 -(CH2CH2O)n'- (여기서 n'은 1 내지4임)로부터 선택되는 가스센서
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제1항에 있어서,상기 기판접합용 관능기는 -COOH, -NH2, 및 -OH 중 어느 하나인 가스센서
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제1항에 있어서, 상기 가스결합용 관능기를 갖는 리간드 유기 단분자들은 상기 가스결합용 관능기의 종류가 상이한 2 종 이상의 리간드 유기 단분자들을 포함하는 가스센서
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제1항에 있어서, 상기 기판관능기를 갖는 유기 단분자는 트리알콕시실란 유도체로부터 선택되는 가스센서
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제9항에 있어서, 상기 기판관능기를 갖는 유기 단분자는 트리알콕시실란의 한 말단에-NR1R2, -OR, -COOR, 및 -COR (여기서 R, R1 및 R2는 각각 독립적으로 -H, -CH3, -CH2CH3 또는 -C6H5임)로 구성되는 군에서 선택되는 기판관능기가 결합된 것인 가스센서
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제10항에 있어서, 상기 기판관능기는 -COOH, -NH2, 및 -OH 중 어느 하나인 가스센서
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제1항에 있어서,상기 전극은 IDE 전극(Interdigitate electrode) 구조를 갖는 가스센서
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제1항에 있어서, 상기 금속 나노입자는 상기 나노 갭에 단일 층(mono layer)으로 형성되는 가스센서
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제1항에 있어서,상기 금속 나노입자는 상기 나노 갭에 복수의 층으로 적층되는 가스센서
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제1항에 있어서, 상기 금속 나노입자는 Au, Ag, Pt, Pd, Ir, Rh 및 이들의 2 이상의 합금으로 구성되는 군에서 선택되는 1종 이상의 금속을 포함하는 가스센서
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제15항에 있어서, 상기 금속 나노입자는 Au 나노입자인 가스센서
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제1항에 있어서, 상기 나노 갭은 폭이 5 nm 내지 1000 nm인 가스센서
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제1항에 있어서, 상기 전극은 금, 은, 백금, 탄소나노튜브, 그래핀, 폴리피롤, 폴리아닐린, 폴리티오펜, 및 PEDOT로 구성되는 군에서 선택되는 1종 이상을 포함하는 가스센서
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제1항에 있어서, 상기 나노입자는 나노스피어(nanosphere), 나노 와이어(nanowire), 나노 로드(nanorod), 나노 월(nanowall), 나노 튜브(nanotube), 나노 벨트(nanobelt), 또는 나노 링(nanoring) 구조를 갖는 가스센서
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제1항에 있어서, 상기 기판은 실리콘 기판 또는 유리 기판인 가스센서
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