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기판과, 상기 기판의 상부에 기지의(well-known) 용융 온도를 가진 물질이 코팅된 상부 코팅층과, 상기 상부 코팅층에 구비된 열전대를 포함하는 온도 보정용 시료;상기 온도 보정용 시료를 가열하고, 상기 상부 코팅층에 X-선을 조사하며, 조사된 X-선에 의한 회절 피크의 적분 강도를 구하는 X-선 회절 분석 모듈; 및수학식 T_A = a * T_M + b에 따라 상기 열전대의 측정 온도를 보정하되, 실온에서 측정한 상기 열전대의 측정 온도, 기지의 상기 상부 코팅층의 용융 온도, 및 상기 회절 피크의 적분 강도의 변화 시점에서 측정한 상기 열전대의 측정 온도에 기초하여 상수 a 및 b를 결정하며, 상기 T_A는 보정된 상기 열전대의 온도, T_M은 상기 열전대의 측정 온도인 온도 보정 모듈을 포함하고,상기 온도 보정 모듈의 상기 수학식의 (T_M, T_A)에 (실온에서 측정한 상기 열전대의 측정 온도, 측정한 실온) 및 (상기 회절 피크의 적분 강도의 변화 시점에서 측정한 상기 열전대의 측정 온도, 상기 상부 코팅층의 용융 온도)를 대입하여 상기 상수 a 및 b를 결정하는 열전대의 온도 보정 장치
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제1항에 있어서,상기 적분 강도의 변화 시점은, 적분 강도가 0이 되는 시점인 열전대의 온도 보정 장치
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제1항에 있어서,상기 기판은,상기 상부 코팅층의 용융 온도에서는 녹지 않는 용융 온도를 가지며, 상기 상부 코팅층의 용융 온도에서 상기 상부 코팅층과 반응하지 않는 물질인 열전대의 온도 보정 장치
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제1항에 있어서,상기 기판은,불투명 재질 또는 투명 재질을 포함하는 열전대의 온도 보정 장치
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X-선 회절 분석 모듈에서, 온도 보정용 시료를 가열하고, 상기 온도 보정용 시료의 상부 코팅층에 X-선을 조사하며, 조사된 X-선에 의한 회절 피크의 적분 강도를 구하는 제1 단계; 및온도 보정 모듈에서, 수학식 T_A = a * T_M + b에 따라 열전대의 측정 온도를 보정하되, 실온에서 측정한 상기 열전대의 측정 온도, 기지의(well-known) 상기 상부 코팅층의 용융 온도, 및 상기 회절 피크의 적분 강도의 변화 시점에서 측정한 상기 열전대의 측정 온도에 기초하여 상수 a 및 b를 결정하며, 상기 T_A는 보정된 상기 열전대의 온도, T_M은 상기 열전대의 측정 온도인 제2 단계를 포함하며,상기 제2 단계는 상기 수학식의 (T_M, T_A)에 (실온에서 측정한 상기 열전대의 측정 온도, 측정한 실온) 및 (상기 회절 피크의 적분 강도의 변화 시점에서 측정한 상기 열전대의 측정 온도, 상기 상부 코팅층의 용융 온도)를 대입하여 상기 상수 a 및 b를 결정하는 열전대의 온도 보정 방법
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제7항에 있어서,상기 적분 강도의 변화 시점은, 적분 강도가 0이 되는 시점인 열전대의 온도 보정 방법
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제7항에 있어서,상기 온도 보정용 시료는 기판과, 상기 기판의 상부에 기지의(well-known) 용융 온도를 가진 물질이 코팅된 상기 상부 코팅층과, 상기 상부 코팅층에 구비된 상기 열전대를 포함하고,상기 기판은,상기 상부 코팅층의 용융 온도에서는 녹지 않는 용융 온도를 가지며, 상기 상부 코팅층의 용융 온도에서 상기 상부 코팅층과 반응하지 않는 물질인 열전대의 온도 보정 방법
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제7항에 있어서,상기 온도 보정용 시료는 기판과, 상기 기판의 상부에 기지의(well-known) 용융 온도를 가진 물질이 코팅된 상기 상부 코팅층과, 상기 상부 코팅층에 구비된 상기 열전대를 포함하고,상기 기판은,불투명 재질 또는 투명 재질을 포함하는 열전대의 온도 보정 방법
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