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연마대상물이 배치되는 제1몸체;연마대상물을 연마하는 복수의 연마패드가 부착되는 회전판;상기 복수의 연마패드 중 하나가 연마대상물과 선택적으로 접촉하도록 상기 회전판을 구동시키는 구동부; 및 연마대상물의 연마과정에서 발생하는 부산물을 흡입하도록 구성되는 집진수단;을 포함하는 연마장치
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제1항에 있어서,상기 제1몸체는 연마대상물을 고정하는 흡착패드를 포함하는 연마장치
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제1항에 있어서,상기 복수의 연마패드는 서로 다른 조도를 갖는 연마장치
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제1항에 있어서,상기 구동부는,상기 회전판과 연결되는 축; 및상기 회전판이 상기 축을 중심으로 회전하도록 상기 축을 구동시키는 구동모터;를 포함하는 연마장치
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제1항에 있어서,상기 제1몸체에는 상기 집진수단에 의해 부압이 생성되는 다수의 구멍이 형성되는 연마장치
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제1항에 있어서,상기 집진수단은,상기 제1몸체와 연결되는 집진실; 및상기 집진탱크에 부압을 형성하는 진공펌프;를 포함하는 연마장치
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제1항에 있어서,상기 회전판을 제1몸체의 일 방향을 따라 이동시키는 이송부를 더 포함하는 연마장치
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제7항에 있어서,상기 제1몸체의 상부에 배치되고, 상기 이송부를 지지하는 제2몸체를 더 포함하는 연마장치
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제8항에 있어서,상기 이송부는,상기 제2몸체에 배치되고, 상기 제1몸체의 일 방향을 따라 연장되는 안내레일; 및상기 구동부에 배치되고, 상기 구동부를 이동시키는 안내레일을 따라 이동시키도록 구성되는 선형모터;를 포함하는 연마장치
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제1항에 있어서,연마대상물에 가해지는 압력을 조절하여 연마대상물의 연마두께를 조절할 수 있도록, 상기 연마패드를 연마대상물의 두께 방향으로 이동시키는 제2몸체를 더 포함하는 연마장치
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