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하나의 기판 층 및 상기 기판 층 상에 형성된 유전체 층으로 이루어지는 반사형 컬러필터로서, 광 반사가 가능한 기판 층; 및상기 기판 층 상에 형성되는 유전체 층을 포함하고,상기 유전체 층은,제1 방향으로 연장되는 제1 구조물과, 상기 제1 구조물과 교차하고 제2 방향으로 연장되는 제2 구조물로 구성되는 복수 개의 유전체 유닛을 포함하고,복수 개의 상기 유전체 유닛은 상기 기판 상에 서로 이격되게 배치되고,상기 유전체 층의 유전체 유닛은 비정질 실리콘으로 이루어지고,상기 제1 구조물의 길이와 폭, 상기 제2 구조물의 길이와 폭 및 상기 제1 방향의 각도에 따라 각각의 상기 유전체 유닛이 구현하는 색상은 다르게 설정될 수 있는 유전체 기반 반사형 컬러필터
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제1 항에 있어서,상기 제1 구조물과 상기 제2 구조물이 서로 교차하는 교차부를 중심으로 상기 제1 구조물은 대칭을 이루는 유전체 기반 반사형 컬러필터
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제2 항에 있어서,상기 교차부를 중심으로 상기 제2 구조물은 대칭을 이루는 유전체 기반 반사형 컬러필터
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제1 항에 있어서,상기 제1 구조물은 직사각형 형상의 평면을 갖는 유전체 기반 반사형 컬러필터
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제4 항에 있어서,상기 제2 구조물은 직사각형 형상의 평면을 갖는 유전체 기반 반사형 컬러필터
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제1 항에 있어서,상기 제1 구조물과 상기 제2 구조물은, 직육면체 형상으로 형성되고 동일한 높이를 갖는유전체 기반 반사형 컬러필터
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제6 항에 있어서,상기 제1 구조물과 상기 제2 구조물의 높이는 200nm인 유전체 기반 반사형 컬러필터
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제1 항에 있어서,상기 유전체 유닛은 '+'자 형상의 평면을 갖는 유전체 기반 반사형 컬러필터
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제1 항에 있어서,상기 제1 방향과 상기 제2 방향은 서로 수직인 유전체 기반 반사형 컬러필터
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제9 항에 있어서,상기 제1 구조물 및 상기 제2 구조물의 길이는 60nm 내지 220nm이고, 상기 제1 구조물 및 상기 제2 구조물의 폭은 40nm 내지 120nm이고,상기 제1 구조물과 상기 제2 구조물의 평면 상의 중심은 서로 일치하는 유전체 기반 반사형 컬러필터
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11
제1 항에 있어서,복수 개의 상기 유전체 유닛 중에서 적어도 일부는 상기 제1 방향이 다른 일부와 다르게 형성되는 유전체 기반 반사형 컬러필터
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제1 항에 있어서,복수 개의 상기 유전체 유닛 중에서 적어도 일부는 상기 제1 방향이 동일하게 형성되는 유전체 기반 반사형 컬러필터
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13
제1 항에 있어서,상기 제1 방향은 입사되는 빛의 편광된 방향과 소정의 각을 형성하고,상기 제2 방향은 상기 제1 방향과 수직을 이루는 유전체 기반 반사형 컬러필터
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제1 항에 있어서,상기 기판 층은 이산화규소로 이루어지는 유전체 기반 반사형 컬러필터
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하나의 기판 층 및 상기 기판 층 상에 형성된 유전체 층으로 이루어지는 반사형 컬러필터의 제조 방법으로서,기판 층을 준비하는 단계;상기 기판 층에 유전체 층을 적층하는 단계;상기 유전체 층에 포토레지스트를 적층하는 단계;상기 포토레지스트에 제1 방향으로 연장되는 제1 구조물과, 상기 제1 구조물과 교차하고 제2 방향으로 연장되는 제2 구조물로 구성되는 복수 개의 유전체 유닛을 포함하는 패턴을 형성하는 단계;상기 패턴에 필름 층을 증착하는 단계;리프트 오프를 통해 상기 패턴에 대응되는 필름을 제외한 나머지 필름과 상기 포토레지스트를 제거하는 단계; 및상기 패턴에 대응되는 상기 유전체 층을 제외한 부분을 식각하는 단계를 포함하고,상기 유전체 층의 유전체 유닛은 비정질 실리콘으로 이루어지고,상기 제1 구조물의 길이와 폭, 상기 제2 구조물의 길이와 폭 및 상기 제1 방향의 각도에 따라 각각의 상기 유전체 유닛이 구현하는 색상은 다르게 설정될 수 있는 유전체 기반 반사형 컬러필터의 제조 방법
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제15 항에 있어서,상기 기판 층은 이산화규소로 이루어진 유전체 기반 반사형 컬러필터의 제조 방법
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제16 항에 있어서,상기 비정질 실리콘은 PE-CVD 공정에 의해 상기 기판 층에 증착되는 유전체 기반 반사형 컬러필터의 제조 방법
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제15 항에 있어서,상기 제1 방향과 상기 제2 방향은 수직이고,상기 제1 구조물과 상기 제2 구조물은 평면 상 직사각형 형상을 갖는 유전체 기반 반사형 컬러필터의 제조 방법
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제15 항에 있어서,상기 패턴은 E빔 리소그래피에 의해 형성되고,상기 필름은 크롬으로 이루어지는 유전체 기반 반사형 컬러필터의 제조 방법
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제1 항 내지 제14 항 중 어느 한 항에 따른 유전체 기반 반사형 컬러필터 또는 제15 항 내지 제19 항 중 어느 한 항에 따른 제조 방법에 의해 제조된 유전체 기반 반사형 컬퍼필터를 포함하는 디스플레이 장치
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