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빛을 조사하는 광원부;상기 광원부에서 제공되는 빛을 집광하는 대물렌즈부;상기 대물렌즈부의 대물렌즈의 초점과 동일 선상에 형성되는 초점을 가지며, 상기 대물렌즈에서 집광된 빛을 회절 한계 이하로 집속하는 하이퍼렌즈를 포함하는 하이퍼렌즈부;상기 하이퍼렌즈부에서 집속된 빛이 조사되고, 샘플이 놓여지며, 스캐닝을 위해 평면 방향으로 샘플을 이동시킬 수 있는 스테이지;집속된 빛이 상기 샘플에 조사되어 발생되는 신호를 검출하는 검출부; 및상기 스테이지를 제어하여 상기 샘플의 위치를 제어하고, 상기 검출부로부터 검출된 신호를 바탕으로 상기 샘플의 이미지를 구현하는 제어부를 포함하고,상기 하이퍼렌즈부는 상기 대물렌즈부에 고정되어 있는 하이퍼렌즈를 이용한 초고해상도 스캐닝 현미경
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제1 항에 있어서,상기 하이퍼렌즈부는,상기 대물렌즈부에 고정되는 기판; 및상기 기판에 형성되는 하이퍼렌즈를 포함하고,상기 하이퍼렌즈는,복수의 유전체층들; 및상기 유전체층과 교대로 적층되는 복수의 금속층들을 포함하는하이퍼렌즈를 이용한 초고해상도 스캐닝 현미경
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제2 항에 있어서,상기 유전체층은 실리콘이고, 상기 금속층은 은이고,상기 광원부는 500~600nm 파장의 광을 조사하는 하이퍼렌즈를 이용한 초고해상도 스캐닝 현미경
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제2 항에 있어서,상기 유전체층은 티타늄옥사이드이고, 상기 금속층은 은이고,상기 광원부는 400~600nm 파장의 광을 조사하는 하이퍼렌즈를 이용한 초고해상도 스캐닝 현미경
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제2 항에 있어서,상기 유전체층은 산화알루미늄 또는 티타늄디옥사이드이고, 상기 금속층은 은이고,상기 광원부는 자외선 파장 대역의 광을 조사하는 하이퍼렌즈를 이용한 초고해상도 스캐닝 현미경
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제2 항에 있어서,상기 유전체층은 게르마늄이고, 상기 금속층은 금 또는 은이고,상기 광원부는 근적외선 파장 대역의 광을 조사하는 하이퍼렌즈를 이용한 초고해상도 스캐닝 현미경
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제1 항에 있어서,상기 광원부는 편광되지 않은 광을 조사하는 하이퍼렌즈를 이용한 초고해상도 스캐닝 현미경
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제1 항에 있어서,일측에 상기 대물렌즈부의 후단부가 고정되고, 타측에 상기 하이퍼렌즈부가 고정되며, 상기 대물렌즈에서 방출되는 빛이 상기 하이퍼렌즈로 제공되도록 적어도 일부가 투명하게 형성되는 고정 지그를 포함하는 하이퍼렌즈를 이용한 초고해상도 스캐닝 현미경
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제1 항에 있어서,상기 하이퍼렌즈는 빛이 입사되는 전방을 향해 볼록하게 만곡 형성되어 있는 하이퍼렌즈를 이용한 초고해상도 스캐닝 현미경
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제1 항에 있어서,상기 스테이지는 상기 샘플로 빛이 조사되고, 상기 샘플에서 발생된 신호가 통과되도록 적어도 일부가 투명하게 형성되는 하이퍼렌즈를 이용한 초고해상도 스캐닝 현미경
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제1 항에 있어서,상기 하이퍼렌즈부와 상기 대물렌즈부는 상기 샘플에서 발생된 신호를 순차적으로 통과시켜 상기 검출부로 제공하는 하이퍼렌즈를 이용한 초고해상도 스캐닝 현미경
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제12 항에 있어서,상기 광원부와 상기 대물렌즈부의 사이에는 빛을 선택적으로 통과시키거나 반사하는 다이크로익 미러가 제공되고,상기 다이크로익 미러는, 상기 광원부로부터 조사되는 빛은 반사시켜 상기 대물렌즈부로 제공하고,상기 대물렌즈부로부터 제공되는 상기 샘플의 신호는 통과시켜 상기 검출부로 제공하는 하이퍼렌즈를 이용한 초고해상도 스캐닝 현미경
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제1 항에 있어서,상기 샘플에서 발생된 신호를 전달받아 집광하는 추가의 대물렌즈부를 더 포함하고,상기 검출부는 상기 추가의 대물렌즈부를 통과한 신호를 전달받아 검출하는 하이퍼렌즈를 이용한 초고해상도 스캐닝 현미경
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제14 항에 있어서,상기 추가의 대물렌즈부와 상기 검출부 사이에는 선택적으로 상기 신호를 통과시키는 다이크로익 미러가 제공되는 하이퍼렌즈를 이용한 초고해상도 스캐닝 현미경
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제14 항에 있어서,상기 추가의 대물렌즈부와 상기 검출부는 상기 하이퍼렌즈부와 상기 대물렌즈부와 상기 스테이지를 기준으로 반대 방향에 배치되는 하이퍼렌즈를 이용한 초고해상도 스캐닝 현미경
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제14 항에 있어서,상기 하이퍼렌즈부를 통해 상기 샘플로 조사되는 광의 파장과, 상기 샘플에서 발생되는 신호의 파장은 서로 다른 범위를 가지며,상기 하이퍼렌즈부는 상기 샘플에서 발생되는 신호의 파장을 통과시키지 못하는 하이퍼렌즈를 이용한 초고해상도 스캐닝 현미경
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빛을 조사하는 광원부;입사되는 빛을 선택적으로 반사 또는 투광시키는 광 처리부;상기 광 처리부에서 제공되는 빛 또는 샘플로부터 발생되는 형광 신호를 집광하는 대물렌즈부;상기 대물렌즈부에서 집광되는 빛 또는 상기 샘플로부터 발생되는 형광 신호를 회절 한계 이하로 집광하거나 전달하는 하이퍼렌즈부;상기 샘플이 놓여지며 스캐닝을 위해 평면 방향으로 상기 샘플의 위치를 조절할 수 있는 스테이지;전달되는 형광 신호를 검출하는 검출부; 및상기 스테이지를 제어하여 상기 샘플의 위치를 제어하고, 상기 검출부로부터 검출된 신호를 바탕으로 상기 샘플의 이미지를 구현하는 제어부를 포함하고,상기 하이퍼렌즈부는 상기 대물렌즈부에 고정되어 있는 하이퍼렌즈를 이용한 초고해상도 스캐닝 현미경
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빛을 조사하는 광원부;상기 광원부에서 제공되는 빛을 집광하는 대물렌즈부;상기 대물렌즈부에서 집광되는 빛을 회절 한계 이하로 집광하여 샘플로 조사하는 하이퍼렌즈부;상기 샘플이 놓여지며 스캐닝을 위해 평면 방향으로 상기 샘플의 위치를 조절할 수 있는 스테이지;상기 샘플로부터 발생되는 신호를 전달받아 집광하는 추가의 대물렌즈부;상기 추가의 대물렌즈부를 통해 전달되는 신호를 선택적으로 통과시키는 광 처리부;상기 광 처리부로부터 전달되는 형광 신호를 검출하는 검출부; 및상기 스테이지를 제어하여 상기 샘플의 위치를 제어하고, 상기 검출부로부터 검출된 신호를 바탕으로 상기 샘플의 이미지를 구현하는 제어부를 포함하는 하이퍼렌즈를 이용한 초고해상도 스캐닝 현미경
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