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세라믹 박막의 제조방법 및 그 제조장치

  • 기술번호 : KST2019010248
  • 담당센터 : 서울서부기술혁신센터
  • 전화번호 : 02-6124-6930
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 세라믹 박막의 제조방법 및 그 제조장치에 관한 것이다. 본 발명의 세라믹 박막의 제조방법은 매트릭스 전구체 함유용액(A)과 1종 이상의 준금속 및 1종 이상의 전이후금속 함유용액(B)으로 이루어진 주석 산화물이 함유된 도핑용액을 인라인(in-line) 믹서에 의해 혼합 직후 기화시켜, 반응 챔버 내 불균일한 반응에 의한 입자생성을 최소화하고, 특히, 3-웨이 밸브를 통해 비활성기체를 주기적으로 공급하여 내부 생성된 입자를 제거함으로써, 발열 균일성을 확보하여 발열 성능 및 열적 내구성이 우수하여 최대 온도가 종래보다 향상된 저전력 고열의 세라믹 박막을 제공할 수 있다.
Int. CL C23C 16/455 (2006.01.01) C23C 16/448 (2006.01.01) C23C 16/40 (2006.01.01) C23C 16/52 (2018.01.01)
CPC C23C 16/45512(2013.01) C23C 16/45512(2013.01) C23C 16/45512(2013.01) C23C 16/45512(2013.01)
출원번호/일자 1020170173850 (2017.12.18)
출원인 한국세라믹기술원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0072786 (2019.06.26) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2018.01.04)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 대한민국 경상남도 진주시 소호로 ***

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 구은회 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인세원 대한민국 서울특별시 서초구 사임당로 **, **층 (서초동, 신영빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국세라믹기술원 경상남도 진주시 소호로 ***
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.12.18 수리 (Accepted) 1-1-2017-1256170-48
2 직권정정안내서
Notification of Ex officio Correction
2018.01.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2018-0000045-62
3 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2018.01.04 수리 (Accepted) 1-1-2018-0011688-63
4 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.08.08 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
5 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.10.12 수리 (Accepted) 9-1-2018-0054549-20
6 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.08.16 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0591020-14
7 [지정기간연장]기간연장(단축, 경과구제)신청서
[Designated Period Extension] Application of Period Extension(Reduction, Progress relief)
2019.10.16 수리 (Accepted) 1-1-2019-1053699-07
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.11.15 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-1174008-38
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.11.15 수리 (Accepted) 1-1-2019-1174007-93
10 등록결정서
Decision to grant
2020.02.26 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0148366-40
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
1) 매트릭스 전구체 함유용액(A)과 1종 이상의 준금속 및 1종 이상의 전이후금속 함유용액(B)으로 이루어진 주석 산화물이 함유된 도핑용액의 준비공정, 2) 상기 도핑용액이 증기전달시스템 내부에 배치된 인라인(in-line) 믹서에 의해 혼합 직후의 액상이 기화되는 공정 및 3) 상기 기화된 기상이 화학기상증착 챔버로 전달되어 기판상에 세라믹 발열층이 증착되는 공정으로 수행되는 세라믹 박막의 제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 2) 공정에서 혼합 직후의 액상이 통과되는 지점에 3-웨이 밸브를 통해 비활성기체가 주기적으로 공급되도록 설계되는 것을 특징으로 하는 세라믹 박막의 제조방법
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제2항에 있어서, 상기 2) 공정에서 혼합 직후의 액상 및 3-웨이 밸브를 통해 공급된 비활성기체가 교차적으로 화학기상증착 챔버로 전달되는 것을 특징으로 하는 세라믹 박막의 제조방법
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삭제
5 5
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6 6
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7 7
삭제
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 한국세라믹기술원 에너지기술개발사업 400cm2의 면적에서 효율 7% 이상을 갖는 유기 태양전지 서브 모듈 및 이를 위한 소재, 장비, 생산 공정 원천 기술 개발