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전압의 인가에 따라 정전기력을 발생시키는 척킹전극이 내부에 매설되고 상기 정전기력으로 상부에 놓인 외부의 매체를 표면에 흡착 고정하는 정전척용 세라믹 본체에 있어서,상기 정전척용 세라믹 본체는 10~300㎛ 범위의 두께를 갖고, 1014~1016 Ω·㎝ 범위의 체적저항을 가지면서, 1650℃ 이상의 범위의 온도에서 소결체를 이루는 제1세라믹스층과;상기 제1세라믹스층의 하면에 밀착하도록 적층되되 상기 척킹전극이 상면에 배치되고, 상기 제1세라믹스층보다 더 낮은 체적저항을 가지면서, 상기 제1세라믹스층보다 더 낮은 1200~1580℃ 범위의 온도에서 소결체를 이루는 제2세라믹스층을 포함하고,상기 제1세라믹스층은 순수 알루미나(Al2O3) 또는 총중량 대비 최대 4wt% 이하의 산화물 첨가제가 첨가된 알루미나를 포함한 조성으로 구성되고, 상기 제2세라믹스층은 알루미나와, Si, 희토류 원소, 원소주기율표 상의 2족, 3족 및 4족 원소의 산화물로 이루어지는 군에서 선택된 하나 이상의 산화물 첨가제를 포함한 조성으로 구성되는 정전척용 세라믹 본체
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제1항에 있어서,상기 산화물 첨가제는 Si, 희토류 원소, 원소주기율표 상의 2족, 3족 및 4족 원소의 산화물 및 이의 혼합물로 이루어지는 군에서 선택된 하나 이상인 정전척용 세라믹 본체
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제1항에 있어서,상기 산화물 첨가제는 SiO2, CaCO3, Y2O3 및 MgO 중에서 선택된 하나 이상인 정전척용 세라믹 본체
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제1항에 있어서,상기 제2세라믹스층의 조성은 총중량대비 92~96wt%의 Al2O3와, 3~7wt%의 SiO2, 0
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전압의 인가에 따라 정전기력을 발생시키는 금속의 척킹전극이 내부에 매설되고 상기 정전기력으로 상부에 놓인 외부의 매체를 표면에 흡착 고정하는 정전척용 세라믹 본체의 제조방법에 있어서,제1항의 상기 제1세라믹스층에 따른 제1세라믹스 시트와 제1항의 상기 제2세라믹스층에 따른 제2세라믹스 시트를 각각 형성하는 단계와;상기 제2세라믹스 시트의 상면에 상기 금속의 척킹전극을 부착하는 단계와;상기 상면에 금속의 척킹전극이 부착된 상기 제2세라믹스 시트 상에 상기 제1세라믹스 시트를 적층하여 내부에 상기 척킹전극이 매립된 세라믹 벌크를 형성하는 단계와;상기 척킹전극이 매립된 세라믹 벌크를 상기 1200~1580℃ 범위에서 동시소성하여 소결하는 단계를 포함하는 정전척용 세라믹 본체의 제조방법
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제9항에 있어서,상기 금속은 Mo, W, MoMn, Pd 및 Ag/Pd 합금으로 이루어진 군에서 하나 이상 선택되는 정전척용 세라믹 본체의 제조방법
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