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기판 상에 OH-기를 갖는 활성 물질을 제공하는 단게;상기 활성 물질이 제공된 상기 기판 상에 가이드 패턴을 형성하는 단계;상기 가이드 패턴을 갖는 상기 기판 상에 블록공중합체를 포함하는 소스 용액을 제공하는 단계; 및 상기 소스 용액이 제공된 상기 기판을 열처리하는 단계를 포함하되, 상기 소스 용액이 열처리되어, 상기 가이드 패턴 사이의 상기 기판 상의 상기 활성 물질 상에 자기조립 패턴이 제공되는 것을 포함하는 자기조립 패턴의 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 블록공중합체의 종류에 따라, 상기 자기조립 패턴의 형상이 제어되는 것을 포함하는 자기조립 패턴의 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 가이드 패턴이 형성된 기판을 준비하는 단계는, 베이스 패턴이 형성된 베이스 기판을 준비하는 단계; 상기 베이스 패턴 상에 기능성 물질을 제공하는 단계; 및 상기 기능성 물질이 제공된 상기 베이스 패턴을 상기 기판과 접촉시켜, 상기 기판으로 상기 기능성 물질을 전사하는 방법으로, 상기 가이드 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 자기조립 패턴의 제조 방법
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제3 항에 있어서, 상기 가이드 패턴의 형상은, 상기 베이스 패턴의 형상과 동일한 것을 포함하는 자기조립 패턴의 제조 방법
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제3 항에 있어서,상기 가이드 패턴은, 상기 기능성 물질을 포함하는 자기조립 패턴의 제조 방법
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제5 항에 있어서,상기 기능성 물질은, 제1 기능성 물질 및 상기 제1 기능성 물질과 다른 특성을 갖는 제2 기능성 물질을 포함하되, 상기 제1 및 제2 기능성 물질은, 상기 베이스 패턴 상에 순차적으로 제공되는 것을 포함하는 자기조립 패턴의 제조 방법
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가이드 패턴을 갖는 기판을 준비하는 단계;상기 가이드 패턴을 갖는 상기 기판 상에 블록공중합체를 포함하는 소스 용액을 제공하는 단계; 및 상기 소스 용액이 제공된 상기 기판을 열처리하여, 상기 가이드 패턴 사이의 상기 기판 상에 자기조립 패턴을 형성하는 단계를 포함하되, 상기 가이드 패턴을 갖는 상기 기판을 준비하는 단계는, 베이스 패턴을 갖는 베이스 기판을 준비하는 단계;상기 베이스 패턴의 제1 영역을 노출시키고, 상기 제1 영역을 제외한 나머지 영역을 덮는 제1 쉐도우 마스크를 상기 베이스 기판 상에 배치하는 단계;노출된 상기 제1 영역 상에 제1 기능성 물질을 형성하는 단계;상기 제1 쉐도우 마스크를 제거하는 단계;상기 제1 영역과 다른 상기 베이스 패턴의 제2 영역을 노출시키고, 상기 제2 영역을 제외한 나머지 영역을 덮는 제2 쉐도우 마스크를 상기 베이스 기판 상에 배치하는 단계;노출된 상기 제2 영역 상에 제2 기능성 물질을 형성하는 단계; 및상기 제1 기능성 물질 및 상기 제2 기능성 물질을 상기 기판 상에 전사하여, 제1 기능성 물질 및 제2 기능성 물질을 갖는 상기 가이드 패턴을 상기 기판 상에 형성하는 단계를 포함하는 자기조립 패턴의 제조 방법
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제7 항에 있어서, 상기 자기조립 패턴의 형상은, line 형상, cylinder 형상, hole 형상, dot 형상, 및 ring 형상 중 적어도 어느 하나를 포함하는 자기조립 패턴의 제조 방법
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제7 항에 있어서, 상기 제2 쉐도우 마스크는, 두께가 서로 다른 제1 부분, 및 제2 부분을 포함하는 자기조립 패턴의 제조 방법
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제9 항에 있어서, 상기 제1 부분은 상기 제1 영역을 덮고,상기 제2 부분은 상기 제1 영역을 제외한 나머지 부분을 덮고,상기 제1 부분의 두께는 상기 제2 부분의 두께보다 얇은 것을 포함하는 자기조립 패턴의 제조 방법
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제1 항 또는 제 7항 중 어느 한 항에 따른 자기조립 패턴의 제조 방법에 따라, 상기 자기조립 패턴을 상기 가이드 패턴 사이의 상기 기판 상에 형성하는 단계; 및상기 자기조립 패턴 및 상기 가이드 패턴 상에 배치되고, 상기 자기조립 패턴 및 상기 가이드 패턴 중 어느 하나와 접촉되도록 이동 가능한 제2 전극을 제공하는 단계를 포함하되, 상기 기판이 제1 전극으로 정의되고, 상기 가이드 패턴은 상변화 물질을 포함하여, 상기 제1 전극, 상기 가이드 패턴, 및 상기 제2 전극은 PRAM을 구성하고,상기 자기조립 패턴은 저항 변화 물질을 포함하여, 상기 제1 전극, 상기 자기조립 패턴 및 상기 제2 전극은 RRAM을 구성하는 이종의 메모리 소자가 집적된 메모리 어레이의 제조 방법
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제11 항에 있어서, 상기 PRAM 및 상기 RRAM은 하나의 상기 기판 상에 동시에 제공되는 것을 포함하는 메모리 어레이의 제조 방법
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