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제1 폐곡선 및 상기 제1 폐곡선 내의 제2 폐곡선을 따라 형성되는 제1 및 제2 도전성 패턴들, 상기 제1 및 제2 폐곡선들을 따라 형성되고 상기 제1 및 제2 도전성 패턴들과 분리되는 제3 및 제4 도전성 패턴들, 및 상기 제2 및 제3 도전성 패턴들을 연결하는 제1 도전성 연결 패턴을 포함하는 제1 도전성 레이어;상기 제1 도전성 레이어의 상부 또는 하부에 배치되고, 상기 제1 및 제2 폐곡선들과 중첩하는 제3 및 제4 폐곡선들을 따라 형성되는 제5 및 제6 도전성 패턴들, 상기 제3 및 제4 폐곡선들을 따라 형성되고 상기 제5 및 제6 도전성 패턴들과 분리되는 제7 및 제8 도전성 패턴들, 및 상기 제6 및 제8 도전성 패턴들을 연결하는 제2 도전성 연결 패턴을 포함하는 제2 도전성 레이어;상기 제1 및 제2 도전성 레이어들 사이에 배치되고, 상기 제5 및 제7 도전성 패턴들을 연결하도록 배치되는 우회 도전성 패턴을 포함하는 제3 도전성 레이어;상기 제1 및 제8 도전성 패턴들을 연결하는 제1 비아, 상기 제3 및 제6 도전성 패턴들을 연결하는 제2 비아, 상기 제2 및 제7 도전성 패턴들을 연결하는 제3 비아, 및 상기 제4 및 제5 도전성 패턴들을 연결하는 제4 비아를 포함하는 복수의 이중 레이어 비아들; 및상기 제7 도전성 패턴 및 상기 우회 도전성 패턴을 연결하는 제5 비아 및 상기 우회 도전성 패턴 및 상기 제5 도전성 패턴을 연결하는 제6 비아를 포함하는 복수의 단일 레이어 비아들을 포함하는 3차원 인덕터 구조물
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제 1 항에 있어서,상기 제1 도전성 패턴과 연결되는 제1 단자; 및상기 제4 도전성 패턴과 연결되는 제2 단자를 더 포함하고,상기 제1 단자에서 시작하여 상기 제2 단자에서 종료되는 제1 신호 경로는, 상기 제2 단자에서 시작하여 상기 제1 단자에서 종료되는 제2 신호 경로와 대칭적인 것을 특징으로 하는 3차원 인덕터 구조물
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제 2 항에 있어서,상기 제1 신호 경로는 상기 제1 도전성 패턴, 상기 제1 비아, 상기 제8 도전성 패턴, 상기 제2 도전성 연결 패턴, 상기 제6 도전성 패턴, 상기 제2 비아, 상기 제3 도전성 패턴, 상기 제1 도전성 연결 패턴, 상기 제2 도전성 패턴, 상기 제3 비아, 상기 제7 도전성 패턴, 상기 제5 비아, 상기 우회 도전성 패턴, 상기 제6 비아, 상기 제5 도전성 패턴, 상기 제4 비아 및 상기 제4 도전성 패턴의 순서로 형성되며,상기 제2 신호 경로는 상기 제4 도전성 패턴, 상기 제4 비아, 상기 제5 도전성 패턴, 상기 제6 비아, 상기 우회 도전성 패턴, 상기 제5 비아, 상기 제7 도전성 패턴, 상기 제3 비아, 상기 제2 도전성 패턴, 상기 제1 도전성 연결 패턴, 상기 제3 도전성 패턴, 상기 제2 비아, 상기 제6 도전성 패턴, 상기 제2 도전성 연결 패턴, 상기 제8 도전성 패턴, 상기 제1 비아 및 상기 제1 도전성 패턴의 순서로 형성되는 것을 특징으로 하는 3차원 인덕터 구조물
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서로 만나지 않고 순차적으로 포함되도록 배치되는 제1 내지 제N(N은 3 이상의 자연수) 폐곡선들을 따라 형성되는 제1 내지 제N 도전성 패턴들, 상기 제1 내지 제N 폐곡선들을 따라 형성되고 상기 제1 내지 제N 도전성 패턴들과 분리되는 제(N+1) 내지 제2N 도전성 패턴들, 및 상기 제1 내지 제2N 도전성 패턴들 중 두 개를 연결하는 N/2개 또는 (N-1)/2개의 제1 도전성 연결 패턴을 포함하는 제1 도전성 레이어;상기 제1 도전성 레이어의 상부 또는 하부에 배치되고, 상기 제1 내지 제N 폐곡선들과 중첩하는 제(N+1) 내지 제2N 폐곡선들을 따라 형성되는 제(2N+1) 내지 제3N 도전성 패턴들, 상기 제(N+1) 내지 제2N 폐곡선들을 따라 형성되고 상기 제(2N+1) 내지 제3N 도전성 패턴들과 분리되는 제(3N+1) 내지 제4N 도전성 패턴들, 및 상기 제(2N+1) 내지 제4N 도전성 패턴들 중 두 개를 연결하는 N/2개 또는 (N+1)/2개의 제2 도전성 연결 패턴을 포함하는 제2 도전성 레이어;상기 제1 및 제2 도전성 레이어들 사이에 배치되고, 상기 제1 내지 제2N 도전성 패턴들 중 두 개를 연결하거나 상기 제(2N+1) 내지 제4N 도전성 패턴들 중 두 개를 연결하도록 배치되는 (N-1)개의 우회 도전성 패턴을 포함하는 제3 도전성 레이어;상기 제1 내지 제2N 도전성 패턴들 중 하나와 상기 제(2N+1) 내지 제4N 도전성 패턴들 중 하나를 연결하는 2N개의 제1 비아들을 포함하는 복수의 이중 레이어 비아들; 및상기 제1 내지 제4N 도전성 패턴들 중 하나와 (N-1)개의 상기 우회 도전성 패턴 중 하나를 연결하는 2(N-1)개의 제2 비아들을 포함하는 복수의 단일 레이어 비아들을 포함하는 3차원 인덕터 구조물
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제 4 항에 있어서, 상기 N이 짝수인 경우에,상기 제1 도전성 레이어는 N/2개의 상기 제1 도전성 연결 패턴을 포함하고,상기 제2 도전성 레이어는 N/2개의 상기 제2 도전성 연결 패턴을 포함하며,상기 제N 도전성 패턴 및 상기 제(N+1) 도전성 패턴은 N/2개의 상기 제1 도전성 연결 패턴 중 하나와 연결되어, 평면 상에서 폐곡선의 일부가 개방된 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 3차원 인덕터 구조물
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제 4 항에 있어서, 상기 N이 홀수인 경우에,상기 제1 도전성 레이어는 (N-1)/2개의 상기 제1 도전성 연결 패턴을 포함하고,상기 제2 도전성 레이어는 (N+1)/2개의 상기 제2 도전성 연결 패턴을 포함하며,상기 제3N 도전성 패턴 및 상기 제(3N+1) 도전성 패턴은 (N+1)/2개의 상기 제2 도전성 연결 패턴 중 하나와 연결되어, 평면 상에서 폐곡선의 일부가 개방된 형상을 가지는 것을 특징으로 하는 3차원 인덕터 구조물
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7
서로 만나지 않고 순차적으로 포함되도록 배치되는 제1 내지 제N(N은 2 이상의 자연수) 폐곡선들을 따라 형성되는 제1 내지 제N 도전성 패턴들, 상기 제1 내지 제N 폐곡선들을 따라 형성되고 상기 제1 내지 제N 도전성 패턴들과 분리되는 제(N+1) 내지 제2N 도전성 패턴들, 및 상기 제1 내지 제2N 도전성 패턴들 중 두 개를 연결하는 N/2개 또는 (N-1)/2개의 제1 도전성 연결 패턴을 제1 도전성 레이어에 형성하는 단계;상기 제1 내지 제N 폐곡선들과 중첩하는 제(N+1) 내지 제2N 폐곡선들을 따라 형성되는 제(2N+1) 내지 제3N 도전성 패턴들, 상기 제(N+1) 내지 제2N 폐곡선들을 따라 형성되고 상기 제(2N+1) 내지 제3N 도전성 패턴들과 분리되는 제(3N+1) 내지 제4N 도전성 패턴들, 및 상기 제(2N+1) 내지 제4N 도전성 패턴들 중 두 개를 연결하는 N/2개 또는 (N+1)/2개의 제2 도전성 연결 패턴을 상기 제1 도전성 레이어의 상부 또는 하부에 배치되는 제2 도전성 레이어에 형성하는 단계;상기 제1 내지 제2N 도전성 패턴들 중 두 개를 연결하거나 상기 제(2N+1) 내지 제4N 도전성 패턴들 중 두 개를 연결하는 (N-1)개의 우회 도전성 패턴을 상기 제1 및 제2 도전성 레이어들 사이에 배치되는 제3 도전성 레이어에 형성하는 단계;상기 제1 내지 제2N 도전성 패턴들 중 하나와 상기 제(2N+1) 내지 제4N 도전성 패턴들 중 하나를 연결하는 2N개의 제1 비아들을 형성하는 단계; 및상기 제1 내지 제4N 도전성 패턴들 중 하나와 (N-1)개의 상기 우회 도전성 패턴 중 하나를 연결하는 2(N-1)개의 제2 비아들을 형성하는 단계를 포함하는 3차원 인덕터 구조물의 제조 방법
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