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마이크로 소자 전사방법, 이에 의해 제조되는 마이크로 소자 기판 및 마이크로 소자 전사장치

  • 기술번호 : KST2019010607
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 일실시예는 마이크로 소자의 파손 가능성을 낮추고 마이크로 소자의 전사 공정 효율이 개선될 수 있는 마이크로 소자 전사방법, 이에 의해 제조되는 마이크로 소자 기판 및 마이크로 소자 전사장치를 제공한다. 여기서, 마이크로 소자 전사방법은 접착면적 축소단계 및 부착단계를 포함한다. 접착면적 축소단계에서는 마이크로 소자가 제1접착면적으로 접착되는 전사필름을 벤딩하여 마이크로 소자의 일부 접촉면이 전사필름으로부터 떨어져서 마이크로 소자와 상기 전사필름 간의 접착면적이 제1접착면적보다 작은 제2접착면적으로 작아지도록 한다. 부착단계에서는 마이크로 소자가 전사필름에서 분리되면서 타겟기판에 부착된다.
Int. CL H01L 21/52 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01)
CPC H01L 21/52(2013.01) H01L 21/52(2013.01) H01L 21/52(2013.01)
출원번호/일자 1020170177206 (2017.12.21)
출원인 한국기계연구원, 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0075541 (2019.07.01) 문서열기
공고번호/일자 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.12.21)
심사청구항수 10

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대한민국 대전광역시 유성구
2 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 황보윤 대전광역시 유성구
2 윤성욱 대구광역시 수성구
3 김경식 대전광역시 유성구
4 김재현 대전광역시 유성구
5 김광섭 대전광역시 유성구
6 이학주 대전광역시 서구
7 최병익 대전 서구
8 박현성 세종특별자치시 보듬*로 **,
9 김정엽 대전광역시 유성구
10 이승모 충청남도 논
11 장봉균 대전광역시 유성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김태완 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)
2 이재명 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)
3 박진호 대한민국 서울특별시 서초구 남부순환로***길 **, *층(서초동,돔빌딩)(지율특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한국기계연구원 대전광역시 유성구
2 재단법인 파동에너지 극한제어 연구단 대전광역시 유성구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2017.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2017-1277309-34
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2018.04.04 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2018.05.31 수리 (Accepted) 9-1-2018-0024578-07
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2019.06.02 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0393063-88
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)		 2019.07.31 수리 (Accepted) 1-1-2019-0785237-17
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2019.07.31 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0785238-63
7 등록결정서
Decision to grant		 2019.11.07 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0808628-97
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
마이크로 소자가 제1접착면적으로 접착되는 전사필름을 벤딩하여 상기 마이크로 소자의 일부 접촉면이 상기 전사필름으로부터 떨어져서 상기 마이크로 소자와 상기 전사필름 간의 접착면적이 상기 제1접착면적보다 작은 제2접착면적으로 작아지도록 하는 접착면적 축소단계; 그리고 상기 마이크로 소자가 상기 전사필름에서 분리되면서 타겟기판에 부착되는 부착단계를 포함하고, 상기 접착면적 축소단계에서, 상기 전사필름은 상기 마이크로 소자가 부착된 방향으로 오목해지도록 벤딩되어 상기 마이크로 소자와 상기 전사필름의 강성 차이로 인해 상기 마이크로 소자와 상기 전사필름의 접착부위는 내측에서 가장자리 방향으로 떨어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사방법
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제1항에 있어서,상기 접착면적 축소단계에서, 상기 전사필름은 상기 전사필름의 길이방향 및 폭방향 중 적어도 어느 하나의 방향으로 벤딩되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사방법
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6 6
공급되는 전사필름의 길이방향을 따라 서로 이격되어 구비되고, 일면에 마이크로 소자가 제1접착면적으로 접착되는 상기 전사필름을 밀착 지지하는 지지부; 그리고 상기 지지부의 사이에 구비되고, 상기 전사필름의 폭방향으로 연장 형성되며, 상기 전사필름의 타면에 밀착된 상태에서 상기 전사필름의 길이방향을 따라 왕복 이동하면서 상기 전사필름을 가압하여 상기 마이크로 소자가 상기 전사필름에서 분리됨과 동시에 타겟기판에 부착되도록 하는 가압부를 포함하며, 상기 가압부는 상기 전사필름에서 상기 가압부에 의해 가압되는 부분이 상기 마이크로 소자가 부착된 방향으로 볼록해지게 벤딩되도록 하여 상기 마이크로 소자의 일부 접촉면이 상기 전사필름으로부터 떨어져서 상기 마이크로 소자와 상기 전사필름 간의 접착면적이 상기 제1접착면적보다 작은 제2접착면적으로 작아지도록 하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사장치
7 7
제6항에 있어서, 상기 가압부는 상기 전사필름의 길이방향 또는 폭방향으로 연장되도록 회전되며, 상기 가압부가 상기 길이방향으로 연장되는 경우 상기 가압부는 상기 전사필름의 폭방향으로 왕복 이동되고, 상기 가압부가 상기 폭방향으로 연장되는 경우 상기 가압부는 상기 전사필름의 길이방향으로 왕복 이동되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사장치
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공급되는 전사필름의 흐름방향을 기준으로 마이크로 소자가 마련되는 소스기판의 전단에 구비되는 제1지지부; 상기 소스기판의 후단에 구비되고, 상기 전사필름이 상기 소스기판의 상측을 지나도록 상기 제1지지부와 함께 상기 전사필름의 일면을 지지하는 제2지지부; 상기 제1지지부 및 상기 제2지지부의 사이에 구비되고, 상기 전사필름을 상기 소스기판 방향으로 가압하여 상기 마이크로 소자가 상기 전사필름의 일면에 제1접착면적으로 접착되도록 하는 제1가압부; 상기 소스기판의 후단에 마련되는 타겟기판의 전단에 구비되는 제3지지부; 상기 타겟기판의 후단에 구비되고, 일면에 상기 마이크로 소자가 접착된 상기 전사필름이 상기 타겟기판의 상측을 지나도록 상기 제3지지부와 함께 상기 전사필름의 일면을 지지하는 제4지지부; 상기 제3지지부 및 상기 제4지지부의 사이에 구비되고, 상기 전사필름을 상기 타겟기판 방향으로 가압하여 상기 마이크로 소자가 상기 전사필름에서 분리됨과 동시에 타겟기판에 부착되도록 하는 제2가압부; 그리고 상기 제2지지부 및 상기 제3지지부의 사이에 구비되고, 상기 전사필름의 타면을 가압하여 상기 마이크로 소자가 부착된 방향으로 볼록해지게 상기 전사필름이 벤딩되도록 하여 상기 마이크로 소자의 일부 접촉면이 상기 전사필름으로부터 떨어져서 상기 마이크로 소자와 상기 전사필름 간의 접착면적이 상기 제1접착면적보다 작은 제2접착면적으로 작아지도록 하는 제3가압부를 포함하는 마이크로 소자 전사장치
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제8항에 있어서,상기 제2지지부 및 상기 제3지지부는 상기 마이크로 소자가 진입 시에는 상기 마이크로 소자가 걸리지 않도록 하강 이동하고, 상기 마이크로 소자가 통과하면 상기 전사필름의 일면에 밀착되도록 상승 이동하는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사장치
10 10
제9항에 있어서,상기 제2지지부 및 상기 제3지지부의 상승 이동이 완료 시에 상기 제2지지부 및 상기 제3지지부의 최상부는 상기 제3가압부의 하단부보다 높은 위치가 되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사장치
11 11
제9항에 있어서, 상기 제3가압부의 하단부는 상기 제2지지부 및 상기 제3지지부의 상승 이동이 완료 시에 상기 제2지지부 및 상기 제3지지부의 최상부보다 낮은 위치가 되도록 상하 방향으로 이동되는 것을 특징으로 하는 마이크로 소자 전사장치
12 12
공급되는 전사필름의 일면을 밀착 지지하고, 공급되는 캐리어필름에 부착된 마이크로 소자가 상기 전사필름의 타면에 밀착되도록 하여 상기 마이크로 소자가 상기 캐리어필름에서 분리되어 상기 전사필름의 타면에 제1접착면적으로 접착되도록 상기 전사필름을 상기 마이크로 소자 방향으로 가압하는 제1가압부; 상기 전사필름의 공급방향을 따라 상기 제1가압부와 이격되어 구비되고, 상기 전사필름의 일면에 밀착되어 상기 전사필름을 타겟기판 방향으로 가압하여 상기 마이크로 소자가 상기 전사필름에서 분리됨과 동시에 타겟기판에 부착되도록 하는 제2가압부; 그리고 상기 제1가압부 및 상기 제2가압부의 사이에 구비되고, 상기 전사필름의 일면을 가압하여 상기 마이크로 소자가 부착된 방향으로 볼록해지게 상기 전사필름이 벤딩되도록 하여 상기 마이크로 소자의 일부 접촉면이 상기 전사필름으로부터 떨어져서 상기 마이크로 소자와 상기 전사필름 간의 접착면적이 상기 제1접착면적보다 작은 제2접착면적으로 작아지도록 하는 제3가압부를 포함하는 마이크로 소자 전사장치
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공급되는 전사필름의 일면을 밀착 지지하고, 공급되는 캐리어필름에 부착된 마이크로 소자가 상기 전사필름의 타면에 밀착되도록 하여 상기 마이크로 소자가 상기 캐리어필름에서 분리되어 상기 전사필름의 타면에 제1접착면적으로 접착되도록 상기 전사필름을 상기 마이크로 소자 방향으로 가압하는 제1가압부; 상기 전사필름의 공급방향을 따라 상기 제1가압부와 이격되어 구비되고, 상기 전사필름의 타면에 밀착되어 상기 제1가압부와 함께 상기 전사필름을 지지하는 지지부; 그리고 상기 제1가압부 및 상기 지지부의 사이에 구비되고, 상기 전사필름의 타면을 가압하여 상기 마이크로 소자가 부착된 방향으로 볼록해지게 상기 전사필름이 벤딩되도록 하여 상기 마이크로 소자의 일부 접촉면이 상기 전사필름으로부터 떨어져서 상기 마이크로 소자와 상기 전사필름 간의 접착면적이 상기 제1접착면적보다 작은 제2접착면적으로 작아지도록 하며, 상기 마이크로 소자를 타겟기판 방향으로 가압하여 상기 마이크로 소자가 상기 전사필름에서 분리됨과 동시에 상기 타겟기판에 부착되도록 하는 제2가압부를 포함하는 마이크로 소자 전사장치
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1 미래창조과학부 한국기계연구원 미래부-국가연구개발사업(III) 극한물성시스템 기계 융합기술 (1/3)
2 산업통상자원부 (주)루멘스 산업부-국가연구개발사업(IV) (바우처사업) 스마트워치용 마이크로 LED칩 및 어레이 이송용 transfer printing 장비 개발(2/3)
3 미래창조과학부 한국기계연구원 주요사업 나노소재 응용 고성능 유연소자 기술기반 구축사업 (5/5)