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가공물의 표면 경계 및 깊이 측정을 위한 광계측 장치 및 광계측 방법

  • 기술번호 : KST2019010637
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 가공물의 표면 경계 및 깊이 측정을 위한 광계측 장치 및 광계측 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 가공물의 표면에 단차가 발생하는 경계에서 발생하는 광경로차를 이용하여 가공물의 표면 정보를 획득할 수 있는 가공물의 표면 경계 및 깊이 측정을 위한 광계측 장치 및 광계측 방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 가공물의 표면 경계 및 깊이 측정을 위한 광계측 장치 및 방법은 고분해능으로 측정 가능한 간섭신호를 이용하는 기법을 활용함으로써 간섭계와 함께 구성하지 않아도 되고, 기준단을 구성하지 않고도 간섭 신호를 발생시키는 구조를 적용하여 기준단이 없기 때문에 간섭무늬 측정에서 원하지 않는 불필요한 DC 성분이 최소화 또는 이론적으로 발생하지 않으며, 기준단이 없으므로 기준단을 위한 추가적인 광학계 없이 시스템을 간단하게 구현 가능하며, 간섭계에서 필요한 광정렬을 위한 어려움이 없고, 기준단의 역할을 하는 표면이 샘플단의 역할을 하는 샘플과 동일한 재질의 표면이기 때문에 반사율이 유사하고 그로 인한 광간섭의 visibility를 최대화 할 수 있는 장점이 있다.
Int. CL G01J 1/02 (2006.01.01) G01B 11/24 (2006.01.01)
CPC G01J 1/0238(2013.01)G01J 1/0238(2013.01)G01J 1/0238(2013.01)G01J 1/0238(2013.01)
출원번호/일자 1020170178338 (2017.12.22)
출원인 조선대학교산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2019-0076504 (2019.07.02) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2019.07.29)
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 조선대학교산학협력단 대한민국 광주광역시 동구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최은서 광주광역시 동구
2 이승석 광주광역시 북구
3 김주하 광주광역시 동구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 이재량 대한민국 광주광역시 광산구 하남산단*번로 ***, *층(도천동, 광주경제고용진흥원)(가온특허법률사무소)

최종권리자

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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2017-1283672-89
2 [심사청구]심사청구(우선심사신청)서
[Request for Examination] Request for Examination (Request for Preferential Examination)
2019.07.29 수리 (Accepted) 1-1-2019-0778477-04
3 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.03.26 수리 (Accepted) 4-1-2020-5071333-01
4 출원인정보변경(경정)신고서
Notification of change of applicant's information
2020.04.17 수리 (Accepted) 4-1-2020-5088703-88
5 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2020.05.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
6 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2020.06.12 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0130963-01
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2020.09.11 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0631270-63
8 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
2020.11.11 수리 (Accepted) 1-1-2020-1208425-19
9 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2020.11.11 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-1208426-65
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번호 청구항
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기준광을 출력하는 광원부와;상기 광원부에 일 단이 결합되어 상기 광원부에서 출력되는 기준광을 전달하는 제1 광전송부와;상기 제1 광선송부의 타 단에 일 측의 제1 포트가 결합되어 상기 제1 광전송부를 통해 전달되는 기준광을 수신하고, 수신된 기준광을 인접하는 제2 포트로 출력하고, 제2 포트로 입력되는 측정광을 인접하는 제3 포트로 출력하는 광서큘레이터와;상기 광서큘레이터의 제2 포트에 일 단이 결합되어 상기 광서큘레이터에서 출력되는 기준광을 전달하는 제2 광전송부와;상기 제2 광전송부의 타 단에 일 측이 결합되어 상기 제2 광전송부를 통해 전달되는 기준광을 수신하고, 수신된 기준광을 측정대상가공물의 표면으로 출력하며, 상기 측정대상가공물의 표면에서 반사되는 측정광을 수신하여 상기 제2 광전송부로 출력하는 콜리메이션광학계와;상기 콜리메이션광학계를 상기 측정대상가공물의 상측에서 X, Y축으로 이동시키는 이동부와;상기 광서큘레이터의 제3 포트에 일 단에 결합되어 상기 광서큘레이터의 제3 포트에서 출력되는 측정광을 전달하는 제3 광전송부와;상기 제3 광전송부의 타 단에 결합되어 상기 제3 광전송부를 통해 전달되는 측정광을 수신하는 수광부와; 상기 수광부에 수신된 측정광을 처리 및 분석하여 상기 측정대상가공물의 표면 경계 및 깊이 정보를 획득하는 분석부와;상기 광원부 및 상기 이동부의 동작을 제어하는 제어부;를 구비하는 것을 특징으로 하는 가공물의 표면 경계 및 깊이 측정을 위한 광계측 장치
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청구항 제1항의 가공물의 표면 경계 및 깊이 측정을 위한 광계측 장치를 이용한 광계측 방법에 있어서,상기 광원부에서 기준광을 출력하는 광출력단계와;상기 광원부에서 출력된 기준광을 상기 광서큘레이터 및 상기 콜리메이션광학계를 통과시켜 측정대상가공물 표면의 설정된 일 지점으로 조사하는 조사단계와;상기 측정대상가공물의 표면에서 반사되는 측정광을 상기 수광부를 통해 수광하는 수광단계와;상기 이동부를 통해 상기 콜리메이션광학계를 X, Y축으로 순차적으로 이동시키면서 상기 광출력단계 내지 상기 수광단계를 반복하는 반복단계와; 상기 수광부에 수광된 측정광의 경로차에 의해 발생하는 간섭무늬를 상기 분석부를 통해 분석하여 상기 측정대상가공물의 표면 경계 및 깊이 정보를 획득하는 분석단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 가공물의 표면 경계 및 깊이 측정을 위한 광계측 방법
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 애니모션텍 기계산업핵심기술개발사업 피시비/에프피시비용 미세 패터닝을 위한 엘디아이 장비 개발