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도어를 구비한 밀폐된 멸균 챔버; 상기 멸균 챔버와 이웃한 보조 챔버; 및상기 멸균 챔버와 상기 보조 챔버 사이에 배치된 공기펌프;를 구비하고,상기 멸균 챔버는,멸균 챔버의 천장면, 저면, 벽면, 칸막이 선반, 중 어느 하나 이상의 면에 설치된 플라즈마 패널;상기 멸균 챔버에 대해 진공을 형성할 수 있는 진공 배기구;및상기 멸균 챔버에 기체를 주입할 수 있는 기체주입구;를 구비하고,상기 보조 챔버는 오존을 제거하는 필터;를 구비하며,상기 멸균 챔버 내부에 피멸균체를 넣고, 상기 피멸균체는 포장된 피멸균체, 튜브, 또는 의류를 포함하며, 상기 진공 배기구를 통하여 초기 진공으로 멸균 챔버와 피멸균체 내부의 공기를 제거하여 진공화하고,진공 이후 단계별로 일정 압력의 대기 또는 산소를 상기 기체 주입구를 통하여 주입하여 플라즈마를 발생시키고, 멸균 챔버에 주입되는 기체의 압력 증가에 따라서 방전 전압을 연동하여 증가시키고,발생된 플라즈마가 저압의 포장 용기 내부로 압력 차이에 의하여 침투되고, 또는 튜브 또는 의류 내부로도 침투되고,상기 플라즈마로 피멸균체에 대하여 멸균처리 한 다음, 플라즈마 전원을 차단 하고,상기 멸균 챔버와 상기 보조 챔버 사이에 있는 공기펌프를 가동하여 오존을 포함한 기류가 순환되어 상기 보조챔버 내에 설치된 필터에 의하여 오존이 제거되고, 상기 멸균 챔버 내의 잔존 오존농도가 소정의 기준치 이하로 된 후, 상기 멸균 챔버의 도어를 열고 피멸균체를 꺼내도록 하며,보조 챔버 내부에 장착되는 오존 제거 필터는 탄소부직포, 분말 또는 조각형의 활성탄, 분말의 MnO2 중 하나 이상을 포함하는 혼합형의 필터인 것을 특징으로 하는 순수 플라즈마 멸균 시스템
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