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10-150 ㎛ 크기 범위인 각형 티타늄계 분말을 알에프 플라즈마 토치부 내부에 노즐을 통하여 공급하는 단계, 알에프 플라즈마 파워를 조절하여 플라즈마를 발생시킨 후 투입되는 가스의 유량, 속도 및 종류를 조절하는 단계, 알에프 플라즈마 토치부에서 상기 각형 티타늄계 분말을 가열하여 기화 또는 용해시키고 구형화시키는 단계, 칼슘(Ca) 보관통에서 기화된 칼슘 기체에 의해 상기 구형 티타늄계 분말을 탈산하는 단계, 및 상기 탈산처리된 구형 티타늄계 분말을 반응기 챔버 하단에서 수거하는 단계를 포함하는 티타늄계 분말 제조 방법
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제1항에서,상기 알에프 플라즈마 파워를 조절하여 플라즈마를 발생시킨 후 투입되는 가스의 유량, 속도 및 종류를 조절하는 단계는 상기 각형 티타늄계 분말을 분말 공급부에 제공한 후, 상기 분말 공급부로부터 상기 각형 티타늄계 분말을 공급하고, 상기 알에프 플라즈마 파워를 조절하여 플라즈마를 발생시킨 후, 반응기 챔버 내에 불활성 기체 분위기를 형성시키고, 플라즈마 토치 주변부에 투입하는 가스 중 시스 가스는 불활성 기체와 수소 또는 헬륨을 혼합하여 사용하고, 센트랄 가스로 불활성 기체를 사용하고, 캐리어 가스로 불활성 기체를 사용하고, 퀀칭 가스로 불활성 기체를 사용하는 티타늄계 분말 제조 방법
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제2항에서, 상기 알에프 플라즈마 파워를 15 kW 내지 150 kW의 범위로 조절하여 플라즈마를 발생시키는 티타늄계 분말 제조 방법
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제2항에서, 상기 시스 가스는 불활성 기체와 수소 또는 헬륨을 혼합하여 사용하며, 불활성 기체의 양을 10-120 slpm, 수소 또는 헬륨의 양을 10-50 slpm으로 투입하고, 상기 센트랄 가스로 5-40 slpm의 불활성 기체가 사용되고, 상기 캐리어 가스로 5-40 slpm의 불활성 기체가 사용되고, 상기 퀀칭 가스로 0-400 slpm의 불활성 기체가 사용되는 티타늄계 분말 제조 방법
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제1항에서, 상기 알에프 플라즈마 토치의 금속성 노즐의 하단과 알에프를 발생시키는 인덕션 코일 중심 사이의 높이 차는 3 cm 이내인 티타늄계 분말 제조 방법
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제1항에서, 상기 칼슘 보관통에서 기화된 칼슘 기체에 의해 상기 각형 티타늄계 분말을 탈산하는 단계는 반응기 챔버 내부에 고체 칼슘 보관통을 설치하고, 내부에 발생된 플라즈마 열원을 이용하여 고체 칼슘을 기화시킨 다음 아래로 하강하는 티타늄계 용융체 또는 티타늄계 기체가 칼슘 기체와 접촉하도록 하여 상기 티타늄계 분말 내부의 산소를 탈산하여 저산소 농도에서 구형 티타늄 분말이 생성되는 티타늄계 분말 제조 방법
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제1항에서, 상기 티타늄계 분말의 입도를 결정하는 변수는 알에프 플라즈마 파워 및 금속성 노즐과 알에프를 발생시키는 인덕션 코일과의 높이 차로 결정되는 티타늄계 분말 제조 방법
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제1항 내지 제7항 중의 어느 한 항에서,상기 티타늄계 분말은 Ti 또는 Ti64인 티타늄계 분말 제조 방법
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제1항 내지 제7항 중의 어느 한 항에 따른 방법에 의해 제조된, 3D 프린트 용 티타늄계 분말
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노즐을 통해 각형 티타늄계 분말을 공급하는 분말 공급부,알에프 전류를 발생시키는 인덕션 코일, 상기 알에프 전류를 사용하여 플라즈마를 발생시키는 알에프 플라즈마 토치부, 상기 노즐 외벽에 가스를 분사하는 센트랄 가스부, 상기 인덕션 코일 외벽에 투입되는 시스 가스부, 상기 공급된 분말을 이송하는 캐리어 가스부, 상기 알에프 플라즈마 토치부 하단에 투입되는 퀀칭 가스부, 칼슘을 보관하는 칼슘 보관통, 구형 분말을 포집하는 구형 분말 수거부, 기화되어 나노 분말화된 구형 분말을 포집하는 사이클론부, 더욱 미세한 나노 분말된 구형 분말을 포집하는 필터,상기 센트랄 가스부, 시스 가스부, 캐리어 가스부 및 퀀칭 가스부를 통해 투입된 가스를 배출하는 외부관을 포함하는 구형 티타늄 제조용 알에프 플라즈마 연소장치
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제10항에 있어서, 상기 칼슘 보관통이 상기 알에프 플라즈마 토치부에서 25 cm 떨어져 설치되고 플라즈마 반응 시 반응기 챔버 내부의 열로 칼슘이 기화되는 알에프 플라즈마 연소장치
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제10항에서, 상기 알에프 플라즈마 토치의 금속성 노즐의 하단과 알에프를 발생시키는 인덕션 코일 중심 사이의 높이 차가 3 cm 이내인 알에프 플라즈마 연소장치
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