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연마 슬러리 조성물

  • 기술번호 : KST2019010712
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명의 연마 슬러리 조성물은 기존의 화학-기계적 연마 슬러리 조성물에 비해 연마 효율 및 분산 안정성이 우수하고 피연마면의 스크래치를 최소화할 수 있으며, 다양한 종류의 웨이퍼에서 우수한 연마 효율을 달성할 수 있다. 또한 본 발명은 연마보조제로 개질 말레인산 공중합체를 사용함으로써 피연마면의 결함 및 스크래치를 최소화할 수 있어 반도체 웨이퍼 공정용 연마제 및 바이오메디컬, 의약, 화장품 응용분야 등의 생화학, 에너지, 촉매, 구조재료 응용 등의 에너지 환경재료 쪽에 폭넓게 사용될 수 있다.
Int. CL C09G 1/02 (2006.01.01) C09K 3/14 (2006.01.01)
CPC C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01) C09G 1/02(2013.01)
출원번호/일자 1020170178870 (2017.12.22)
출원인 한남대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2005303-0000 (2019.07.24)
공개번호/일자 10-2019-0076798 (2019.07.02) 문서열기
공고번호/일자 (20190730) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 신규
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2017.12.22)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한남대학교 산학협력단 대한민국 대전광역시 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 김운중 대전광역시 서구
2 배지현 대전광역시 동구
3 김병준 대전광역시 중구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 박노춘 대한민국 대전광역시 서구 둔산북로 *** (둔산동, 아너스빌) ****호(PNC국제특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 한남대학교 산학협력단 대전광역시 유성구
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application
2017.12.22 수리 (Accepted) 1-1-2017-1285978-91
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search
2018.02.06 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search
2018.03.27 수리 (Accepted) 9-1-2018-0012521-80
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal
2019.01.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0055939-29
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment
2019.03.22 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2019-0300344-19
6 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견(답변, 소명)서
[Opinion according to the Notification of Reasons for Refusal] Written Opinion(Written Reply, Written Substantiation)
2019.03.22 수리 (Accepted) 1-1-2019-0300345-54
7 등록결정서
Decision to grant
2019.07.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2019-0525277-59
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번호 청구항
1 1
a) 산화알루미늄, 산화규소, 산화지르코늄 및 산화세륨에서 선택되는 어느 하나 또는 둘 이상의 연마제;b) 상기 연마제의 표면에 결합하여 연마제의 분산성을 향상시키는 연마보조제; 및 c) 액체 캐리어를 포함하는 연마 슬러리 조성물에 있어서, 상기 연마 슬러리 조성물은 연마제 1~30중량%, 연마보조제 1~30중량% 및 잔량의 액체 캐리어를 포함하며,상기 연마보조제는 하기 화학식 1의 구조를 가지는 스티렌-말레인산 공중합체 및 하기 화학식 3의 구조를 가지는 스티렌-말레익 무수물 공중합체를 사용하고, 상기 스티렌-말레인산 공중합체 및 스티렌-말레익 무수물 공중합체의 중량비는 60~80:20~40 인 것을 특징으로 하는 연마 슬러리 조성물
2 2
제1항에 있어서,상기 연마제는 산화세륨인 것을 특징으로 하는 연마 슬러리 조성물
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제1항에 있어서,상기 연마 슬러리 조성물은 트리메탄올아민, 트리에탄올아민, 트리메틸암모늄하이드록사이드, 트리에틸암모늄하이드록사이드, 디메틸벤질아민, 에톡시벤질아민, 수산화나트륨 및 수산화칼륨에서 선택되는 하나 이상의 pH 조절제를 추가로 포함하는 것을 특징으로 하는 연마 슬러리 조성물
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 중소기업청 한남대학교 2016년 산학연협력 기술개발사업 연구마을 2차 STI 공정용 고성능 선택비 구현과 세정성이 우수한 이액형의 고순도 CMP 슬러리와 첨가제의 개발 및 사용화