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테라헤르츠 전자기파를 출력하는 테라헤르츠 출력부;샘플이 배치되고, 상기 테라헤르츠 전자기파를 상기 샘플로 진행시키고 상기 샘플로부터 반사되는 테라헤르츠 전자기파를 진행시키는 샘플 접촉 구조체; 및상기 샘플로부터 상기 샘플 접촉 구조체를 통하여 반사된 테라헤르츠 전자기파를 검출하는 테라헤르츠 검출부;를 포함하되,상기 샘플 접촉 구조체는,기판;상기 기판 상에 부착되고, 테라헤르츠 전자기파가 민감하게 반응하도록 그 폭과 길이 및 깊이가 결정된 개구를 포함하는 민감도 강화층; 및 상기 기판의 전면 또는 후면에 배치되고 상기 민감도 강화층과 샘플의 접촉 여부를 감지하는 접촉 감지부를 포함하는 것이고,상기 테라헤르츠 출력부로부터 출력된 상기 테라헤르츠 전자기파는 상기 기판 및 상기 개구를 통하여 상기 샘플로 진행하고, 상기 샘플로부터 반사되는 상기 테라헤르츠 전자기파는 상기 개구 및 상기 기판을 통하여 상기 테라헤르츠 검출부로 진행하는 것인 테라헤르츠 검출 장치
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제1항에 있어서,상기 샘플 접촉 구조체는,상기 기판의 전면 또는 후면에 배치되고 상기 민감도 강화층에 접촉된 샘플을 국소적으로 냉각하는 냉각부를 더 포함하는 것인 테라헤르츠 검출 장치
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제2항에 있어서,상기 냉각부는 펠티어 소자를 포함하는 것인 테라헤르츠 검출 장치
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제2항에 있어서,상기 냉각부는 냉매가 흐르는 관을 포함하는 것인 테라헤르츠 검출 장치
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제1항에 있어서,상기 접촉 감지부는 상기 샘플과 상기 민감도 강화층의 전기적 신호의 변화에 따라서 상기 접촉 여부를 검출하는 접촉식 센서를 포함하는 것인 테라헤르츠 검출 장치
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제1항에 있어서,상기 접촉 감지부는 상기 샘플과 상기 민감도 강화층의 상기 접촉 여부를 광학적으로 검출하는 광학식 센서를 포함하는 것인 테라헤르츠 검출 장치
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제1항에 있어서,상기 기판은 유리 기판을 포함하는 것인 테라헤르츠 검출 장치
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제1항에 있어서,상기 민감도 강화층은 전도성 금속을 포함하는 것인 테라헤르츠 검출 장치
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제1항에 있어서,상기 개구는 미리 지정된 주파수 대역을 가지는 상기 테라헤르츠 전자기파가 민감하게 반응하도록 그 폭과 길이 및 깊이가 결정된 것인 테라헤르츠 검출 장치
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제1항에 있어서,상기 개구는 복수의 슬릿을 포함하는 것인 테라헤르츠 검출 장치
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제1항에 있어서,상기 테라헤르츠 출력부에서 출력되는 상기 테라헤르츠 전자기파를 상기 샘플로 진행시키고, 상기 샘플로부터 상기 샘플 접촉 구조체를 통하여 반사된 테라헤르츠 전자기파를 상기 테라헤르츠 검출부로 진행시키는 광학부를 더 포함하는 테라헤르츠 검출 장치
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제13항에 있어서,상기 광학부는 상기 테라헤르츠 출력부에서 출력되는 상기 테라헤르츠 전자기파 및 상기 샘플로부터 상기 샘플 접촉 구조체를 통하여 반사된 테라헤르츠 전자기파를 집속하는 집속 렌즈를 포함하는 것인 테라헤르츠 검출 장치
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