| 1 |
1
(a) 탄탈륨 전구체 용액, 유기바인더 및 유기용매를 혼합한 혼합용액을 에이징(aging) 처리하는 단계;(b) 상기 에이징 처리된 혼합용액을 기판 상에 코팅시켜 박막을 형성하는 단계;(c) 상기 박막을 산화시키는 단계; 및 (d) 상기 산화된 박막을 질소화 처리하여 기판 상에 질화탄탈륨 박막이 코팅된 광전극을 형성하는 단계;를 포함하는 질화탄탈륨 기반의 광전극의 제조방법으로서,상기 에이징은 40-70 ℃에서 40 내지 80 분 동안 수행되는 것을 특징으로 하는 질화탄탈륨 기반의 광전극의 제조방법
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
삭제
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 (a) 단계 이전에 탄탈륨 전구체 용액에 크롬 전구체, 망간 전구체, 코발트 전구체, 니켈 전구체, 로듐 전구체, 및 몰리브덴 전구체 중에서 선택되는 1종 이상의 전구체를 탄탈륨 전구체 대비 1-10 원자퍼센트로 첨가하는 단계를 더욱 포함하는 것을 특징으로 하는 질화탄탈륨 기반의 광전극의 제조방법
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 (c) 단계는 300-500 ℃에서 수행되는 것을 특징으로 하는 질화탄탈륨 기반의 광전극의 제조방법
|
| 6 |
6
제1항에 있어서,상기 (d) 단계는 700-1000 ℃에서 수행되는 것을 특징으로 하는 질화탄탈륨 기반의 광전극의 제조방법
|
| 7 |
7
제1항에 있어서, 상기 탄탈륨 전구체의 형태는 염화물, 브롬화물, 요오드화물, 질산염, 아질산염, 황산염, 아세트산염, 아황산염, 아세틸아세토네이트염 및 수산화물 중에서 선택되는 1종 이상의 형태인 것을 특징으로 하는 질화탄탈륨 기반의 광전극의 제조방법
|
| 8 |
8
제1항에 있어서,상기 유기바인더는 에틸셀룰로오스, 메틸셀룰로오스, 카르복시셀룰로오스, 니트로셀룰로오스, 메타크릴산에스테르, 아크릴산에스테르, 폴리비닐알콜 및 폴리비닐부티랄 중에서 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 질화탄탈륨 기반의 광전극의 제조방법
|
| 9 |
9
제1항에 있어서,상기 유기용매는 알파-터피놀, 물, 아세톤, N-메틸-2-피롤리돈, N,N'-디메틸포름아미드, N,N'-디에틸포름아미드, 디메틸설폭사이드, N,N'-디메틸아세트아미드, 이소프로필알코올, 메탄올, 에탄올, 부탄올, 2-에톡시에탄올, 2-부톡시에탄올, 2-메톡시프로판올, 테트라하이드로퓨란(THF), 에틸렌글리콜, 피리딘, N-비닐피롤리돈, 메틸에틸케톤(부탄온), 포름산, 에틸아세테이트 및 아크릴로니트릴 중에서 선택되는 1종 이상인 것을 특징으로 하는 질화탄탈륨 기반의 광전극의 제조방법
|
| 10 |
10
제1항에 있어서,상기 기판의 재질은 탄탈륨, 석영, 알루미나 및 티타늄 중에서 선택되는 1종의 재질인 것을 특징으로 하는 질화탄탈륨 기반의 광전극의 제조방법
|
| 11 |
11
제1항에 있어서,상기 질화탄탈륨 박막의 두께는 200-400 nm인 것을 특징으로 하는 질화탄탈륨 기반의 광전극의 제조방법
|
| 12 |
12
제1항에 있어서,상기 질화탄탈륨 입자의 크기는 1-50 nm인 것을 특징으로 하는 질화탄탈륨 기반의 광전극의 제조방법
|
