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자성박막이 형성된 웨이퍼의 일측면에 대하여 자기력선이 수직 또는 평행한 방향으로 진행하도록 자기장을 형성시키는 자기장발생부;상기 웨이퍼의 적어도 일부 영역으로서 상기 자기장발생부에 의하여 형성된 자기장에 의한 영향이 미쳐지는 영역인 측정영역에 대하여, 마이크로파(microwave)를 주사시키는 마이크로파가이드부; 및상기 마이크로파가이드부에 의해 상기 측정영역에 주사되어 반사(reflected) 또는 전도(transmitted)된 파(wave)를 수신하는 감지부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼검사장치
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제 1항에 있어서, 상기 감지부에는, 안테나 또는 픽업 코일(pick up coil)이 포함된 것을 특징으로 하는, 웨이퍼검사장치
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제 1항에 있어서, 상기 웨이퍼의 적어도 일부 부분을 받쳐주는 웨이퍼스테이지; 를 더 포함하고,상기 웨이퍼스테이지는, 상기 웨이퍼 상에서 상기 측정영역의 위치가 변경될 수 있도록 상기 웨이퍼의 위치를 변경시켜줄 수 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼검사장치
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제 1항에 있어서, 상기 웨이퍼 상에서 상기 측정영역의 위치가 변경될 수 있도록, 상기 웨이퍼 상의 임의의 한 점에 대하여 상기 자기장발생부, 상기 마이크로파가이드부 및 상기 감지부 중 적어도 어느 하나의 상대적 위치를 변경시켜주는 위치조정부; 를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼검사장치
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제 1항에 있어서,상기 자기장발생부는;상기 웨이퍼의 일측면에 대하여 자기력선이 수직 또는 평행한 방향으로 진행하도록 유도하는 자성체; 및외부로부터 전기를 공급받아서 상기 자성체로부터 상기 자기력선이 유도되어 자기장을 형성하도록 상기 자성체의 적어도 일부분을 감싸도록 감겨진 코일; 을 포함하되,상기 자성체는, 적어도 일부분이 E 자 형태를 갖추고 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼검사장치
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제 5항에 있어서, 상기 코일은, 외부로부터 DC전기를 공급받아서 DC자기장을 형성시키기 위한 DC코일; 및 외부로부터 AC전기를 공급받아서 AC자기장을 형성시키기 위한 AC코일; 을 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼검사장치
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제 6항에 있어서, 상기 DC코일에 의하여 형성되는 DC자기장의 세기가 상기 AC코일에 의하여 형성되는 상기 AC자기장의 세기보다 더 큰 것을 특징으로 하는 웨이퍼검사장치
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제 1항에 있어서, 상기 마이크로파가이드부는, 상기 자기장발생부에 의하여 상기 웨이퍼 면에 수직인 방향의 자기력선이 투과되는 상기 측정영역에 상기 마이크로파를 주사시키는 제1각형도파로(waveguide)를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼검사장치
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제 1항에 있어서, 상기 마이크로파가이드부는, 상기 자기장발생부에 의하여 상기 웨이퍼 면에 수평인 방향으로 자기력선이 형성되는 상기 측정영역에 상기 마이크로파를 주사시키는 제2각형도파로를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼검사장치
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제 1항에 있어서, 상기 마이크로파가이드부는, 상기 측정영역에 대하여 상기 마이크로파를 주사시키는 코플래너도파로를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼검사장치
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제 1항에 있어서, 상기 마이크로파가이드부는, 상기 자기장발생부에 의하여 상기 웨이퍼 면에 수직인 방향의 자기력선이 투과되는 상기 측정영역에 상기 마이크로파를 주사시키는 제1각형도파로(waveguide); 상기 자기장발생부에 의하여 상기 웨이퍼 면에 수평인 방향으로 자기력선이 형성되는 상기 측정영역에 상기 마이크로파를 주사시키는 제2각형도파로; 및 상기 측정영역에 대하여 상기 마이크로파를 주사시키는 코플래너도파로(coplanar waveguide)를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼검사장치
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제 11항에 있어서, 상기 제1각형도파로 및 상기 코플래너도파로는, 상기 웨이퍼의 일측면에 대하여 일정간격 이격되도록 배치되고, 상기 제2각형도파로는 상기 웨이퍼의 타측면에 대하여 일정간격 이격되도록 배치되어 상기 측정영역에 대하여 상기 마이크로파를 주사시키는 것을 특징으로 하는 웨이퍼검사장치
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제 1항에 있어서, 상기 감지부측으로부터 전기적 신호를 전달받아서 분석하는 신호처리부; 를 더 포함하고,상기 감지부는, 상기 반사 또는 전도된 파를 수신하여 상기 전기적 신호로 변환하고, 상기 신호처리부는, 상기 감지부 측으로부터 전달받은 상기 전기적 신호와 상기 측정영역으로 인가된 상기 마이크로파의 주파수 및 상기 자기장발생부에 의하여 상기 측정영역으로 인가된 자기장에 대한 정보를 토대로 분석하여 상기 웨이퍼의 상기 측정영역에 대한 자기적 정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼검사장치
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제 13항에 있어서, 상기 신호처리부는,상기 전기적신호, 상기 주파수 및 상기 자기장에 대한 정보로부터 다음의 관계식(여기서, : 공명주파수(resonance frequency), : 공명자기장(resonance magnetic field), : 자기회전비율(gyro magnetic ration) : 유효포화자화(effective saturation magnetization) : 유효감쇄상수(effective damping constant) : 유효반치전폭(effective full width at half maximum) : 제로-주파수 반치전폭(zero-frequency full width at half maximum)에 의거하여 유효포화자화( : effective saturation magnetization), 감쇄상수( : damping constant), 두께 및 결함 중 적어도 어느 하나 이상의 자기적 정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼검사장치
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