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기판 상에 반사 금속층을 형성하는 단계;상기 반사 금속층 상에 절연층을 형성하는 단계;상기 절연층 상에 금속 나노 구조층의 자기 조립을 유도하는 단계; 및상기 금속 나노 구조층을 마스크로 사용하여 상기 절연층을 선택적으로 식각하여 복수의 기둥과 상기 복수의 기둥에 의해 정의되는 복수의 공간을 형성하는 단계를 포함하는 광학 센서 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 복수의 기둥은 소수성 물질을 포함하는 광학 센서 제조 방법
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제2 항에 있어서, 상기 소수성 물질은 비정형 불소 중합체이며, 상기 복수의 기둥의 굴절률과 상기 복수의 공간의 굴절률은 상이한 광학 센서 제조 방법
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제1 항에 있어서, 상기 반사 금속층은 금 박막층이고,상기 금속 나노 구조층의 자기 조립에 적용되는 금속은 금인 광학 센서 제조 방법
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제4 항에 있어서, 상기 반사 금속층의 형성 단계 및 상기 금속 나노 구조층의 자기 조립의 유도 단계는 열 증착 공정을 통해 수행되고, 상기 반사 금속층의 열 증착 속도는 상기 나노 구조층의 열 증착 속도보다 빠르게 진행되는 광학 센서 제조 방법
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제5 항에 있어서, 상기 금속 나노 구조층의 자기 조립의 유도 단계의 열 증착 속도는 0
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기판;상기 기판 상에 위치한 반사 금속층;상기 반사 금속층 상에 위치한 절연층; 및상기 절연층 상에 위치한 금속 나노 구조층을 포함하되, 상기 금속 나노 구조층은 복수의 나노 섬들이 서로 연결된 나노 섬 네트워크 구조이고, 상기 절연층은 복수의 기둥과 상기 복수의 기둥에 의해 정의된 복수의 공간을 포함하되, 상기 복수의 공간은 상기 복수의 기둥의 굴절률과 상이한 굴절률을 가진 제1 유체가 채워진 상태이며, 상기 금속 나노 구조층은 상기 복수의 나노 섬 간의 연결이 이루어지지 않은 복수의 개구부를 포함하는 광학 센서
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제7 항에 있어서, 상기 복수의 기둥은 소수성 물질을 포함하는 광학 센서
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제8 항에 있어서, 상기 소수성 물질은 비정형 불소 중합체인 광학 센서
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제7 항에 있어서, 상기 반사 금속층은 금 박막층이고,상기 금속 나노 구조층의 자기 조립에 적용되는 금속은 금인 광학 센서
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제10 항에 있어서, 상기 금속 나노 구조층의 두께는 30nm인 광학 센서
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제7 항에 있어서, 분석 대상인 제2 유체의 유입에 따라, 상기 복수의 공간은 상기 제1 유체에서 상기 제2 유체로 대체되는 광학 센서
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제12 항에 있어서, 상기 복수의 공간이 상기 제2 유체로 채워짐에 따라, 상기 절연층의 유효 유전률 값이 변화되고, 반사 스펙트럼에서 공명 파장이 전이되는 광학 센서
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제13 항에 있어서, 상기 반사 스펙트럼의 공명 파장의 전이는 가시 광선 영역내에서 수행되는 광학 센서
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기판, 상기 기판 상에 위치한 반사 금속층, 상기 반사 금속층 상에 위치한 절연층 및 상기 절연층 상에 위치한 금속 나노 구조층을 포함하되, 상기 금속 나노 구조층은 복수의 나노 섬들이 서로 연결된 나노 섬 네트워크 구조이고, 상기 절연층은 복수의 기둥과 상기 복수의 기둥에 의해 정의된 복수의 공간을 포함하되, 상기 복수의 공간은 상기 복수의 기둥의 굴절률과 상이한 굴절률을 가진 유체가 채워진 상태이며 상기 금속 나노 구조층은 상기 복수의 나노 섬 간의 연결이 이루어지지 않은 복수의 개구부를 포함하는 광학 센서를 준비하는 단계;상기 복수의 공간에 시료를 유입하여 상기 유체를 대체하는 단계; 및상기 광학 센서에서 표시되는 색을 확인하여 상기 시료의 굴절률을 분석하는 단계를 포함하는 광학 센서를 활용한 유체 분석 방법
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제15 항에 있어서, 상기 시료의 굴절률에 따라 상기 시료를 규명하는 단계를 더 포함하는 광학 센서를 활용한 유체 분석 방법
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제15 항에 있어서, 상기 시료의 굴절률을 분석하는 단계는,독성 물질이 상기 광학 센서내에서 어떤 색을 표시하는 지를 확인하여 상기 시료의 독성 여부를 확인하는 단계를 더 포함하는 광학 센서를 활용한 유체 분석 방법
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